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一種切割機鋼線直徑檢測系統的制作方法

文檔序號:5924565閱讀:243來源:國知局
專利名稱:一種切割機鋼線直徑檢測系統的制作方法
技術領域
本實用新型涉及晶體硅切片技術領域,更具體地說,涉及一種切割機鋼線直徑檢測系統。
背景技術
在半導體或光伏行業,最基本的生產原料是硅料,硅料在多晶爐內通過熔化、冷卻進而生長成多晶硅,所述多晶硅再經直拉法可形成單晶硅。后續需要通過切割機(目前采用的多為多線切割機)對所述多晶硅或單晶硅進行切片,以形成薄的、可用來制備半導體器件或太陽能電池的硅片。所述切割機包括放線端和收線端,所述放線端可放出鋼線,所述放出的鋼線經晶體硅(包括多晶硅和單晶硅)后將所述晶體硅切割成所需厚度的硅片,切割后的鋼線經收線端被收回。在采用切割機對晶體硅進行切片的過程中,常需要檢測切割機放線端所放出鋼線的直徑和切割機收線端所收回鋼線的直徑,進而來判斷該切割機所放出鋼線的質量以及收回鋼線的磨損情況。現有技術中一般通過從切割機的放線端和收線端分別剪一段鋼線,將所剪鋼線在實驗室采用激光測徑儀進行鋼線直徑的測量,并以所測量的一小段鋼線的直徑來粗略判斷與此段鋼線相鄰的放線端所放出鋼線的直徑或收線端所收回鋼線的直徑。但是,這種方法不能實時地對切割機放線端和收線端的鋼線進行直徑的檢測。

實用新型內容有鑒于此,本實用新型提供一種切割機鋼線直徑檢測系統,該系統能夠實時地檢測切割機放線端和收線端鋼線的直徑。為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案一種切割機鋼線直徑檢測系統,該系統包括位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀;位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀。優選的,上述系統中,所述第一激光測徑儀包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第一數據檢測裝置;收集所述第一數據檢測裝置所測得的數據并進行圖表化處理的第一數據處理裝置。優選的,上述系統中,所述第二激光測徑儀包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第二數據檢測裝置;收集所述第二數據檢測裝置所測得的數據并進行圖表化處理的第二數據處理裝置。優選的,上述系統中,所述第一激光測徑儀還包括將由所述第一數據處理裝置處理后的數據進行顯示的第一數據顯示裝置。優選的,上述系統中,所述第二激光測徑儀還包括將由所述第二數據處理裝置處理后的數據進行顯示的第二數據顯示裝置。優選的,上述系統還包括第三數據顯示裝置,所述第三數據顯示裝置用于將所述第一激光測徑儀和第二激光測徑儀所測鋼線直徑顯示出來。優選的,上述系統還包括與所述第一激光測徑儀相連的第一報警裝置,所述第一報警裝置用于當所述第一激光測徑儀所測鋼線直徑超出第一預設范圍時發出報警。優選的,上述系統還包括與所述第二激光測徑儀相連的第二報警裝置,所述第二報警裝置用于當所述第二激光測徑儀所測鋼線直徑超出第二預設范圍時發出報警。優選的,上述系統中,所述第一數據檢測裝置利用兩道相互垂直的激光束通過 360°旋轉對焦鋼線表面,進而測得鋼線直徑數據。優選的,上述系統中,所述第二數據檢測裝置利用兩道相互垂直的激光束通過 360°旋轉對焦鋼線表面,進而測得鋼線直徑數據。從上述技術方案可以看出,本實用新型所提供的切割機鋼線直徑檢測系統包括 位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀;位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀。本實用新型所提供的切割機鋼線直徑檢測系統,通過在切割機放線端和收線端分別設置第一激光測徑儀和第二激光測徑儀,從而可對切割機放線端所放出鋼線的直徑和切割機收線端所收回鋼線的直徑進行在線、實時地檢測,通過實時檢測切割機放線端所放出鋼線的直徑,可利于及時發現鋼線斷絲的可能性;通過實時檢測切割機收線端所收回鋼線的直徑,可及時發現鋼線磨損量變化的情況。