一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，所述熱回收系統(tǒng)包括：冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備；其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率。本實(shí)用新型通過調(diào)節(jié)冷卻水泵頻率，使冷凝器的廢熱能夠得到更充分的利用；解決了水溫度達(dá)不到設(shè)定值的缺陷，節(jié)省了蒸汽用量；解決了冷卻水泵全年均全載運(yùn)行的缺陷，節(jié)省了電費(fèi)。
【專利說明】一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著近年來的地球環(huán)境保護(hù)意識(shí)的提高，而尋求削減能量消耗量。節(jié)省能量法(節(jié)能法)的修改、IS050001等、從法律、標(biāo)準(zhǔn)的方面尋求節(jié)能的要求也逐漸變得嚴(yán)格。從這種背景出發(fā)，對(duì)工廠等規(guī)模比較大的生產(chǎn)設(shè)備的能量消耗進(jìn)行削減的技術(shù)受到關(guān)注。
[0003]半導(dǎo)體行業(yè)屬于能量消耗量較大的行業(yè)之一，對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)制造設(shè)備熱量的回收利用是業(yè)界關(guān)注的重點(diǎn)之一?，F(xiàn)有的一種標(biāo)準(zhǔn)熱回收系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，其包括:冷卻塔10、旁通閥30、冷卻水泵20及冷凝器40 ;其中，所述冷卻塔10的出水端與所述冷卻水泵20的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵20的出水端通過第二管道與所述冷凝器40連接，所述冷凝器40通過第三管道與所述冷卻塔10連接，所述旁通閥30連接于所述第一管道及第三管道之間。另外，還包括熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:供水設(shè)備(未予圖示)、溫水一次泵50、溫水二次泵60及熱交換器70 ;其中，所述供水設(shè)備通過管道同時(shí)與所述溫水一次泵50的進(jìn)水端及溫水二次泵60的進(jìn)水端連接，所述溫水一次泵50出水端通過管道與所述冷凝器40連接、所述冷凝器40通過管道與所述溫水二次泵60的進(jìn)水端連接，所述溫水二次泵60的出水端通過管道與所述熱交換器70連接。所述標(biāo)準(zhǔn)熱回收系統(tǒng)在冷卻水泵和冷卻塔之間的管路上安裝旁通閥，通過調(diào)節(jié)旁通閥開度的大小，減少冷卻水進(jìn)入冷卻塔的水量，使冷卻水能夠在冷凝器內(nèi)短循環(huán)，利用冷卻水的廢熱，使所述熱水供應(yīng)系統(tǒng)得到一定溫度的溫水。
[0004]上述的標(biāo)準(zhǔn)熱回收系統(tǒng)的工作原理為:
[0005]I)當(dāng)旁通閥關(guān)閉時(shí)，所有冷卻水通過冷卻水泵，將冰機(jī)冷凝器的熱量全部帶到冷卻塔進(jìn)行散熱；
[0006]2)當(dāng)旁通閥開啟時(shí)，部分冷卻水就不會(huì)進(jìn)入冷卻塔，而在冰機(jī)的冷凝器內(nèi)短循環(huán)，從而提供熱回收的出水溫度；
[0007]3)當(dāng)熱回收的出水溫度達(dá)不到設(shè)定值時(shí)，熱交換器會(huì)啟用，利用90°C的熱水熱交換出系統(tǒng)所需要的溫水。
[0008]上述的標(biāo)準(zhǔn)熱回收系統(tǒng)存在以下問題:
[0009]I)冷卻水泵一旦開啟運(yùn)行，即為全載，全年所耗電能較大；
[0010]2)在冬天最冷時(shí)段，即使旁通閥全開，出水溫度仍然達(dá)不到設(shè)定值，還需要90攝氏度的熱水輔助加熱，大量耗用市政蒸汽。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0011]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中熱回收系統(tǒng)耗能過高的問題。[0012]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)，包括:
[0013]冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備；
[0014]其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率。
[0015]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述冷卻設(shè)備為冷卻塔。
[0016]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述旁通閥為氣動(dòng)旁通閥。
[0017]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述冷熱源設(shè)備為冰機(jī)冷凝器。
[0018]本實(shí)用新型還提供一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0019]熱回收系統(tǒng)，包括:冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備；
