本技術(shù)涉及半導(dǎo)體以及光伏產(chǎn)業(yè)涂膜，特別涉及一種低溫可控型閃蒸平臺。

背景技術(shù)：

1、隨著技術(shù)的發(fā)展，當前的半導(dǎo)體器件通常為層疊結(jié)構(gòu)，例如自發(fā)光顯示器、頂部入射的光電探測器、圖像傳感器和太陽能電池都是層疊結(jié)構(gòu)。在制造層疊結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件時，通常會采用溶液法制造。溶液法制造形成的半導(dǎo)體器件中的膜層可能會殘留有溶劑，需要將半導(dǎo)體器件放入真空的工藝腔室去除殘留的溶劑，現(xiàn)有的去除溶劑的方法稱為真空閃蒸工藝，是將半導(dǎo)體器件放入工藝腔室，之后對工藝腔室進行抽真空處理，以去除殘留的溶劑現(xiàn)有技術(shù)中將半導(dǎo)體器件放置在真空腔室內(nèi)的閃蒸平臺上進行閃蒸加工。

2、但是，現(xiàn)有的閃蒸平臺往往無法實現(xiàn)對溫度的精確控制，并且，現(xiàn)有的閃蒸平臺無法進行調(diào)平處理，難以保證器件放置后的平整性。

3、因此，發(fā)明一種低溫可控型閃蒸平臺來解決上述問題很有必要。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種低溫可控型閃蒸平臺，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種低溫可控型閃蒸平臺，包括平臺上座和平臺下座，所述平臺下座通過螺栓固定設(shè)置于平臺上座的底端，所述平臺上座的上表面開設(shè)有放料槽，所述平臺上座的下表面固定設(shè)置有導(dǎo)熱板，且導(dǎo)熱板設(shè)置于平臺下座上方開設(shè)的凹槽內(nèi)，所述導(dǎo)熱板的下表面開設(shè)有導(dǎo)熱槽，且導(dǎo)熱槽設(shè)置為蛇形結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)熱槽的內(nèi)側(cè)壁固定設(shè)置有多個導(dǎo)熱翅片，所述導(dǎo)熱翅片設(shè)置為傾斜結(jié)構(gòu)，且相鄰兩個導(dǎo)熱翅片呈交錯設(shè)置，所述平臺下座的下表面貫穿設(shè)置有兩個安裝座，且兩個安裝座的頂端分別延伸至導(dǎo)熱槽的兩端。

3、優(yōu)選的，所述平臺下座的下方設(shè)置有支撐座，所述支撐座的四角處均固定設(shè)置有支撐環(huán)。

4、優(yōu)選的，所述支撐環(huán)的內(nèi)部貫穿設(shè)置有支撐螺桿，且支撐螺桿固定設(shè)置于平臺下座的下表面。

5、優(yōu)選的，所述支撐螺桿的外側(cè)套接設(shè)置有支撐彈簧，且支撐彈簧的頂端與支撐環(huán)的下表面相貼合。

6、優(yōu)選的，所述支撐螺桿的底端通過螺紋設(shè)置有調(diào)節(jié)座，且調(diào)節(jié)座的頂端通過軸承與支撐彈簧的底端活動連接。

7、優(yōu)選的，所述支撐座的下表面兩端均固定設(shè)置有支撐塊，所述支撐塊的底端固定設(shè)置有底座，所述底座的外側(cè)壁四角處均固定設(shè)置有安裝耳。

8、本實用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點：

9、1、本實用新型通過設(shè)置平臺上座和平臺下座，平臺上座和平臺下座可以實現(xiàn)對器件的支撐，通過在平臺上座的下表面設(shè)置導(dǎo)熱板，導(dǎo)熱板的內(nèi)部開設(shè)有蛇形結(jié)構(gòu)的導(dǎo)熱槽，導(dǎo)熱槽可以實現(xiàn)對冷介質(zhì)的引導(dǎo)，從而可以實現(xiàn)對平臺上座和平臺下座的低溫控制，通過在導(dǎo)熱槽的內(nèi)部設(shè)置多個傾斜的導(dǎo)熱翅片，導(dǎo)熱翅片不僅可以起到引導(dǎo)冷介質(zhì)流動的作用，還可以提升冷介質(zhì)與導(dǎo)熱板之間的換熱效果，以保證裝置對溫度的控制；

