本發明涉及一種真空泵，尤其是涉及一種利用氮氣密封結構的干式螺桿真空泵，屬于真空泵技術領域。

背景技術：

干式螺桿真空泵是上世紀九十年初，伴隨歐美企業在薄膜、集成電路、半導體行業對無油高真空設備的迫切需求而發展起來的理想真空設備。由于干式螺桿真空泵具有真空高、抽氣性能穩定、抽氣范圍廣、結構簡單緊湊、免維護、抽氣元件之間不接觸無摩擦、無廢氣、無廢液排放等特點，因此干式螺桿真空泵是一種理想的節能環保產品，已經得到各行各業的廣泛認可和使用。

干式螺桿真空泵的一對螺桿相互不能接觸，螺桿與泵體的內腔及泵體的端面都必須保持一定的間隙。國內干式螺桿真空泵起步比較晚，至今沒有一個比較成熟的產品，主要體現在可靠性差，溫升大、噪聲高、漏油等缺陷，目前國內螺桿真空泵的普及率不到10％，而且國內螺桿真空泵主要依靠進口，而進口螺桿真空泵的價格非常昂貴。決定干式螺桿真空泵可靠性的關鍵有二個主要因素，一個是螺桿泵的動密封，另一個是螺桿轉子的型線，許多相關單位都在嘗試研究一種抽氣效率高、真空度高、溫升低、結構簡單、加工方便、性能穩定、可靠性好的螺桿型線。

技術實現要素：

本發明的目的在于克服上述不足，提供一種密封效果好且抽氣效率高的氮氣密封干式螺桿真空泵。

本發明的目的是這樣實現的：

一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述氮氣密封干式螺桿真空泵包含有泵體，所述泵體的前后兩端分別安裝有前端蓋和后端蓋，所述前端蓋和后端蓋上分別安裝有前軸承座和后軸承座，所述泵體內穿接有主動螺桿和從動螺桿，所述主動螺桿和從動螺桿的兩端分別穿過前端蓋和后端蓋后插置于前軸承座和后軸承座內的軸承套內；

所述主動螺桿和從動螺桿上的型線為單頭等螺距梯形齒；

所述前端蓋上安裝的油箱上設置有電動機，所述主動螺桿穿過前軸承座的一端通過聯軸器與電動機的轉軸驅動相連，且聯軸器位于油箱內，所述主動螺桿和從動螺桿與后軸承座之間設置有唇形密封件，所述主動螺桿和從動螺桿與前軸承座之間設置有雙重密封件，所述雙重密封件為機械密封件和氮氣密封裝置，所述氮氣密封裝置為由前軸承座、機械密封件與主動螺桿或從動螺桿的端部構成的氮氣腔室，且該氮氣腔室與氮氣源相連通。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述主動螺桿和從動螺桿的內外徑相等。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述主動螺桿的內徑與從動螺桿的外徑之比為1：2.5。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述主動螺桿和從動螺桿上的單頭等螺距梯形齒的旋向相反。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，主動螺桿和從動螺桿的外徑均為從吸氣口到排氣口逐漸變大。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述主動螺桿和從動螺桿上單頭等螺距梯形齒設置有五圈。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述泵體的排氣口上連接有一消聲器。

本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述泵體上設置有冷卻水套，所述后端蓋和前端蓋上均設置有冷卻水腔。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

本發明采用單頭等螺距梯形齒螺桿轉子型線，這種型線加工簡單、成本低，一般數控車床或數控銑床就能實現高精度螺桿轉子的加工，這樣螺桿真空泵的制造成本可以大大降低，可以滿足更多用戶對螺桿真空泵的迫切需求；

本發明引入氮氣密封的好處在于：成本低廉（氮氣的制取成本低）、無污染、可靠性好（氮氣屬于惰性氣體在任何條件下都不會燃燒、爆炸）、并且對大氣也不會產生污染；干式螺桿真空泵采用氮氣密封可以完全隔離真空泵的油箱內的潤滑油進入泵體的吸氣腔內，不僅避免被抽氣體被油污染，同時也可以避免被抽氣體對真空泵潤滑油的污染；采用氮氣密封的另一個好處是可以利用低溫氮氣將密封件的摩擦熱帶走，使密封件的使用壽命大大延長。

附圖說明

圖1為本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵的正視剖視圖。

圖2為本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵的俯視剖視圖。

圖3為本發明一種氮氣密封干式螺桿真空泵的側視剖視圖。

其中：

泵體1、后端蓋2、后軸承座3、后軸承壓蓋4、唇形密封件5、主動螺桿6、從動螺桿7、前端蓋8、雙重密封件9、前軸承座10、傳動齒輪11、油箱12、聯軸器13、電動機14、消聲器15；

吸氣口1.1、排氣口1.2。

具體實施方式

參見圖1~3，本發明涉及的一種氮氣密封干式螺桿真空泵，所述氮氣密封干式螺桿真空泵包含有泵體1，所述泵體1的前后兩端分別安裝有前端蓋8和后端蓋2，所述前端蓋8和后端蓋2上分別安裝有前軸承座10和后軸承座3，所述泵體1內穿接有主動螺桿6和從動螺桿7，所述主動螺桿6和從動螺桿7的兩端分別穿過前端蓋8和后端蓋2后插置于前軸承座10和后軸承座3內的軸承套內；

所述前端蓋8上安裝的油箱12上設置有電動機14，所述主動螺桿6穿過前軸承座10的一端通過聯軸器13與電動機14的轉軸驅動相連，且聯軸器13位于油箱12內，所述主動螺桿6和從動螺桿7與后軸承座3之間設置有唇形密封件5，所述主動螺桿6和從動螺桿7與前軸承座10之間設置有雙重密封件9，所述雙重密封件9為機械密封件和氮氣密封裝置，所述氮氣密封裝置為由前軸承座10、機械密封件與主動螺桿6或從動螺桿7的端部構成的氮氣腔室，且該氮氣腔室與氮氣源相連通；

所述主動螺桿6和從動螺桿7上的型線為單頭等螺距梯形齒；

進一步的，主動螺桿6和從動螺桿7的內外徑相等，且主動螺桿6的內徑與從動螺桿7的外徑之比為1：2.5；同時，主動螺桿6和從動螺桿7上的單頭等螺距梯形齒的旋向相反，且主動螺桿6和從動螺桿7的外徑均為從吸氣口1.1到排氣口1.2逐漸變大；

進一步的，所述主動螺桿6和從動螺桿7上單頭等螺距梯形齒設置有五圈；

進一步的，所述泵體1的排氣口1.2上連接有一消聲器15；

進一步的，所述泵體1上設置有冷卻水套，所述后端蓋2和前端蓋8上均設置有冷卻水腔，用于水泵體進行冷卻；

另外：需要注意的是，上述具體實施方式僅為本專利的一個優化方案，本領域的技術人員根據上述構思所做的任何改動或改進，均在本專利的保護范圍之內。