[0020]其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率；
[0021]熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:供水設(shè)備、溫水一次泵、溫水二次泵及熱交換器；
[0022]其中，所述供水設(shè)備通過管道同時(shí)與所述溫水一次泵的進(jìn)水端及溫水二次泵的進(jìn)水端連接，所述溫水一次泵出水端通過管道與所述冷熱源設(shè)備連接、所述冷熱源設(shè)備通過管道與所述溫水二次泵的進(jìn)水端連接，所述溫水二次泵的出水端通過管道與所述熱交換器連接。
[0023]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述冷卻設(shè)備為冷卻塔。
[0024]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述旁通閥為氣動(dòng)旁通閥。
[0025]作為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的一種優(yōu)選方案，所述冷熱源設(shè)備為冰機(jī)冷凝器。
[0026]如上所述，本實(shí)用新型提供一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，所述熱回收系統(tǒng)包括:冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備；其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率。本實(shí)用新型具有以下有益效果:1)通過調(diào)節(jié)冷卻水泵頻率，降低冷卻水泵的揚(yáng)程，使冷卻水能夠更加充分的在冷凝器內(nèi)短循環(huán)，使冷凝器的廢熱能夠得到更充分的利用；2)解決了原有標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)中，出水溫度達(dá)不到設(shè)定值的缺陷，節(jié)省了蒸汽用量；3)在全年的不同季節(jié)，冷卻水泵運(yùn)行不同頻率，解決了原有標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)中，全年均全載運(yùn)行的缺陷，節(jié)省了電費(fèi)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的一種熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖2顯示為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖3顯示為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]圖4顯示為本實(shí)用新型的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的工作原理示意圖
[0031]元件標(biāo)號(hào)說明
[0032]10 冷卻設(shè)備
[0033]30 旁通閥
[0034]20 冷卻水泵
[0035]40 冷熱源設(shè)備
[0036]80 變頻器
[0037]50 溫水一次泵
[0038]60 溫水二次泵
[0039]70 熱交換器
【具體實(shí)施方式】
[0040]以下通過特定的具體實(shí)例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0041]請(qǐng)參閱圖2?圖4。需要說明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本實(shí)用新型中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0042]實(shí)施例1
[0043]如圖2所示，本實(shí)施例提供一種變頻冷卻水泵20熱回收系統(tǒng)，包括:
[0044]冷卻設(shè)備10、旁通閥30、冷卻水泵20、變頻器80、以及冷熱源設(shè)備40 ；
[0045]其中，所述冷卻設(shè)備10的出水端與所述冷卻水泵20的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵20的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備40連接，所述冷熱源設(shè)備40通過第三管道與所述冷卻設(shè)備10連接，所述旁通閥30連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器80連接于所述冷卻水泵20，用于控制所述冷卻水泵20的泵水頻率。
[0046]需要說明的是，所述冷凝器的另一側(cè)接入供水端，以將熱回收系統(tǒng)回收的熱量對(duì)該供水端內(nèi)的水進(jìn)行升溫，獲得熱回收后的出水。
[0047]作為示例，所述冷熱源設(shè)備40為冰機(jī)冷凝器。作為示例，所述冷熱源設(shè)備40為冰機(jī)冷凝器。氣態(tài)的冷媒被壓縮機(jī)做功壓力變高，這樣在較高的壓力下，冷媒就可以用常溫的水來冷卻。經(jīng)過壓縮機(jī)的氣態(tài)的冷媒在冷凝器里面被冷卻塔來的水冷卻變成液態(tài)，液態(tài)冷媒再經(jīng)過節(jié)流裝置降低壓力，使它的沸點(diǎn)降低，這樣在蒸發(fā)器里面液態(tài)冷媒吸收冷凍水回水里的熱量氣化，回水被冷卻再供出去。這就是一個(gè)循環(huán)。這個(gè)循環(huán)周而復(fù)始的進(jìn)行，在上述過程中，所述冰機(jī)冷凝器內(nèi)會(huì)產(chǎn)生較大的熱量，為了不造成能源浪費(fèi)，這些熱量需要被回收利用。
