本實用新型涉及太陽能電池生產領域，尤其涉及一種適用于PERC電池雙面管式PECVD鍍膜的石墨舟。

背景技術：

常規的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續能源中，太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前，在所有的太陽電池中，晶體硅太陽電池是得到大范圍商業推廣的太陽能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量，同時晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優異的電學性能和機械性能，因此，晶體硅太陽電池在光伏領域占據著重要的地位。

現有技術中，晶體硅太陽能電池的制備工藝主要包括：清洗、去損傷層、制絨、擴散制結、刻蝕、鍍膜、印刷、燒結、電池片測試。其中，沉積減反射膜是晶體硅太陽能電池生產過程中的一個重要工序。

隨著PERC技術發展，PECVD作為鍍膜的關鍵手段，管式PECVD相對板式PECVD，膜層結構的設計窗口大，正面減反射和背面增反射膜效果更優，且管式PECVD有更好的鈍化效果，逐漸成為技術熱點。但在雙面采用管式PECVD鍍膜的時候，氧化鋁鍍膜結束后在電池片背面鍍氮化硅（作用是保護氧化鋁膜層）時，參見圖1和圖2所示，石墨舟片1上設置有用于承載硅片4的銷釘2，石墨舟片1上設置有鏤空窗口3，等離子通過鏤空窗口3進入硅片4上對應的鏤空區域5，在硅片4上形成一層氮化硅膜，在正面進行鍍膜時就會出現外觀不良，鏤空區域5的膜厚高于正常區域，形成色差。經研究，申請人認為其原因在于：現有的石墨舟中，在進行背面膜層（P面）鍍膜時，由于硅片無法完全貼合石墨舟片，等離子體會從縫隙中進入硅片N面區域，中央的鏤空區域和邊緣的非鏤空區域等離子濃度分布不同，造成沉積的氮化硅厚度高于非鏤空邊緣區域，膜厚低肉眼不可見，當硅片旋轉后在N面進行鍍膜（減反射膜），會出現肉眼可見的色差，造成外觀不良。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提供一種適用于PERC電池雙面管式PECVD鍍膜的石墨舟。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種適用于PERC電池雙面管式PECVD鍍膜的石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片在其厚度方向上間隔設置；

所述石墨舟片的表面為平坦結構。

上述方案中，各石墨舟片之間通過陶瓷桿連接。

上述方案中，所述石墨舟片上對應于硅片設置有銷釘以定位硅片。

上述方案中，所述石墨舟片上對應于每片硅片設置有三個銷釘，三個銷釘分別對應硅片的左側邊、右側邊和下側邊，以此將硅片定位在石墨舟片上。

上述方案中，“石墨舟片的表面為平坦結構”指的是：石墨舟片的表面上沒有開設鏤空窗口或者孔洞，其表面為封閉的結構，等離子無法穿透過石墨舟片沉積在硅片上。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

1．本實用新型改變目前的鏤空結構，從而避免外觀不良的產生，以實現雙面管式PECVD鍍膜的PERC電池的量產，提高正面減反射，背面增反射效果和鈍化效果，提高PERC的轉換效率；

2. 本實用新型能夠避免因為對面或者背面漏插造成的返工；

3. 本實用新型的石墨舟片表面為平坦結構，等離子分布更均勻，提高了正面氮化硅膜均勻性，減少了N面鍍膜時產生色差的不良現象。

附圖說明

圖1為現有技術石墨舟片結構示意圖。

圖2為現有技術的石墨舟生產出的硅片結構示意圖。

圖3為本實用新型實施例一石墨舟片結構示意圖。

圖4為本實用新型實施例一石墨舟俯視圖。

其中：1、石墨舟片；2、銷釘；3、鏤空窗口；4、硅片；5、鏤空區域；6、陶瓷桿。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

實施例一：

參見圖3和圖4所示，一種適用于PERC電池雙面管式PECVD鍍膜的石墨舟，包括若干石墨舟片1，各石墨舟片1在其厚度方向上間隔設置；

所述石墨舟片1的表面為平坦結構。

各石墨舟片1之間通過陶瓷桿6連接。

所述石墨舟片1上對應于每片硅片設置有三個銷釘2，三個銷釘2分別對應硅片的左側邊、右側邊和下側邊，以此將硅片定位在石墨舟片1上。

在使用狀態下，硅片置于兩片相鄰石墨舟片1之間，并通過銷釘2承載將硅片定位于石墨舟片1上，圖4所示的石墨舟片1上可以同時承載兩片硅片，而每片石墨舟片1上承載硅片的數量可根據實際情況進行調整。