一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法
【專利摘要】本發明公開了一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，包括以下步驟：a）制備含有顆粒的混合溶液；b）將步驟a）的混合溶液通過管道輸運，輸送至針頭處；c）對步驟b）中輸送至針頭處的溶液控制流量形成液滴輸出，并對輸出的液滴施加電壓，電壓的大小被設置為：電壓值從0逐漸增大，使得液滴在液錐尖端處發生破碎，形成若干個小液滴，并向基板方向飛行，最終沉積在基板上，制備顆粒均勻分布的基板。本發明采用靜電霧化方法對含有顆粒的溶液進行分散，在接收基板上獲得大規模、均勻、單層分散的顆粒分布；成本低，顆粒間距小，具有較高的推廣與應用價值。
【專利說明】一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及封裝領域，尤其涉及一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法。
【背景技術】
[0002]隨著各類消費電子產品輕、薄、小的發展趨勢，微電子封裝行業，尤其是細間距芯片組裝、柔性電子行業的超薄芯片倒裝等領域對封裝工藝提出了更高的要求。傳統的封裝工藝主要包括BGA (Ball Grid Array)和FC (Flip Chip)技術，受到成本和定位精度等方面的限制，已經無法適應半導體封裝工業對于封裝的高密度和小極間距的要求。
[0003]目前，各向異性導電膜(Anisotropic Conductive Film, ACF)是 COG (Chip onGlass)封裝領域里應用最廣泛一種互聯介質，它由高分子聚合物和均勻分散在其中的導電顆粒組成，導電顆粒的直徑大約為3-5 μ m，通常是一種表面包裹金屬材料的樹脂顆粒。在COG封裝過程中，ACF置于驅動芯片和玻璃基板粘結固定在一起，與此同時，部分顆粒被捕捉在相對突出的凸點和ITO電極之間，并在外力條件下受到擠壓，在兩者之間形成電連接。因此可見，凸點與ITO電極之間的導電顆粒數目直接決定了接觸電阻。因此，ACF封裝存在兩個問題:第一，ACF封裝是借助捕捉在芯片凸點和基板電極間的導電顆粒而實現的，高密度封裝減小了凸點的截面積，使凸點和電極之間捕捉到的導電顆粒越來越少，從而造成連接電阻的增加，甚至斷路。第二，完成ACA互聯的芯片凸點間散布有多余的導電顆粒，高密度封裝降低了凸點之間的間隙，引起的導電顆粒團聚將造成相鄰凸點的短路。
[0004]封裝密度是衡量電子封裝技術發展的唯一標尺。目前ACF互聯技術已經使間距達到了 30μπι，然而上述問題制約了 ACF技術在更小的間距下的實現。國內外諸多公司或研究組織開展了大量的研究工作。日立公司研發了一種新型的ACF，增加了導電顆粒的捕捉，但對短路的避免效果不是十分明顯。LG公司開發一種新型的帶有凸緣的凸點結構，可以有效增加導電顆粒捕捉的機會，但隨著凸點面積的顯著減小，該結構依舊無法突破ACF的瓶頸。卡西歐開發的Microconnector ACF對導電顆粒進行了特殊處理,但在實際生產中，當凸點間距縮小到10 μ m時，短路現象會急劇增加。
[0005]因此，本領域的技術人員致力于開發一種新型的ACF封裝技術和ACF導電膜，旨在解決現有的ACF導電膜中導電顆粒團聚易造成短路或顆粒分布不均易造成斷路的問題。

【發明內容】

[0006]有鑒于現有技術的上述缺陷，本發明所要解決的技術問題是提供一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，采用靜電霧化方法對含有顆粒的溶液進行分散，在接收基板上獲得大規模、均勻、單層分散的顆粒分布。
[0007]進一步，本方法所要解決的技術問題還在于提供一種導電顆粒均勻分布的靜電霧化方法，在接收基板電極上獲得大規模、均勻、單層分散的導電顆粒分布。該方法可解決現有ACF導電膜的制備中，導電膜中導電顆粒團聚易造成短路或顆粒分布不均易造成斷路的問題，對導電顆粒無任何影響，成本低，最終形成的顆粒分布中，顆粒間距可以非常小，突破了 ACF的間距限制，具有較高的推廣與應用價值。