[0048]作為示例，所述冷卻設(shè)備10為冷卻塔。具體地，冷卻塔是一種用水作為循環(huán)冷卻齊U，從一系統(tǒng)中吸收熱量排放至大氣中的冷卻設(shè)備10，其原理是通過蒸發(fā)散熱、對(duì)流傳熱和輻射傳熱等原理來散去工業(yè)上或制冷空調(diào)中產(chǎn)生的余熱來降低水溫的散熱裝置，以保證系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
[0049]作為示例，所述旁通閥30為氣動(dòng)旁通閥30。當(dāng)旁通閥30開啟時(shí)，部分冷卻水就不會(huì)進(jìn)入冷卻塔，而在冰機(jī)的冷凝器內(nèi)短循環(huán)，從而提供熱回收的出水溫度。
[0050]在具體的實(shí)施過程中，通過控制所述旁通閥30和通過變頻器80控制所述冷卻水泵20的運(yùn)行頻率，降低冷卻水泵20的揚(yáng)程，使冷卻水能夠更加充分的在冰機(jī)冷凝器內(nèi)短循環(huán)，保證了冰機(jī)冷凝器的廢熱能夠得到更充分的利用。另外，在本實(shí)施例中，可以通過修改原系統(tǒng)的邏輯控制程序，使所述熱回收系統(tǒng)改為為由旁通閥30和冷卻水泵20變頻器80共同控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
[0051]實(shí)施示例2
[0052]如圖3所示，本實(shí)施例還提供一種變頻冷卻水泵20熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:
[0053]熱回收系統(tǒng)，包括:冷卻設(shè)備10、旁通閥30、冷卻水泵20、變頻器80、以及冷熱源設(shè)備40 ；
[0054]其中，所述冷卻設(shè)備10的出水端與所述冷卻水泵20的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵20的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備40連接，所述冷熱源設(shè)備40通過第三管道與所述冷卻設(shè)備10連接，所述旁通閥30連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器80連接于所述冷卻水泵20，用于控制所述冷卻水泵20的泵水頻率；
[0055]熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:供水設(shè)備、溫水一次泵50、溫水二次泵60及熱交換器70 ；
[0056]其中，所述供水設(shè)備通過管道同時(shí)與所述溫水一次泵50的進(jìn)水端及溫水二次泵60的進(jìn)水端連接，所述溫水一次泵50出水端通過管道與所述冷熱源設(shè)備40連接、所述冷熱源設(shè)備40通過管道與所述溫水二次泵60的進(jìn)水端連接，所述溫水二次泵60的出水端通過管道與所述熱交換器70連接。
[0057]作為示例，所述冷熱源設(shè)備40為冰機(jī)冷凝器。作為示例，所述冷熱源設(shè)備40為冰機(jī)冷凝器。氣態(tài)的冷媒被壓縮機(jī)做功壓力變高，這樣在較高的壓力下，冷媒就可以用常溫的水來冷卻。經(jīng)過壓縮機(jī)的氣態(tài)的冷媒在冷凝器里面被冷卻塔來的水冷卻變成液態(tài)，液態(tài)冷媒再經(jīng)過節(jié)流裝置降低壓力，使它的沸點(diǎn)降低，這樣在蒸發(fā)器里面液態(tài)冷媒吸收冷凍水回水里的熱量氣化，回水被冷卻再供出去。這就是一個(gè)循環(huán)。這個(gè)循環(huán)周而復(fù)始的進(jìn)行，在上述過程中，所述冰機(jī)冷凝器內(nèi)會(huì)產(chǎn)生較大的熱量，為了不造成能源浪費(fèi)，這些熱量需要被回收利用。
[0058]作為示例，所述冷卻設(shè)備10為冷卻塔。具體地，冷卻塔是一種用水作為循環(huán)冷卻齊U，從一系統(tǒng)中吸收熱量排放至大氣中的冷卻設(shè)備10，其原理是通過蒸發(fā)散熱、對(duì)流傳熱和輻射傳熱等原理來散去工業(yè)上或制冷空調(diào)中產(chǎn)生的余熱來降低水溫的散熱裝置，以保證系統(tǒng)的正常運(yùn)行。
[0059]作為示例,所述旁通閥30為氣動(dòng)旁通閥30。當(dāng)旁通閥30開啟時(shí),部分冷卻水就不會(huì)進(jìn)入冷卻塔，而在冰機(jī)的冷凝器內(nèi)短循環(huán)，從而提供熱回收的出水溫度。
[0060]圖4顯示為本實(shí)施例的變頻冷卻水泵20熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)的運(yùn)作過程示意圖，其具體運(yùn)作過程如下:
[0061]I)將熱回收系統(tǒng)的旁通閥30開到最大100%后，監(jiān)測(cè)熱回收出水溫度是否達(dá)到設(shè)定值，若能超過設(shè)定值，則減少所述旁通閥30的通量，若為設(shè)定值，則保持所述旁通閥30的通量，若沒達(dá)到設(shè)定值，則通過變頻器80調(diào)節(jié)所述冷卻水泵20的頻率；
[0062]2)在調(diào)節(jié)所述冷卻水泵20后繼續(xù)監(jiān)測(cè)所述熱回收出水溫度是否達(dá)到設(shè)定值，若達(dá)到設(shè)定值，則保持所述冷卻水泵20的頻率，若沒達(dá)到設(shè)定值，則繼續(xù)調(diào)節(jié)所述冷卻水泵20的頻率，使熱回收出水溫度最終達(dá)到設(shè)定值；