10、2、本實用新型通過在平臺下座的下方設(shè)置支撐座，支撐座的四角處均設(shè)置有定位環(huán)，定位環(huán)的內(nèi)部設(shè)置有支撐螺桿，而支撐螺桿固定設(shè)置于平臺下座的下方，通過在支撐螺桿的底端設(shè)置調(diào)節(jié)座，調(diào)節(jié)座與支撐環(huán)之間設(shè)置有支撐彈簧，通過轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)座即可實現(xiàn)對支撐螺桿位置的調(diào)整，從而可以實現(xiàn)對平臺下座的調(diào)平，以便于裝置的使用。

技術(shù)特征：

1.一種低溫可控型閃蒸平臺，包括平臺上座(1)和平臺下座(2)，其特征在于：所述平臺下座(2)通過螺栓固定設(shè)置于平臺上座(1)的底端，所述平臺上座(1)的上表面開設(shè)有放料槽(3)，所述平臺上座(1)的下表面固定設(shè)置有導(dǎo)熱板(4)，且導(dǎo)熱板(4)設(shè)置于平臺下座(2)上方開設(shè)的凹槽內(nèi)，所述導(dǎo)熱板(4)的下表面開設(shè)有導(dǎo)熱槽(5)，且導(dǎo)熱槽(5)設(shè)置為蛇形結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)熱槽(5)的內(nèi)側(cè)壁固定設(shè)置有多個導(dǎo)熱翅片(6)，所述導(dǎo)熱翅片(6)設(shè)置為傾斜結(jié)構(gòu)，且相鄰兩個導(dǎo)熱翅片(6)呈交錯設(shè)置，所述平臺下座(2)的下表面貫穿設(shè)置有兩個安裝座(7)，且兩個安裝座(7)的頂端分別延伸至導(dǎo)熱槽(5)的兩端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低溫可控型閃蒸平臺，其特征在于：所述平臺下座(2)的下方設(shè)置有支撐座(8)，所述支撐座(8)的四角處均固定設(shè)置有支撐環(huán)(9)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種低溫可控型閃蒸平臺，其特征在于：所述支撐環(huán)(9)的內(nèi)部貫穿設(shè)置有支撐螺桿(10)，且支撐螺桿(10)固定設(shè)置于平臺下座(2)的下表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種低溫可控型閃蒸平臺，其特征在于：所述支撐螺桿(10)的外側(cè)套接設(shè)置有支撐彈簧(11)，且支撐彈簧(11)的頂端與支撐環(huán)(9)的下表面相貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種低溫可控型閃蒸平臺，其特征在于：所述支撐螺桿(10)的底端通過螺紋設(shè)置有調(diào)節(jié)座(12)，且調(diào)節(jié)座(12)的頂端通過軸承與支撐彈簧(11)的底端活動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種低溫可控型閃蒸平臺，其特征在于：所述支撐座(8)的下表面兩端均固定設(shè)置有支撐塊(13)，所述支撐塊(13)的底端固定設(shè)置有底座(14)，所述底座(14)的外側(cè)壁四角處均固定設(shè)置有安裝耳(15)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種低溫可控型閃蒸平臺，涉及到半導(dǎo)體以及光伏產(chǎn)業(yè)涂膜技術(shù)領(lǐng)域，包括平臺上座和平臺下座，所述平臺下座通過螺栓固定設(shè)置于平臺上座的底端，所述平臺上座的上表面開設(shè)有放料槽。本技術(shù)通過設(shè)置平臺上座和平臺下座，平臺上座和平臺下座可以實現(xiàn)對器件的支撐，通過在平臺上座的下表面設(shè)置導(dǎo)熱板，導(dǎo)熱板的內(nèi)部開設(shè)有蛇形結(jié)構(gòu)的導(dǎo)熱槽，導(dǎo)熱槽可以實現(xiàn)對冷介質(zhì)的引導(dǎo)，從而可以實現(xiàn)對平臺上座和平臺下座的低溫控制，通過在導(dǎo)熱槽的內(nèi)部設(shè)置多個傾斜的導(dǎo)熱翅片，導(dǎo)熱翅片不僅可以起到引導(dǎo)冷介質(zhì)流動的作用，還可以提升冷介質(zhì)與導(dǎo)熱板之間的換熱效果，以保證裝置對溫度的控制。

技術(shù)研發(fā)人員：孫杭州,尚博
受保護的技術(shù)使用者：江陰市紀澤萬家科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240708
技術(shù)公布日：2025/4/24