[0008]本發明解決上述技術問題的原理和思路是:將顆粒分散在溶劑中，利用超聲波振蕩等物理方法獲得分散度較好的顆粒溶液，并通過管道裝置輸運至微量注射泵，然后在高壓靜電場作用下，對顆粒懸浮溶液進行靜電噴霧，在接收基板電極上獲得大規模、均勻、單層分散的顆粒。所述顆粒可以為導電顆粒，也可以為不導電顆粒。
[0009]為實現上述目的，本發明提供了一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，包括以下步驟:
[0010]a)制備含有顆粒的混合溶液；
[0011]b)將步驟a)的混合溶液通過管道輸運，輸送至針頭處；
[0012]c)對步驟b)中輸送至針頭處的溶液控制流量形成液滴輸出，并對輸出的液滴施加電壓，電壓的大小被設置為:電壓值從O逐漸增大，使得液滴在液錐尖端處發生破碎，形成若干個小液滴，并向基板方向飛行，最終沉積在基板上，制備顆粒均勻分布的基板材料。
[0013]其中，液滴在外加靜電場和重力場等外力的作用下，液滴被拉伸變形，其形狀由圓形逐漸轉變為紡錘模式和穩態錐模式，液錐尖端即為形成穩態錐模式的液滴的尖端處。
[0014]進一步地，在步驟a)中，將顆粒進行稱重，并溶于溶劑中，形成一定質量分數的混合溶液，采用超聲分散裝置對混合溶液進行超聲波分散，使得混合溶液中的顆粒和溶劑形成懸浮液；
[0015]其中，溶劑為蒸餾水、乙醇、乙二醇、丙酮、異丙醇或甲醇中的一種，或者溶劑為乙醇與蒸餾水混合液體、乙二醇與蒸餾水混合液體、丙酮與蒸餾水混合液體、異丙醇與蒸餾水混合液體、或甲醇與蒸餾水混合液體中的一種。
[0016]進一步地，顆粒為導電顆粒或不導電顆粒；顆粒的直徑小于50 μ m;不導電顆粒為樹脂顆粒；樹脂顆粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸類樹脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS樹脂，AS樹脂，三聚氫胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚縮醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一個組成。
[0017]進一步地，在步驟b)中，還包括，對輸運過程中的混合溶液進行磁力攪拌，使得混合溶液在輸運過程保持顆粒的分散。
[0018]進一步地，在步驟c)中，液滴輸出的流量小于10ml/h，針頭的針孔的內徑小于2mm ο
[0019]進一步地，在步驟c )中，基板為不銹鋼、硅片或芯片。
[0020]進一步地，在步驟c)中，當小液滴向基板飛行時，小液滴受到熱輻射作用，熱輻射的方式被設置為:基板加熱或環境熱輻射，使得小液滴中的溶劑被蒸發或揮發。
[0021]進一步地，針頭與基板之間的極間距小于50mm;電壓的實現方式被設置為:電壓的一端與針頭相連接，電壓的另一端與基板連接或基板下方的平臺連接，形成靜電場；電壓的大小為0.5kv?30kv。
[0022]可選地，電壓的實現方式還可以被設置為:將實現靜電霧化方法的靜電霧化裝置置于非接觸的靜電場中；靜電場可釆用環狀、電極絲等不同類型、不同尺寸的電極；電壓的大小為0.5kv?30kv。
[0023]優選地，極間距為Imm?20mm，電壓值為Ikv?10kv，混合溶液的質量分數為
0.005%?5%，針孔的直徑小于1mm。[0024]進一步地，針頭的數目至少為一個；針頭的材質可以為不銹鋼、玻璃。
[0025]在本發明的較佳實施方式中，一種導電顆粒均勻分布的靜電霧化方法，依次包括如下步驟:
[0026]步驟一、將導電顆粒進行稱量，按照一定的質量分數投入溶劑中，在超聲波震蕩儀中震蕩數分鐘至幾個小時不等，獲得顆粒與溶劑的懸浮液。
[0027]步驟二、將分散的混合溶液用輸運泵和輸運管道輸送到針頭處，在管道輸運的過程中，利用磁力攪拌裝置繼續震蕩分散溶液，保持顆粒在溶劑中分散的狀態。針頭的外徑在2mm以下，內徑在Imm以下，流量在2ml/h以下。針頭直徑小，則流量小，使得針頭處的溶液保持較小的準靜態的流速，以保證液滴的充分破碎。