[0063]3)若上述過程，所述熱回收出水溫度還不能達(dá)到設(shè)定值，則啟動(dòng)所述熱交換器70，以使熱回收出水溫度最終達(dá)到設(shè)定值。
[0064]經(jīng)過上述過程，可以使熱回收系統(tǒng)的熱量回收和利用率大大提高，可以使所述熱交換器70不需要工作或在小功率下工作，大大節(jié)省了蒸汽用量。另外，在全年的不同季節(jié)，冷卻水泵20運(yùn)行不同頻率，解決了原有標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)中，全年均全載運(yùn)行的缺陷，節(jié)省了電費(fèi)。
[0065]如上所述，本實(shí)用新型提供一種變頻冷卻水泵20熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，所述熱回收系統(tǒng)包括:冷卻設(shè)備10、旁通閥30、冷卻水泵20、變頻器80、以及冷熱源設(shè)備40 ；其中，所述冷卻設(shè)備10的出水端與所述冷卻水泵20的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵20的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備40連接，所述冷熱源設(shè)備40通過第三管道與所述冷卻設(shè)備10連接，所述旁通閥30連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器80連接于所述冷卻水泵20，用于控制所述冷卻水泵20的泵水頻率。本實(shí)用新型具有以下有益效果:1)通過調(diào)節(jié)冷卻水泵20頻率，降低冷卻水泵20的揚(yáng)程，使冷卻水能夠更加充分的在冷凝器內(nèi)短循環(huán)，使冷凝器的廢熱能夠得到更充分的利用；2)解決了原有標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)中，出水溫度達(dá)不到設(shè)定值的缺陷，節(jié)省了蒸汽用量；3)在全年的不同季節(jié)，冷卻水泵20運(yùn)行不同頻率，解決了原有標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)中，全年均全載運(yùn)行的缺陷，節(jié)省了電費(fèi)。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0066]上述實(shí)施例僅例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)，其特征在于，包括: 冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備； 其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷卻設(shè)備為冷卻塔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)，其特征在于:所述旁通閥為氣動(dòng)旁通閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)，其特征在于:所述冷熱源設(shè)備為冰機(jī)冷凝器。
5.一種變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 熱回收系統(tǒng)，包括:冷卻設(shè)備、旁通閥、冷卻水泵、變頻器、以及冷熱源設(shè)備； 其中，所述冷卻設(shè)備的出水端與所述冷卻水泵的進(jìn)水端通過第一管道連接，所述冷卻水泵的出水端通過第二管道與所述冷熱源設(shè)備連接，所述冷熱源設(shè)備通過第三管道與所述冷卻設(shè)備連接，所述旁通閥連接于所述第一管道及第三管道之間，所述變頻器連接于所述冷卻水泵，用于控制所述冷卻水泵的泵水頻率； 熱水供應(yīng)系統(tǒng)，包括:供水設(shè)備、溫水一次泵、溫水二次泵及熱交換器； 其中，所述供水設(shè)備通過管道同時(shí)與所述溫水一次泵的進(jìn)水端及溫水二次泵的進(jìn)水端連接，所述溫水一次泵出水端通過管道與所述冷熱源設(shè)備連接、所述冷熱源設(shè)備通過管道與所述溫水二次泵的進(jìn)水端連接，所述溫水二次泵的出水端通過管道與所述熱交換器連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述冷卻設(shè)備為冷卻塔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述旁通閥為氣動(dòng)旁通閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的變頻冷卻水泵熱回收系統(tǒng)及熱水供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述冷熱源設(shè)備為冰機(jī)冷凝器。
【文檔編號(hào)】F24D19/10GK203823862SQ201420237947
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年5月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月9日
【發(fā)明者】李燕, 王琳, 阮玨旻, 王巍, 吳開春, 張利強(qiáng) 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司