一種簡易型ccd調(diào)整座結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，其Z軸調(diào)整座組活動設(shè)于縱向固定板的第一側(cè)面，其CCD安裝在Z軸調(diào)整座組上，其升降氣缸固定在縱向固定板的第一側(cè)面，用以驅(qū)動Z軸調(diào)整座組上下升降，其X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座位于縱向固定板的第二側(cè)面，X軸調(diào)整座上開設(shè)有沿X軸方向設(shè)置的長孔，Y軸調(diào)整座的上表面設(shè)有沿Y軸方向設(shè)置的長槽，還包括連接桿，連接桿的上端伸入長孔內(nèi)并可沿長孔移動，連接桿的下端伸入長槽內(nèi)并可沿長槽移動，連接桿的上、下兩端還分別設(shè)有可將該連接桿的上、下兩端對應(yīng)固定在X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座上的固定件。本實(shí)用新型的簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單，成本低，調(diào)整更加方便。
【專利說明】—種簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種應(yīng)用于具有對位系統(tǒng)的曝光機(jī)上的簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)由縱向固定板、Z軸調(diào)整座組、(XD、升降氣缸、X軸調(diào)整座組和Y軸調(diào)整座組構(gòu)成，升降氣缸固定在縱向固定板的一側(cè)面，Z軸調(diào)整座組通過升降氣缸的驅(qū)動實(shí)現(xiàn)Z軸方向升降，CXD固定在Z軸調(diào)整座組上，X軸調(diào)整座組和Y軸調(diào)整座組位于縱向固定板的另一相對側(cè)面，且X軸調(diào)整座組由X軸調(diào)整座、兩個X軸固定塊和兩個X軸調(diào)整螺母構(gòu)成，Y軸調(diào)整座組由Y軸調(diào)整座、兩個Y軸固定塊和兩個Y軸調(diào)整螺母構(gòu)成。不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高，而且每次調(diào)整均需要分別調(diào)節(jié)兩個X軸調(diào)整螺母和兩個Y軸調(diào)整螺母，從而使得調(diào)整不方便。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，調(diào)整更加方便。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，包括縱向固定板、Z軸調(diào)整座組、(XD、升降氣缸、X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座，所述Z軸調(diào)整座組活動設(shè)于所述縱向固定板的第一側(cè)面，所述CCD安裝在所述Z軸調(diào)整座組上，所述升降氣缸固定在所述縱向固定板的第一側(cè)面，用以驅(qū)動所述Z軸調(diào)整座組上下升降，所述的X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座位于所述縱向固定板的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面與第一側(cè)面相對，所述X軸調(diào)整座呈平板狀，所述X軸調(diào)整座的一側(cè)固定在所述縱向固定板上，所述X軸調(diào)整座上開設(shè)有沿X軸方向設(shè)置的長孔，所述Y軸調(diào)整座呈方條狀，所述Y軸調(diào)整座位于所述X軸調(diào)整座的下方并且與X軸調(diào)整座垂直，所述Y軸調(diào)整座的上表面設(shè)有沿Y軸方向設(shè)置的長槽，還包括連接桿，所述連接桿的上端伸入所述長孔內(nèi)并可沿長孔移動，所述連接桿的下端伸入所述長槽內(nèi)并可沿長槽移動，所述連接桿的上、下兩端還分別設(shè)有可將該連接桿的上、下兩端對應(yīng)固定在所述X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座上的固定件。
[0005]通過采用平板狀的X軸調(diào)整座和方條狀的Y軸調(diào)整座，并在X軸調(diào)整座上開設(shè)長孔，在Y軸調(diào)整座所設(shè)置長槽，以及采用連接桿連接長孔和長槽，并在連接桿的上、下兩端設(shè)置固定件以將連接桿的上、下兩端分別固定在X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座，這樣，通過下端的固定件固定連接桿的下端至Y軸調(diào)整座上，便可以使連接桿的上端沿長孔移動，便可以調(diào)節(jié)CXD在X軸上的位置，通過上端的固定件固定連接桿的上端至X軸調(diào)整座上，便可以使連接桿的下端沿長槽移動，便可以調(diào)節(jié)CCD在Y軸上的位置，代替了現(xiàn)有技術(shù)中的X軸固定塊、X軸調(diào)整螺母、Y軸固定塊和Y軸調(diào)整螺母調(diào)節(jié)的方式，從而使得CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，且調(diào)整更加方便；且呈方條狀的Y軸調(diào)整座和呈平板狀的X軸調(diào)整座也結(jié)構(gòu)簡單，制造方便，成本低廉。
[0006]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述連接桿為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。采用雙頭螺栓和螺母可進(jìn)一步簡化結(jié)構(gòu)，降低成本，且可進(jìn)一步使得調(diào)整更加方便。
[0007]通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本實(shí)用新型的實(shí)施例。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型中的簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0009]現(xiàn)在參考附圖描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。
