用如圖2所示的成形裝置生產微柱狀陣列透鏡為例，詳細說明本發明的工藝過程:
步驟一、使用如圖2所示的微結構薄玻璃元件基于錫液介質超聲振動輔助模壓成形的裝置，將足夠的熔點為231.89°C的金屬錫裝入兩端開口直徑相近的U型槽5內，U型槽5材料為不銹鋼。導入氮氣，用以驅趕U型槽5內的氧氣，U型槽5左端露出的錫液6需要無氧環境，以免錫液6氧化。并且整個模壓過程都需要無氧狀態，在充滿氮氣的環境下，防止空氣中的氧氣氧化模具1，同時氮氣兼具有調控加熱、冷卻速率的作用。待U型槽5內達到無氧環境后，打開U型槽5底部的加熱裝置7并將U型槽5進行加熱至232°C，金屬錫達到熔點在U型槽內熔化成液態的錫液6。
[0029]步驟二、開動伺服電機14，通過轉換器13驅動U型槽5液壓活塞8向下運動，擠壓右端U型槽5內的錫液6至U型槽5左端，抬高左端錫液6的液面至靠近U型槽5左端的端口，將合適體積大小的玻璃預形體4 (如15_厚度的圓形平板玻璃)放置于U型槽5左端左側，玻璃預形體4材料可為D-ZK2、D-ZK3等低熔點玻璃，推動玻璃預形體4從左至右運動，排除玻璃預形體4與錫液6之間的空氣，并保證熔融狀態下的玻璃能鋪滿整個錫液面形成封閉面。準備一材料為碳化鎢的如圖3所示微結構成形腔2為通孔結構的微結構陣列模具1，模具1邊緣開一個淺口環形凹槽，凹槽內圈直徑與U型槽5左端口的內圈直徑成裝配尺寸，凹槽里填充二分之一凹槽體積的碳硼烷一一有機硅聚合物(最高耐熱溫度達到800°C的非干性粘彈型密封粘膠劑，具有良好的熱穩定性)形成密封墊3。隨后將模具微結構2開口向下并壓緊于U型槽5左端的端口，模具1凹槽與U型槽5上端口通過添加的密封墊3緊密貼合，微結構成形腔2與U型槽5左端內腔形成密閉腔。U型槽底部的加熱裝置7持續加熱，此時玻璃預形體4浮于錫液6表面，由于錫液6的導熱性能良好，玻璃預形體4受熱均勻。當微結構2內的熔融玻璃的粘度達到106?108dPa*s時，停止加熱，并以常規方法保溫。
[0030]步驟三、啟動伺服電機14，伺服電機14通過轉換器13帶動U型槽5右端的活塞8，使活塞8向下運動，通過活塞8的運動擠壓U型槽5內的錫液6增加錫液6的內部壓力，使U型槽5左端內錫液6受到向上的壓力繼而作用在玻璃預形體4上，錫液6將此壓力等值均勻傳遞給已處于熔融狀態的玻璃預形體4的表面，推動玻璃預形體4充填微結構成形腔2，待熔融狀態的玻璃玻璃預形體4充填微結構成形腔2到一定程度后，啟動超聲振動裝置，換能器10將電信號轉變為高頻的機械振動。變幅桿9用于將換能器10所產生的水平超聲振動放大。通過位移傳感器將模具的位移信息反饋給滑塊和導軌12，保證液壓活塞8的運動精度，從而控制模壓精度，一定頻率的振動通過錫液6傳遞到微結構成形腔2內的熔融狀態的玻璃預形體4上，使其隨之振動，玻璃預形體4在振動作用下玻璃流動性增強、應力疊加、動態變形阻力降低、流動性與變形適應性提高，直至完全充斥填滿模具成形腔2，從而復制模具1表面的微結構形狀。整個過程中熔融玻璃浮在錫液6表面并且受到均勻的向上的力。
[0031]步驟四、待熔融玻璃充分充模后，關閉超聲振動裝置，同時以常規方法保持活塞8所提供的較小保持壓力處于恒定狀態，保持一段時間，以免退火時玻璃因結構松弛和降溫收縮而產生變形。關閉U型槽5底部加熱裝置7，通過U型槽5的自然散熱，緩慢降低U型槽5內錫液6、玻璃以及模具1的溫度。當微結構2內玻璃的粘度由106?10 8dPa*s變為1013dPa*s時，完成退火。