[0028]步驟三、設置針頭與基板之間的極間距和外加電壓的大小。針頭與基板之間的極間距在30mm以下，隨外加電壓的大小而變化。靜電場的電壓值根據不同的混合溶液，不同的針頭直徑以及不同的極間距離而變化。當液體粘性較大時，表面張力較高，破碎液滴所需的電壓值較大；當液體粘性較小時，表面張力較低，破碎液滴所需的電壓值小。當選取針頭的直徑較小時，所需電壓值較小；當選取針頭的直徑較大時，所需電壓值較大。當極間距越小，則所需電壓值越小。一般電壓值小于30kv，在極間距不變的情況下，調節電壓值，使得液滴的靜電霧化處于穩態狀況。
[0029]步驟四、設置霧化時間的長短，進而調節顆粒在基板上分布的密度的大小。時間較長時，顆粒分布的密度較大；時間較短時，顆粒分布的密度較小；即制得導電顆粒均勻分布的基板。
[0030]由此可見，本發明的顆粒均勻分布的靜電霧化分布方法，可實現半導體封裝中導電顆粒的均勻分布，該方法將含有導電顆粒的溶液通過輸運管道和輸運泵輸送至針頭處，在高壓靜電場作用下，液滴受到表面張力，粘性力，重力，電場力等多種力的共同作用。當電壓上升到一定大小時，電場力強到可以打破平衡，拉伸溶液，并使得液滴在尖端處發生破碎形成包裹有顆粒的小液滴。小液滴朝著基板飛行，溶劑蒸發或揮發最終留下顆粒在基板上形成顆粒均勻分散分布。本發明對導電顆粒無任何影響，且成本低，最終形成的顆粒分布中，顆粒間距可以非常小，突破了 ACF的間距限制，具有較高的推廣與應用價值。
[0031]此外，本發明的電壓從較小的值逐步上升到某個值時，針頭的針孔處的溶液處于高壓靜電場作用下，其狀態從較低電壓時的滴落模式，逐漸變化為紡錘模式，再過渡到穩態錐模式。穩態錐模式相較于前面的模式，其霧化的形態更穩定，基板上形成的霧化顆粒分布斑更規則，更適于定量可控顆粒分布。
[0032]另外，本發明的液滴向基板飛行的過程中，可使用底板加熱，或環境熱輻射等方式，為霧化環境加熱升溫，加快溶劑的揮發和蒸發，便于顆粒更好的留在基板上，使得顆粒不會在基板上受到溶液的影響而發生位置變化。
[0033]以下將結合附圖對本發明的構思、具體結構及產生的技術效果作進一步說明，以充分地了解本發明的目的、特征和效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0034]圖1是本發明的一個較佳實施例的含有顆粒的混合溶液的物理分散輸運系統示意圖；[0035]圖2是圖1所示的較佳實施例的靜電霧化顆粒分布系統示意圖。
【具體實施方式】
[0036]如圖1所示，為本發明的一個較佳實施例的混合溶液的物理分散輸運系統示意圖。其中，物理分散輸運系統包括混合溶液存儲倉1、超聲分散裝置2、輸運管道3、磁力攪拌裝置4、輸運泵5和軟管6。
[0037]混合溶液存儲倉I置于超聲分散裝置2內，超聲分散裝置2對混合溶液存儲倉I內的混合溶液進行超聲分散，使得混合溶液中的顆粒和溶劑形成懸浮液。可選地，超聲分散裝置2為超聲波震蕩儀。
[0038]混合溶液存儲倉I通過輸運管道3與輸運泵5連接，該輸運泵5提供動力用于混合溶液在輸運管道3內的輸送，并控制混合溶液在輸運管道3中的流速和流量。可選地，輸運泵5為微量注射泵或蠕動泵。
[0039]輸運管道3的外部設有磁力攪拌裝置4，混合溶液在輸運管道3的輸送過程中，利用磁力攪拌裝置4繼續震蕩分散溶液，保持顆粒在溶劑中分散的狀態。輸運泵5的前端與軟管6連接。
[0040]如圖2所示,是圖1所示的實施例的靜電霧化顆粒分布系統示意圖。該系統包括高壓電源裝置7、微量注射泵8、基板9、接地端10和運動控制平臺11。高壓電源裝置7的一端與微量注射泵8的針頭相連接，另一端與基板9連接，基板9與接地端10連接，使得針頭和基板9之間形成高壓靜電場。運動控制平臺11與基板9的底部連接，用于控制制備過程中基板9的移動，保證靜電霧化工序的持續推進。
