本申請涉及精密減振，具體涉及一種減振器和減振系統。

背景技術：

1、隨著超精密加工設備、測量儀器精度的不斷提高，對其工作環境的振動更趨向微振幅、低頻率的要求，由此對減振臺的減振性能也提出了更加苛刻的要求。傳統的被動隔振技術由質量-彈簧-阻尼器構成，由于其在低頻振動傳遞率與高頻振動衰減率之間存在固有矛盾，故無法滿足超精密裝備的減振需求。因此迫切需要一些新技術、新方法來改善這一現狀。

2、主動減振是解決上述問題的重要技術。主動減振系統一般由被動隔振元件與主動作動器組合而成，如空氣彈簧與音圈電機并聯的主動減振器、隔振橡膠與壓電陶瓷組成的主動減振器、空氣彈簧與氣動作動器結合的主動減振器等。此類主動減振器均能實現低頻抑制與高頻隔離的功能。

3、然而，上述主動減振器內的器件集成密度低，不利于減振器的小型化和多功能化。

技術實現思路

1、本申請的目的在于提供一種減振器和減振系統，以提高現有主動減振器內器件的集成密度，從而有利于減振器的小型化和多功能化。

2、本申請實施例提供了一種減振器，該減振器包括：相對間隔設置的底座和頂板，其中，底座朝向頂板的一側開設有腔體；活塞和支撐件，其中，活塞在腔體內以可沿腔體的深度方向移動的方式與底座連接，并與腔體密封形成密封腔體，且活塞通過支撐件與頂板連接。

3、其中，減振器還包括：承載板、電機組件和電機固定座；其中，承載板設于底座與頂板之間，且承載板與頂板相對間隔設置，并與底座連接；電機固定座設于承載板與頂板之間，并與承載板連接；電機組件設于承載板與頂板之間，并包括定子和動子，其中，定子和動子中的其中一者與電機固定座連接，另一者與頂板連接。

4、其中，減振器還包括電機固定座加強板，電機固定座加強板設于承載板與頂板之間，并與承載板和電機固定座連接；減振器具有工作狀態和非工作狀態；并且，在減振器處于非工作狀態時，電機固定座加強板對頂板提供支撐；在減振器處于工作狀態時，頂板與電機固定座加強板脫離。

5、其中，支撐件為支撐桿，支撐桿垂向布置，且承載板對應于支撐桿的區域開設有通孔，支撐桿的頂端與頂板連接，支撐桿的底端穿過通孔與活塞連接；并且，支撐桿位于通孔內的部分與通孔的內側壁間隔開，電機固定座圍繞支撐桿設置，并與支撐桿間隔開。

6、其中，電機固定座的頂端部與支撐桿的頂端部相對；減振器還包括：阻尼件，阻尼件連接于電機固定座的頂端部與支撐桿的頂端部之間，并圍繞支撐桿的頂端部設置。

7、其中，阻尼件為橡膠塊，且橡膠塊通過膠水粘接于電機固定座的頂端部與支撐桿的頂端部之間。

8、其中，減振器還包括：彈性件，彈性件沿水平向的一端與底座連接，彈性件沿水平向的另一端與活塞連接。

9、其中，彈性件在密封腔體內位于活塞與密封腔體的內底壁面之間。

10、其中，彈性件包括沿垂向層疊設置的多個片簧，且相鄰的兩個片簧之間通過墊片隔開。

11、本申請實施例還提供了一種減振系統，該減振系統包括上述任一項的減振器。

12、本申請的有益效果是：本申請提供的減振器和減振系統，減振器應用于減振系統中，并包括相對間隔設置的底座和頂板以及活塞和支撐件，其中，底座朝向頂板的一側開設有腔體，活塞在腔體內以可沿腔體的深度方向移動的方式與底座連接，并與腔體密封形成密封腔體，且活塞通過支撐件與頂板連接，從而實現了在減振器中集成具有垂向減振功能的氣動組件，且該氣動組件所包括的氣腔和活塞均設置在減振器底部，因而避免了氣腔和活塞對減振器內底座與頂板之間空間的占用，使得減振器內底座與頂板之間的空間可允許設置更多的器件，且因減振器底座可設置氣腔的區域的面積更大，故可在不增大或較小地增大底座厚度的情況下，實現將氣腔和活塞設于減振器底座內部，進而可提高減振器內器件的集成密度，并可使減振器的空間緊湊，以利于減振器的小型化和多功能化。

技術特征：

1.一種減振器，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的減振器，其特征在于，所述減振器還包括：

3.根據權利要求2所述的減振器，其特征在于，所述減振器還包括電機固定座加強板，所述電機固定座加強板設于所述承載板與所述頂板之間，并與所述承載板和所述電機固定座連接；

4.根據權利要求2所述的減振器，其特征在于，所述支撐件為支撐桿，所述支撐桿垂向布置，且所述承載板對應于所述支撐桿的區域開設有通孔，所述支撐桿的頂端與所述頂板連接，所述支撐桿的底端穿過所述通孔與所述活塞連接；并且，所述支撐桿位于所述通孔內的部分與所述通孔的內側壁間隔開，所述電機固定座圍繞所述支撐桿設置，并與所述支撐桿間隔開。

5.根據權利要求4所述的減振器，其特征在于，所述電機固定座的頂端部與所述支撐桿的頂端部相對；所述減振器還包括：

6.根據權利要求5所述的減振器，其特征在于，所述阻尼件為橡膠塊，且所述橡膠塊通過膠水粘接于所述電機固定座的頂端部與所述支撐桿的頂端部之間。

7.根據權利要求1所述的減振器，其特征在于，所述減振器還包括：

8.根據權利要求7所述的減振器，其特征在于，所述彈性件在所述密封腔體內位于所述活塞與所述密封腔體的內底壁面之間。

9.根據權利要求7所述的減振器，其特征在于，所述彈性件包括沿垂向層疊設置的多個片簧，且相鄰的兩個所述片簧之間通過墊片隔開。

10.一種減振系統，其特征在于，包括權利要求1至9任一項所述的減振器。

技術總結
本申請涉及一種減振器和減振系統，屬于精密減振技術領域，該減振器包括相對間隔設置的底座和頂板以及活塞和支撐件；底座朝向頂板的一側開設有腔體，活塞在腔體內以可沿腔體的深度方向移動的方式與底座連接，并與腔體密封形成密封腔體，且活塞通過支撐件與頂板連接，從而實現了在減振器中集成具有垂向減振功能的氣動組件，且該氣動組件所包括的氣腔和活塞均設置在減振器底部，因而避免了氣腔和活塞對減振器內底座與頂板之間空間的占用，且因減振器底座可設置氣腔的區域的面積更大，故可在不增大或較小地增大底座厚度的情況下，實現將氣腔和活塞設于減振器底座內部，進而可提高器件集成密度，并可使空間緊湊，以利于減振器的小型化和多功能化。

技術研發人員：任波,呂丁,姜偉,李小清,謝德東,陳輝,劉鵬兵
受保護的技術使用者：武漢格藍若精密技術有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/3/20