[0010]請參考圖1，所述的簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)包括縱向固定板1、Z軸調(diào)整座組2、(XD3、升降氣缸4、X軸調(diào)整座5和Y軸調(diào)整座6以及連接桿(圖中未示出)。所述Z軸調(diào)整座組2活動設(shè)于所述縱向固定板I的第一側(cè)面，所述(XD3安裝在所述Z軸調(diào)整座組2上，所述升降氣缸4固定在所述縱向固定板I的第一側(cè)面，用以驅(qū)動所述Z軸調(diào)整座組2上下升降，所述的X軸調(diào)整座4和Y軸調(diào)整座5位于所述縱向固定板I的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面與第一側(cè)面相對。
[0011]進(jìn)一步說明的是，所述Z軸調(diào)整座組2包括安裝座21和Z軸升降座22，所述安裝座21固定在所述Z軸升降座22的下端，所述CCD3安裝在安裝座21上，所述Z軸升降座22的上端固定有頂塊23，所述頂塊23與所述縱向固定板I平行，所述頂塊23位于所述升降氣缸4的推桿的正上方。所述頂塊23上固定有觸動塊24，所述觸動塊24位于所述升降氣缸4的推桿的正上方。
[0012]所述X軸調(diào)整座4呈平板狀,所述X軸調(diào)整座4的一側(cè)固定在所述縱向固定板I上，所述X軸調(diào)整座4上開設(shè)有沿X軸方向設(shè)置的長孔41。所述Y軸調(diào)整座5呈方條狀，所述Y軸調(diào)整座5位于所述X軸調(diào)整座4的下方并且與X軸調(diào)整座4垂直，所述Y軸調(diào)整座5的上表面設(shè)有沿Y軸方向設(shè)置的長槽51。
[0013]所述連接桿的上端伸入所述長孔41內(nèi)并可沿長孔41移動，所述連接桿的下端伸入所述長槽51內(nèi)并可沿長槽51移動，所述連接桿的上、下兩端還分別設(shè)有對應(yīng)固定在所述X軸調(diào)整座4和Y軸調(diào)整座5上的固定件。更進(jìn)一步說明的是，所述連接桿7為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。
[0014]使用時，通過所述升降氣缸4的推桿的上下運(yùn)動，使得所述觸動塊24帶動所述的頂塊23、Z軸升降座22、安裝座21以及(XD3上下運(yùn)動；通過擰緊下端的固定件使得連接桿的下端固定至Y軸調(diào)整座5上，擰松上端的固定件，便可以使連接桿的上端沿長孔41移動，從而可使得所述的縱向固定板1、Z軸調(diào)整座組2、X軸調(diào)整座5和(XD3 —起沿X軸方向移動，便可以調(diào)節(jié)(XD3在X軸上的位置；通過擰緊上端的固定件使得連接桿的上端固定至X軸調(diào)整座上，擰松下端的固定件，便可以使連接桿的下端沿長槽51移動，從而可使得所述的縱向固定板1、Z軸調(diào)整座組2、X軸調(diào)整座5和(XD3 —起沿Y軸方向移動，便可以調(diào)節(jié)(XD3在Y軸上的位置，代替了現(xiàn)有技術(shù)中的X軸固定塊、X軸調(diào)整螺母、Y軸固定塊和Y軸調(diào)整螺母調(diào)節(jié)的方式，從而使得CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，且調(diào)整更加方便。
[0015]以上結(jié)合最佳實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于以上揭示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)用新型的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
【權(quán)利要求】
1.一種簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，包括縱向固定板、Z軸調(diào)整座組、CXD、升降氣缸、X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座，所述Z軸調(diào)整座組活動設(shè)于所述縱向固定板的第一側(cè)面，所述CXD安裝在所述Z軸調(diào)整座組上，所述升降氣缸固定在所述縱向固定板的第一側(cè)面，用以驅(qū)動所述Z軸調(diào)整座組上下升降，所述的X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座位于所述縱向固定板的第二側(cè)面，所述第二側(cè)面與第一側(cè)面相對，其特征在于:所述X軸調(diào)整座呈平板狀，所述X軸調(diào)整座的一側(cè)固定在所述縱向固定板上，所述X軸調(diào)整座上開設(shè)有沿X軸方向設(shè)置的長孔，所述Y軸調(diào)整座呈方條狀，所述Y軸調(diào)整座位于所述X軸調(diào)整座的下方并且與X軸調(diào)整座垂直，所述Y軸調(diào)整座的上表面設(shè)有沿Y軸方向設(shè)置的長槽，還包括連接桿，所述連接桿的上端伸入所述長孔內(nèi)并可沿長孔移動，所述連接桿的下端伸入所述長槽內(nèi)并可沿長槽移動，所述連接桿的上、下兩端還分別設(shè)有可將該連接桿的上、下兩端對應(yīng)固定在所述X軸調(diào)整座和Y軸調(diào)整座上的固定件。
2.如權(quán)利要求1所述的簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述Z軸調(diào)整座組包括安裝座和Z軸升降座，所述安裝座固定在所述Z軸升降座的下端，所述CCD安裝在安裝座上，所述Z軸升降座的上端固定有頂塊，所述頂塊與所述縱向固定板平行，所述頂塊位于所述升降氣缸的推桿的正上方。
3.如權(quán)利要求2所述的簡易型CCD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述頂塊上固定有觸動塊，所述觸動塊位于所述升降氣缸的推桿的正上方。
4.如權(quán)利要求1或2或3所述的簡易型CXD調(diào)整座結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述連接桿為雙頭螺栓，所述固定件為螺母。
【文檔編號】F16M11/04GK204005057SQ201420422387
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月29日
【發(fā)明者】危銀長 申請人:志圣科技（廣州）有限公司