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一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置的制作方法

文檔序號:11768186閱讀:491來源:國知局
一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置的制作方法

【技術領域】

本發明涉及人工晶體領域,尤其涉及一種取放料裝置,具體涉及一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置。



背景技術:

已知的,現有的硅芯爐一次可以同時拉制五根硅芯,一爐次拉制三組,共計十五根硅芯,具體結構如圖1所示,在上爐室6的上端面設有料盤旋轉電機,所述料盤旋轉電機的動力輸出軸連接料盤連接軸1的上端,料盤連接軸1的下端連接料盤7,在所述料盤7的左側設有兩個取料工位2,在料盤7的右側設有兩個放料工位8,在料盤7的前部設有軟軸3,所述軟軸3的上端連接設置在上爐室6上端面的升降機構,軟軸3的下端連接機械手4,在所述機械手4的下面設有籽晶夾頭5。具體的拉制方法為在拉制前,首先在料盤7左側的兩個取料工位2上放置兩套待用的籽晶夾頭5,在機械手4的下面放置籽晶夾頭5,然后開始對爐室進行抽真空、充氬氣、加熱原料棒、拉制硅芯等,硅芯在拉制過程中,需要使用籽晶進行引晶,待引晶完成后進行硅芯的拉制;在此過程中,籽晶需要通過籽晶夾頭夾持,待高頻線圈將原料棒的端頭局部融化成液體后,籽晶夾頭帶動籽晶下降直至穿過高頻線圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液內,然后通過籽晶夾頭帶動籽晶上升,此時籽晶帶動溶液上升并重新結晶,最終形成所需長度的硅芯;待一組硅芯拉制完成后,料盤7旋轉,將拉制好的硅芯放置在料盤7右側的放料工位8上,然后料盤7反轉,使機械手4在料盤7左側的取料工位2重新抓取一個待用的籽晶夾頭5,開始新一組硅芯的拉制,重復上述步驟,直至三組硅芯拉制完成。

但是如果需要一爐次拉制更多組硅芯,就需要加大料盤7的直徑,即在料盤7上設置更多個取料工位2和放料工位8,采用此方法則需要加大爐室的直徑來實現,如果加大了爐室的直徑,首先會造成設備的制造成本增加,同時在硅芯拉制過程中,也會加大氬氣的消耗量,導致使用成本大幅度增加等,因此,為了能實現一爐次拉制更多組硅芯,開發一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置就成了本領域技術人員的長期技術訴求。



技術實現要素:

為了實現所述發明目的,本發明提供了一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,本發明通過在料盤下方的上爐室上設置取料板,在取料板上設置復數個取料工位,在料盤上設置復數個放料工位,在不改變爐室大小的情況下,可以一爐次拉制更多組硅芯,本發明具有結構簡單,操作方便等特點。

為實現上述發明目的,本發明采用如下技術方案:

一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,包括料盤連接軸、籽晶夾頭、料盤、取料板和伸縮機構,所述料盤設置在上爐室內,在料盤的中部設有料盤連接軸,所述料盤連接軸的上端連接設置在上爐室上端面的料盤旋轉機構,在料盤上設有復數個放料工位,在料盤的左端設有軟軸,所述軟軸的上端連接設置在上爐室上端面的升降機構,軟軸的下端連接機械手,在所述機械手的下面設有籽晶夾頭,在料盤下方上爐室的側壁上設有伸縮機構,所述伸縮機構的伸縮桿連接取料板,在所述取料板的上面間隔設有復數個取料工位,在每個取料工位上分別設有籽晶夾頭形成所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置。

所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,所述取料板的左端面設有向右端面凹陷的凹槽,在所述凹槽的上面間隔設有復數個取料工位。

所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,所述凹槽的水平中心線對應機械手的軸向中心線。

所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,所述取料板上設置的取料工位為四個。

所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,所述伸縮機構為電動推桿或液壓氣缸。

所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,所述料盤為圓形結構,在料盤外緣面的左右兩側分別設有弧形缺口,在料盤上設置四個放料工位。

由于采用如上所述的技術方案,本發明具有如下有益效果:

本發明所述的一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,本發明通過在料盤下方的上爐室的側壁上設置取料板,在取料板上設置復數個取料工位,在料盤上設置復數個放料工位,本發明在不改變爐室大小的情況下,可以一爐次拉制更多組硅芯,即節約了硅芯爐的制造成本,又降低了硅芯爐的使用成本,本發明具有結構簡單,操作方便等特點,適合大范圍的推廣和應用。

【附圖說明】

圖1是現有取放料裝置的立體結構示意圖;

圖2是本發明的立體結構示意圖;

圖中:1、料盤連接軸;2、取料工位;3、軟軸;4、機械手;5、籽晶夾頭;6、上爐室;7、料盤;8、放料工位;9、取料板;10、伸縮機構;11、凹槽。

【具體實施方式】

通過下面的實施例可以更詳細的解釋本發明,公開本發明的目的旨在保護本發明范圍內的一切變化和改進,本發明并不局限于下面的實施例;

結合附圖2所述的一種用于硅芯爐的硅芯取放料裝置,包括料盤連接軸1、籽晶夾頭5、料盤7、取料板9和伸縮機構10,所述料盤7為圓形結構,在料盤7外緣面的左右兩側分別設有弧形缺口,料盤7設置在上爐室6內,在料盤7的中部設有料盤連接軸1,所述料盤連接軸1的上端連接設置在上爐室6上端面的料盤旋轉機構,由于料盤旋轉機構為現有技術,在此不予累述;在料盤7上設有復數個放料工位8,在具體實施過程中,料盤7上設置放料工位8的優選為四個,在料盤7的左端設有軟軸3,所述軟軸3的上端連接設置在上爐室6上端面的升降機構,軟軸3的下端連接機械手4,在所述機械手4的下面設有籽晶夾頭5,在料盤7下方上爐室6的側壁上設有伸縮機構10,所述伸縮機構10為電動推桿或液壓氣缸,所述伸縮機構10的伸縮桿連接取料板9,所述取料板9的左端面設有向右端面凹陷的凹槽11,所述凹槽11的水平中心線對應機械手4的軸向中心線,具體實施時,凹槽11的水平中心線與機械手4的軸向中心線呈90°設置,在所述凹槽11的上面間隔設有復數個取料工位2,在具體實施時,所述取料板9上設置的取料工位2優選為四個,在每個取料工位2上分別設有籽晶夾頭5形成所述的用于硅芯爐的硅芯取放料裝置。

本發明的具體實施例如下:

第一步,在取料板9上的取料工位2上分別放置待用的籽晶夾頭5,在機械手4的下面放置籽晶夾頭5;

第二步,關閉各爐門,對爐室進行抽真空、充氬氣及加熱原料棒;

第三步,拉制硅芯,待高頻線圈將原料棒的端頭局部融化成液體后,籽晶夾頭5帶動籽晶下降直至穿過高頻線圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液內,然后通過籽晶夾頭5帶動籽晶上升,此時籽晶帶動溶液上升并重新結晶,最終形成所需長度的硅芯;待一組硅芯拉制完成后,料盤7旋轉,將拉制好硅芯的籽晶夾頭5放置在料盤7上的放料工位8上,然后料盤7旋轉復位,此時,機械手4位于取料板9的上方,然后伸縮機構10帶動取料板9向左移動,待取料板9上第一個取料工位2移動到機械手4的下方時,機械手的軸向中心與第一個取料工位2的軸向中心同軸,此時,機械手4抓取第一個取料工位2上放置的籽晶夾頭5,然后伸縮機構10帶動取料板9向右移動,當取料板9到達預定位置后,機械手4帶動籽晶夾頭5開始新一輪的硅芯拉制,重復上述步驟,直至多組硅芯拉制完成;

第四步,硅芯拉制完成后,關閉加熱電源及氬氣,待原料棒冷卻后,開啟爐門取出拉制好的硅芯。

以上內容中未細述部份為現有技術,故未做細述。

為了公開本發明的目的而在本文中選用的實施例,當前認為是適宜的,但是,應了解的是,本發明旨在包括一切屬于本構思和發明范圍內的實施例的所有變化和改進。

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