[0041]在本實施例的使用過程中，圖1中的軟管6的一端與輸運泵5連接，另一端與圖2中的微量注射泵8連接，將含有導電顆粒的溶液通過輸運管道3和輸運泵5輸送至微量注射泵8的針頭處形成液滴向下滴落。在高壓靜電場作用下，液滴受到表面張力，粘性力，重力，電場力等多種力的共同作用。當電壓上升到一定大小時，電場力強到可以打破平衡，拉伸溶液，并使得液滴在尖端處發生破碎形成包裹有顆粒的小液滴。小液滴朝著基板9方向飛行，溶劑蒸發或揮發最終留下顆粒在基板上形成顆粒均勻分散分布。
[0042]本發明提供的顆粒均勻分布的靜電霧化方法中，通過控制微量注射泵8的針頭的直徑，溶液的性質，以及極間距，基板9的選擇等等，皆直接影響最終霧化和顆粒分散的效果，以下結合具體的實施例，對本發明做進一步的詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發明，并不用于限定發明。
[0043]實施例1
[0044]一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，包括以下步驟:
[0045]1、選用乙醇作為溶劑，顆粒0.03g，溶劑30g，顆粒與溶劑混溶形成溶液。使用超聲波震蕩儀進行超聲波振動30min，形成分散較好的懸濁液。
[0046]2、微量注射泵的流量設定為lml/h，將溶液抽出并推送到針頭處。
[0047]3、針頭的外徑為0.35mm,內徑為0.18mm,極間距為20mm。選用的基板為直徑3.5英寸的硅片。
[0048]4、將電壓的正極接在針頭上，基板接地。調節電壓從O開始緩慢上升至5.6kv，形成穩定霧化模式。在形成穩定的霧化模式之前，利用擋板將之前模式下形成的不穩定，大小不一的液滴檔掉，在穩定模式開始之后，撤掉擋板。在此模式下霧化2min的時間。
[0049]5、基板加熱，通過熱輻射和熱對流促進乙醇的快速揮發，使得在基板上沒有大液滴影響顆粒的位置。
[0050]本實施例中，最終在基板上獲得密度為4500個/mm2左右的顆粒分布效果。顆粒之間的平均間距小于30 μ m，約為15?20 μ m左右。
[0051]實施例2
[0052]一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，包括以下步驟:
[0053]1、選用異丙醇作為溶劑，顆粒0.05g，溶劑30g，顆粒和溶劑混溶形成溶液。超聲振動30min,形成分散較好的懸池液。
[0054]2、微量注射泵的流量設定為0.5ml/h，將溶液抽出并推送到針頭處。
[0055]3、針頭的外徑為0.35mm,內徑為0.18mm,極間距為20mm。選用的基板為直徑3.5英寸的硅片。
[0056]4、將電壓的正極接在針頭上，基板接地。調節電壓從O開始緩慢上升至6.28kv，形成穩定霧化模式。在形成穩定的霧化模式之前，利用擋板將之前模式下形成的不穩定，大小不一的液滴檔掉，在穩定模式開始之后，撤掉擋板。在此模式下霧化1.5min的時間。
[0057]5、基板加熱，通過熱輻射和熱對流促進乙醇的快速揮發，使得在基板上沒有大液滴影響顆粒的位置。
[0058]本實施例中，最終在基板上獲得密度為3140個/mm2左右的顆粒分布效果。顆粒之間的平均間距小于30 μ m，約為15?20 μ m左右。
[0059]發明人還針對實施例的工藝和結果進行分析，對本發明的工作原理和流程展開進一步說明:
[0060]對于粘性較大的溶液，超聲分散的時候也更長，同時流量的設定也較小，這樣可以便于讓電場力有足夠的時間對溶液進行拉伸變形，最終使其破碎形成小液滴。此外，電導率對霧化效果也有影響。電導率較大的溶液，電荷遷移率高，產生的電場強度大，因此更易發生破碎和頸縮變形現象，穩態霧化所需的電壓值也較低。
[0061]對于粘性較大的液體，因其粘性大,表面張力較大,在發生霧化過程中，相較于低粘度的液體，規律性更好，重復拉伸過程中形成的小液滴的直徑和行為更具有可重復性。此夕卜，霧化時間是對霧化顆粒的密度產生直接影響的重要元素，但霧化時間不可過長，過長則容易導致顆粒在溶液中的沉降和團聚。當時間較短時，電壓較大，則液滴破碎過程更加徹底，則顆粒團聚或聚集的情況變得嚴重。在允許的時間范圍內，時間越長，則顆粒分布的密度越大，顆粒之間的間距越小。
