技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于原子層沉積系統(tǒng)的石英晶體微天平組件，其包括原子層沉積系統(tǒng)的反應(yīng)室的蓋體。QCM晶體設(shè)置在形成于蓋體中的中央腔的底部中。QCM晶體的前表面的中央部裸露于反應(yīng)室的內(nèi)部中。固定器設(shè)置于中央腔中且位于QCM晶體上方，固定器把QCM晶體壓靠于蓋體中的臺(tái)肩上，以在QCM晶體的前表面與臺(tái)肩之間形成密封，同時(shí)也建立與QCM晶體的電接觸。法蘭緊鄰于蓋體的頂表面且密封中央腔，同時(shí)也通過(guò)固定器提供與QCM晶體的電接觸。傳感器位于反應(yīng)室外，其通過(guò)法蘭內(nèi)的連接器與QCM晶體電接觸并驅(qū)動(dòng)QCM晶體。

技術(shù)研發(fā)人員：L·萊克蒂爾;M·魯弗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：超科技公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.08
技術(shù)公布日：2017.09.15