本實用新型涉及微波等離子技術領域，具體涉及一種自動點火的微波等離子作用腔。

背景技術：

傳統的微波等離子作用腔點火過程中，需在作用腔附近手持點火棒進行點火，工作過程中帶來諸多不便，大大限制了微波等離子作用腔的使用；傳統作用腔中，石英玻璃只是置于下水冷套組合上，石英玻璃的長度超出上水冷套頂部，在裝放過程中，由于石英玻璃沒有完全固定，不能隨意改變激勵腔組合的安裝方向，這種結構也使等離子體火焰的方向受到限制，局限了微波等離子作用腔的使用。

因此，很有必要對傳統的微波等離子作用腔進行優化改進，采用自動點火裝置實現微波等離子作用腔的點火過程，同時將石英玻璃固定住，解決設備使用受限制以及工作效率低的問題。

技術實現要素：

實用新型目的：本實用新型的目的是為了解決現有微波等離子作用腔的不足，提供一種自動點火的微波等離子作用腔，其結構設計合理，不僅可減小微波泄漏，操作更方便，適應性更強，而且不受工作環境以及激勵腔組合的擺放位置的影響，可自動控制微波等離子體點火過程，根據需要調整等離子體火焰的方向，大大提高工作效率，滿足不同工作條件下的需求。

技術方案：為了實現以上目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種自動點火的微波等離子作用腔，它包括激勵腔組合，分別與激勵腔組合相連的上水冷套組合和下水冷套組合，固定在上水冷套組合及下水冷套組合中間的石英玻璃，與下水冷套組合連接的進氣組合和與激勵腔組合相連的自動點火裝置。

作為優選方案，以上所述的一種自動點火的微波等離子作用腔，激勵腔組合包括法蘭盤、與法蘭盤焊接在一起的諧振腔、與諧振腔焊接在一起的連接法蘭、焊接在諧振腔上的端板；法蘭盤和連接法蘭方便與其他元件相連接；諧振腔可以為2450MHz或915MHz下的等離子體激勵腔，可以為壓縮波導結構，也可以是其它結構。

作為優選方案，以上所述的一種自動點火的微波等離子作用腔，所述的上水冷套組合與下水冷套組合的結構相同，它們均包括圓筒、與圓筒焊接在一起的水冷套、與圓筒及水冷套焊接在一起的底法蘭；上水冷套組合與下水冷套組合的底法蘭與激勵腔組合的連接法蘭通過螺釘固定，安裝拆卸方便。

作為優選方案，以上所述的一種自動點火的微波等離子作用腔，上水冷套組合和下水冷套組合中間的石英玻璃長度H固定，使石英玻璃在激勵腔組合中維持平衡，不受激勵腔組合的擺放位置影響，可根據需要調整等離子體火焰的方向，可克服現有技術由于石英玻璃沒有完全固定，不能隨意改變激勵腔組合的安裝方向的技術不足。

作為優選方案，以上所述的一種自動點火的微波等離子作用腔，進氣組合包括臺柱、與臺柱相連的進氣管；臺柱與下水冷套組合的圓筒焊接在一起。

作為優選方案，以上所述的一種自動點火的微波等離子作用腔，所述的自動點火裝置包括頂針、與頂針相連的介質材料、與介質材料相連的氣缸、與氣缸相連的支架；支架與激勵腔組合相連。

作為優選方案，以上所述的自動點火裝置包括頂針、介質材料、氣缸和支架，頂針與介質材料、介質材料與氣缸間均用螺紋連接，氣缸通過螺釘與支架連接并固定在激勵腔組合的法蘭盤上，結構簡單，方便拆卸；通過氣缸對頂針的推進作用可以實現微波等離子體自動點火過程，相比現有技術，點火更加自動化，工作效率更高，其中氣缸具有固定行程L；氣缸與頂針間的介質材料在微波等離子體點火過程中起到了很好的絕緣作用，可大大減小微波泄漏，相比現有技術，安全性更好。

有益效果：本實用新型提供的自動點火的微波等離子作用腔與現有技術相比具有以下優點：

本實用新型所述的自動點火的微波等離子作用腔可以實現自動點火過程，操作方便，工作效率更高，無微波泄漏，安全性能更好；同時不受工作環境及激勵腔組合的擺放位置影響，根據需要調整等離子體火焰的方向，可以滿足不同工作條件下的需求。

附圖說明

圖1是本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔的結構示意圖。

圖2是本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔中的激勵腔組合的結構示意圖。

圖3是本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔中的上水冷套和下水冷套組合的結構示意圖。

圖4是本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔中的進氣組合的結構示意圖。

圖5是本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔中的自動點火裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例，進一步闡明本實用新型，應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。

如圖1至圖5所示，一種自動點火的微波等離子作用腔，它包括激勵腔組合1，分別與激勵腔組合1相連的上水冷套組合2和下水冷套組合4，固定在上水冷套組合2及下水冷套組合4中間的石英玻璃3，與下水冷套組合4連接的進氣組合5和與激勵腔組合1相連的自動點火裝置6。

所述的激勵腔組合1包括法蘭盤1-1、與法蘭盤1-1焊接的諧振腔1-2、與諧振腔1-2焊接的連接法蘭1-3和焊接在諧振腔1-2上的端板1-4。

所述的上水冷套組合2和下水冷套組合4的結構相同，均包括圓筒2-1、與圓筒2-1焊接在一起的水冷套2-2、與圓筒2-1及水冷套2-2焊接在一起的底法蘭2-3；底法蘭2-3與激勵腔組合1通過螺釘固定。

所述的石英玻璃3的長度固定，夾在上水冷套組合2和下水冷套組合4之間，使石英玻璃3在激勵腔組合1中維持平衡，不受激勵腔組合1的擺放位置影響，可根據需要調整等離子體火焰的方向。

所述的進氣組合5包括臺柱5-1、與臺柱5-1相連的進氣管5-2；臺柱5-1與下水冷套組合4焊接在一起。

所述的自動點火裝置6包括頂針6-1、與頂針6-1相連的介質材料6-2、與介質材料6-2相連的氣缸6-3、與氣缸6-3相連的支架6-4；支架6-4與激勵腔組合 1相連。

本實用新型提供的一種自動點火的微波等離子作用腔，對傳統的微波等離子作用腔進行優化，新增自動點火裝置6，通過氣缸6-3對頂針6-1的推進作用實現微波等離子體自動點火過程，氣缸6-3與頂針6-1間的介質材料6-2在微波等離子體點火過程中起到了很好的絕緣作用；具有固定長度H的石英玻璃3與上水冷套組合2、下水冷套組合4以及激勵腔組合1完美結合，可以根據需要擺放激勵腔組合1的位置，調整等離子體火焰的方向，適用性更強。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。