[0062]在制備過程中，發明人還發現，電壓從較小的值上升到某個值時，針頭孔口處的溶液處于高壓靜電場作用下，其狀態從較低電壓時的滴落模式，逐漸變化為紡錘模式，再過渡到穩態錐模式。穩態錐模式相較于前面的模式，其霧化的形態更穩定，基板上形成的霧化顆粒分布斑更規則，更適于定量可控顆粒分布。
[0063]針頭直徑較小時，位于孔口的溶液的直徑相應較小，此時的溶液受到表面張力、電場力和重力的作用，針頭直徑一般小于2mm，優選直徑在Imm以下。電場力起主導作用，當外加電壓上升到一定值時，電場力足夠大以至于可以克服表面張力對液滴的束縛，液滴被拉伸變形，在尖端處破碎生成很多直徑更小的液滴，這些液滴里包裹著導電顆粒，并朝著基板的方向飛去。在飛行的過程中，液滴中的溶劑揮發或蒸發，將顆粒留在基板上形成顆粒分布。
[0064]針頭與基板之間的距離可調，且當極間距變大時，溶液破碎形成小液滴所需的電場強度或電壓值也相應變大。極間距一般不大于50mm，優選極間距在30mm以內，一般在I?20mm左右。與之對應的，使得靜電霧化處于穩態狀況下的電壓值一般低于30kv，隨極間距減小而減小，當極間距在I?20mm時,其穩態所需電壓值在Ikv?IOkv作用。
[0065]基板上的顆粒分布，其密度與霧化的時間以及顆粒的質量分數成正相關關系。因顆粒質量分數較大時，顆粒的團聚情況較為嚴重，因此優選溶液顆粒的質量分數為
0.005%?5%。時間越長，顆粒密度越大，但時間過長，易造成顆粒分布堆積，進而導致嚴重團聚。其顆粒分布密度在30000個/mm2以下，一般在10000個/mm2以下，其顆粒之間的極間距可達到小于10 μ m的程度。
[0066]另外，可被本領域普通技術人員理解的是，本實施例中的顆粒可以為導電顆粒，也可以為不導電顆粒。優選顆粒的直徑小于50 μ m。其中，不導電顆粒為樹脂顆粒；樹脂顆粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸類樹脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS樹脂，AS樹脂，三聚氫胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚縮醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一個組成。
[0067]當本實施例中的顆粒選用導電顆粒時，可用于制備導電顆粒均勻分布的ACF導電膜和ACA導電膠，克服現有技術中導電顆粒團聚易造成短路或顆粒分布不均易造成斷路的問題，獲得大規模、均勻、單層分散的導電顆粒，且最終獲得的顆粒分布密度及顆粒間距均優于ACF方法的間距。本實施例的方法成本低，工藝簡單，對顆粒無影響，具有較強的推廣價值。
[0068]在其他實施例中，溶劑可為蒸餾水、乙醇、乙二醇、丙酮、異丙醇或甲醇中的一種，所述溶劑還可以為乙醇與蒸餾水混合液體、乙二醇與蒸餾水混合液體、丙酮與蒸餾水混合液體、異丙醇與蒸餾水混合液體、或甲醇與蒸餾水混合液體中的一種。可根據導電顆粒的比重，選擇不同的溶劑對顆粒進行分散。
[0069]在其他實施例中，基板的材質可以為導電材料，也可以為不導電材料，以及適合導電或不導電顆粒附著的其他材料，在此不作限定。優選地，基板的材質為不銹鋼，硅片，芯片
坐寸ο
[0070]在其他實施例中，形成針頭和基板間的高壓靜電場可以有多種形式，其目的在于形成一個針頭到基板之間的正向電場。例如當針頭接高壓電源裝置的正極時，基板接地，形成靜電場；亦或為針頭接地，基板接負高壓，形成靜電場。當然，類似電壓施加方式不限于此。可被理解的是，使得針頭或類似裝置與基板之間形成正向電場的，皆應在本發明的保護范圍內。
[0071]在其他實施例，在液滴向基板飛行的過程中，可使用底板加熱，或環境熱輻射等方式，為霧化環境加熱升溫，加快溶劑揮發和蒸發，以便于顆粒更好的留在基板上，使得顆粒不會在基板上受到溶液的影響而發生位置變化。
[0072]在其他實施例中，所述針頭的材質可以為不銹鋼、玻璃或其他便于溶液輸運和輸出的材質。針頭的數目不限于I個，可以為2個或多個，構成針頭陣列或針頭組，可同時進行多處混合液滴的靜電霧化處理，提高顆粒在基板上的沉積效率。