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例所提供的一種切割機鋼線直徑檢測系統的結構示意圖;圖2為本實用新型實施例所提供的另一種切割機鋼線直徑檢測系統的結構示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一參考圖1,圖1為本實用新型所提供的一種切割機鋼線直徑檢測系統的結構示意圖,該系統包括位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀1 ;位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀2。本實用新型所提供的切割機鋼線直徑檢測系統的具體工作過程為由放線端放出的鋼線3經導輪后,首先通過第一激光測徑儀1進行第一次直徑檢測,由于所述第一激光測徑儀1設置在切割機放線端,因此,可以在線、實時地對放線端所放出的鋼線3進行直徑的檢測,進而可以及時地發現所述鋼線3發生斷絲的可能性,以便及時采取相應措施避免后續切片工作的延誤。對所述鋼線3進行第一次直徑檢測后,該鋼線3進入切片部分4,在所述切片部分4完成對晶體硅的切片工作。完成切片工作后的鋼線3再經設置在收線端的第二激光測徑儀2進行第二次直徑檢測,通過在線、實時地檢測切片后鋼線3的直徑,可以及時發現鋼線3磨損量的變化,從而可確定鋼線3上切片輔料是否滿足要求,同時也利于晶體硅品質問題的追述、原因的查找。對切片后的鋼線3進行第二次直徑檢測后,所述鋼線3經相應導輪由收線端收回。采用第一激光測徑儀1對所述鋼線3進行第一次直徑檢測,或采用第二激光測徑儀2對所述鋼線3進行第二次直徑檢測,兩者的檢測原理是相同的,以前者為例來說明所述第一激光測徑儀1發出兩束相互垂直的激光,通過對焦使所述兩束相互垂直的激光照到鋼線3表面某一點,進而測量相應數據并處理,最終可得出鋼線3表面對應所述某一點的直徑。由于所述鋼線3由放線端被放出,之后要經過切片部分4完成對晶體硅的切片工作,后續要由收線端被收回,因此,整個過程中所述鋼線3是處于連續的被輸送狀態,通過所述鋼線3的運動,所述第一激光測徑儀1可連續測出鋼線3上每一點的直徑,因此,可實現對鋼線直徑在線、實時地檢測。由上可知,本實用新型所提供的切割機鋼線直徑檢測系統,通過在切割機放線端和收線端分別設置第一激光測徑儀和第二激光測徑儀,從而可在線、實時地對切片前和切片后鋼線的直徑進行檢測,通過在線、實時地對切片前鋼線的直徑進行檢測,可及時發現鋼線發生斷絲的可能性,以便及時采取相應措施;通過在線、實時地對切片后鋼線的直徑進行檢測,可及時發現鋼線磨損量變化的情況,進而確定鋼線或鋼線上切片輔料是否滿足要求, 同時也利于晶體硅品質問題的追述、原因的查找。實施例二參考圖2,圖2為本實用新型實施例所提供的另一種切割機鋼線直徑檢測系統的結構示意圖,該系統包括位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀1 ;位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀2。其中,所述第一激光測徑儀1包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第一數據檢測裝置11 ;收集所述第一數據檢測裝置11所測得的數據并進行圖表化處理的第一數據處理裝置12。所述第二激光測徑儀2包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第二數據檢測裝置21 ;收集所述第二數據檢測裝置21所測得的數據并進行圖表化處理的第二數據處理裝置22。本實施例中為了防止鋼線3的橫截面不是標準的圓形,進而影響最終所測鋼線3 直徑的數據,因此,使所述第一數據檢測裝置11和第二數據檢測裝置21分別進行360°旋轉來測試鋼線3表面直徑,從而可減小所測數據的誤差。本實施例中所述切割機鋼線直徑檢測系統還包括第三數據顯示裝置5,所述第三數據顯示裝置5分別連接第一激光測徑儀1中的第一數據處理裝置12和第二激光測徑儀2中的第二數據處理裝置22,用于將所述第一數據處理裝置12和第二數據處理裝置22 處理后的數據或圖表顯示出來,以便人們能夠及時觀察到鋼線3直徑的實時變化情況。其他實施例中,也可以分別設置兩個數據顯示裝置,使其分別顯示第一激光測徑儀1所測得的切片前鋼線3的直徑和第二激光測徑儀2所測得的切片后鋼線3的直徑。這兩個數據顯示裝置可以分別包含在第一激光測徑儀1和第二激光測徑儀2內,也可以設置在其外。實施例三本實施例中所述切割機鋼線直徑檢測系統在前述兩個實施例的基礎上還包括與所述第一激光測徑儀相連的第一報警裝置,所述第一報警裝置用于當所述第一激光測徑儀所測鋼線直徑超出第一預設范圍時發出報警;與所述第二激光測徑儀相連的第二報警裝置,所述第二報警裝置用于當所述第二激光測徑儀所測鋼線直徑超出第二預設范圍時發出報警。