[0032]步驟五、待步驟四所得模具1內玻璃的粘度達到1013dPa -s時，該玻璃形成成品，撤掉作用在模具1上的壓力，待玻璃產品冷卻后，將模具1從U型槽5左端口取下，從中取出微結構成品。此時，U型槽5內的錫液6低于熔點變成固態的金屬錫，保留在U型槽5內。U型槽5內的金屬錫，在下一模壓成形加熱階段又變成錫液6，可循環反復利用。
[0033]實施例3:參考圖1至圖6。以使用如圖2所示的成形裝置制造菲涅爾透鏡為例，詳細描述本發明的工藝方法。
[0034]步驟一、使用如圖2所示的微結構薄玻璃元件基于錫液介質超聲振動輔助模壓成形的裝置，將足夠的熔點為231.89°C的金屬錫裝入兩端開口直徑相近的U型槽5內，U型槽5材料為不銹鋼。導入氮氣，用以驅趕U型槽5內的氧氣，U型槽5左端露出的錫液6需要無氧環境，以免錫液6氧化。并且整個模壓成形過程都需要無氧狀態，在充滿氮氣的環境下，防止空氣中的氧氣氧化模具1，同時氮氣兼具有調控加熱、冷卻速率的作用。待U型槽5內達到無氧環境后，打開U型槽5底部的加熱裝置7并將U型槽5進行加熱至232°C，金屬錫達到熔點在U型槽內熔化成液態的錫液6。
[0035]步驟二、開動伺服電機14，通過轉換器13驅動U型槽5液壓活塞8向下運動，擠壓右端U型槽5內的錫液6至U型槽5左端，抬高左端錫液6的液面至靠近U型槽5左端的端口，將合適體積大小的玻璃預形體4放置于U型槽5左端左側，玻璃預形體4材料可為D-ZK2、D-ZK3、等低熔點玻璃，推動玻璃預形體4從左至右運動，排除玻璃預形體4與錫液6之間的空氣，并保證熔融狀態下的玻璃能鋪滿整個錫液面形成封閉面。準備一材料為碳化鎢的如圖6所示制作菲涅爾透鏡的模具1，模具1邊緣開一個淺口環形凹槽，凹槽內圈直徑與U型槽5左端口的內圈直徑成裝配尺寸，凹槽里填充二分之一凹槽體積的碳硼烷一一有機硅聚合物(最高耐熱溫度達到800°C的非干性粘彈型密封粘膠劑，具有良好的熱穩定性)形成密封墊3。隨后將模具微結構成形腔2開口向下并壓緊于U型槽5左端的端口，模具1凹槽與U型槽5上端口通過添加的密封墊3緊密貼合，微結構2與U型槽5左端內腔形成密閉腔。U型槽底部的加熱裝置7持續加熱，此時玻璃預形體4浮于錫液6表面，由于玻璃預形體4與加熱面之間出現了導熱性能良好的錫液6中間層，玻璃預形體4受熱、受力更均勻并改善充填性能和內部應力分布。當微結構成形腔2內的熔融玻璃的粘度達到106?108dPa*s時，停止加熱，并以常規方法保溫。
[0036]步驟三、啟動伺服電機14，伺服電機14通過轉換器13帶動U型槽5右端的活塞8，使活塞8向下運動，通過活塞8的運動擠壓U型槽5內的錫液6增加錫液6的內部壓力，使U型槽5左端內錫液6受到向上的壓力繼而作用在玻璃預形體4上，錫液6將此壓力等值并同時傳遞給熔融玻璃，推動熔融玻璃充填微結構成形腔2，待熔融狀態的玻璃預形體4充填微結構成形腔2到一定程度后，啟動超聲振動裝置，換能器10將電信號轉變為高頻的機械振動。變幅桿9用于將換能器10所產生的水平超聲振動放大。通過位移傳感器將模具的位移信息反饋給滑塊和導軌12，保證液壓活塞8的運動精度，從而控制模壓成形精度，一定頻率的振動通過錫液6傳遞到微結構成形腔2內的熔融狀態的玻璃預形體4上，使其隨之振動，玻璃預形體4在振動作用下流動性增大、應力疊加、動態變形阻力降低、流動性與變形適應性提高，直至完全充斥填滿模具成形腔2，從而復制模具1表面的微結構形狀。整個過程中熔融玻璃浮在錫液6表面