[0073]以上詳細描述了本發明的較佳具體實施例。應當理解，本領域的普通技術人員無需創造性勞動就可以根據本發明的構思作出諸多修改和變化。因此，凡本【技術領域】中技術人員依本發明的構思在現有技術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在由權利要求書所確定的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種顆粒均勻分布的靜電霧化方法，其特征在于，包括以下步驟: a)制備含有顆粒的混合溶液； b)將步驟a)的所述混合溶液通過管道輸運，輸送至針頭處； c)對步驟b)中輸送至針頭處的溶液控制流量形成液滴輸出，并對輸出的液滴施加電壓，所述電壓的大小被設置為:電壓值從O逐漸增大，使得液滴在液錐尖端處發生破碎，形成若干個小液滴，并向基板方向飛行，最終沉積在所述基板上，制備顆粒均勻分布的基板材料。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟a)中，將顆粒溶于溶劑中，形成質量分數為0.005%?5%的混合溶液，采用超聲分散裝置對所述混合溶液進行超聲波分散，使得所述混合溶液中的顆粒和溶劑形成懸浮液。
3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述溶劑為蒸餾水、乙醇、乙二醇、丙酮、異丙醇或甲醇中的一種，或者所述溶劑為乙醇與蒸餾水混合液體、乙二醇與蒸餾水混合液體、丙酮與蒸餾水混合液體、異丙醇與蒸餾水混合液體、或甲醇與蒸餾水混合液體中的一種。
4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述顆粒為導電顆粒或不導電顆粒；所述顆粒的直徑小于50μπι;所述不導電顆粒為樹脂顆粒；所述樹脂顆粒由聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸類樹脂，聚苯乙烯，聚氯乙烯，聚乙酸乙烯酯，ABS樹脂，AS樹脂，三聚氫胺，聚酰胺，聚碳酸酯，聚縮醛，改性的聚苯醚和芳香族聚醚酮中的至少一個組成。
5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟b)中，還包括，對輸運過程中的混合溶液進行磁力攪拌，使得所述混合溶液在輸運過程保持顆粒的分散。
6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟c)中，所述液滴輸出的流量小于10ml/h,所述針頭的針孔的內徑小于2mm。
7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟c)中，所述基板為不銹鋼、硅片或芯片。
8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟c)中，當所述小液滴向所述基板飛行時，所述小液滴受到熱輻射作用，所述熱輻射的方式被設置為:基板加熱或環境熱輻射，使得所述小液滴中的溶劑被蒸發或揮發。
9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述針頭與所述基板之間的極間距小于50mm;所述電壓的實現方式被設置為:所述電壓的一端與所述針頭相連接，所述電壓的另一端與所述基板連接或所述基板下方的平臺連接，形成靜電場；所述電壓的大小為0.5kv ?30kvo
10.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述電壓的實現方式被設置為:將實現所述靜電霧化方法的靜電霧化裝置置于非接觸的靜電場中；所述電壓的大小為0.5kv?30kvo
【文檔編號】B05B5/16GK103752440SQ201410010322
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2014年1月9日 優先權日:2014年1月9日
【發明者】袁鑫, 熊振華, 盛鑫軍, 賈磊, 巴政宇 申請人:上海交通大學