所述第一預設范圍和第二預設范圍是人們預先設定的,對于所測鋼線直徑超出所述第一預設范圍的情況,無論是鋼線直徑太小或太大,其均不適合進行后續的切片工作,此時,所述第一報警裝置發出報警,進而人們可采取相應措施進行補救;對于所測鋼線直徑超出所述第二預設范圍的情況,例如當所述鋼線直徑太大時,人們可判斷是否是因為切割液不滿足要求而使鋼線表面粘有了切割液而導致,從而便于人們找出原因并改進。本實施例中通過添加第一報警裝置和第二報警裝置,當所測鋼線直徑的數據波動范圍超出預設的范圍時,通過報警裝置的報警可便于人們及時發現問題并采取相應的措施。本實用新型中各實施例采用遞進的方式進行描述,各實施例中的描述各有側重點,相關、相似之處可相互參考。需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且,術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備
所固有的要素。在沒有更多限制的情況下,由語句“包括一個......”限定的要素,并不排
除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設備中還存在另外的相同要素。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現。因此,本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求1.一種切割機鋼線直徑檢測系統,其特征在于,包括位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀; 位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀。
2.根據權利要求1所述的系統,其特征在于,所述第一激光測徑儀包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第一數據檢測裝置;收集所述第一數據檢測裝置所測得的數據并進行圖表化處理的第一數據處理裝置。
3.根據權利要求1所述的系統,其特征在于,所述第二激光測徑儀包括利用兩道相互垂直的激光束對焦鋼線表面,從而測得鋼線直徑數據的第二數據檢測裝置;收集所述第二數據檢測裝置所測得的數據并進行圖表化處理的第二數據處理裝置。
4.根據權利要求2所述的系統,其特征在于,所述第一激光測徑儀還包括 將由所述第一數據處理裝置處理后的數據進行顯示的第一數據顯示裝置。
5.根據權利要求3所述的系統,其特征在于,所述第二激光測徑儀還包括 將由所述第二數據處理裝置處理后的數據進行顯示的第二數據顯示裝置。
6.根據權利要求1所述的系統,其特征在于,還包括第三數據顯示裝置,所述第三數據顯示裝置用于將所述第一激光測徑儀和第二激光測徑儀所測鋼線直徑顯示出來。
7.根據權利要求1 6任一項所述的系統,其特征在于,還包括與所述第一激光測徑儀相連的第一報警裝置,所述第一報警裝置用于當所述第一激光測徑儀所測鋼線直徑超出第一預設范圍時發出報警。
8.根據權利要求1 6任一項所述的系統,其特征在于,還包括與所述第二激光測徑儀相連的第二報警裝置,所述第二報警裝置用于當所述第二激光測徑儀所測鋼線直徑超出第二預設范圍時發出報警。
9.根據權利要求2所述的系統,其特征在于,所述第一數據檢測裝置利用兩道相互垂直的激光束通過360°旋轉對焦鋼線表面,進而測得鋼線直徑數據。
10.根據權利要求3所述的系統,其特征在于,所述第二數據檢測裝置利用兩道相互垂直的激光束通過360°旋轉對焦鋼線表面,進而測得鋼線直徑數據。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種切割機鋼線直徑檢測系統。所述切割機鋼線直徑檢測系統包括位于切割機放線端、用于檢測切割機放線端所放出鋼線直徑的第一激光測徑儀;位于切割機收線端、用于檢測切割機收線端所收回鋼線直徑的第二激光測徑儀。本實用新型通過在切割機放線端和收線端分別設置第一激光測徑儀和第二激光測徑儀,從而可實現實時檢測切片前和切片后鋼線的直徑,通過所述鋼線直徑的變化可及時發現問題并采取相應措施。
文檔編號G01B11/10GK202229736SQ201120353739
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月20日 優先權日2011年9月20日
發明者余振祥 申請人:浙江思博恩新材料科技有限公司
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