專利名稱：使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法
技術領域：
本發明涉及集成電路芯片測試技術領域，特別涉及一種使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法。
背景技術：
集成電路芯片(integrated circuit chip, IC芯片)的電性測試在半導體制作工藝(semiconductor process)的各階段中都是相當重要的。每一個IC芯片都必須接受測 試以確保其電性功能(electrical function)。在集成電路芯片的測試過程中，使用的測試設備主要包括測試機(AutomaticTest Equipment, ATE)、探針臺(prober)及handler。其中，測試機是用于晶圓和其他成品測試的一種專用設備，可以實現各種電性參數的測量，以檢測集成電路芯片的電性功能。探針臺是集成電路制造過程中用于晶圓測試的一種設備，主要完成晶圓的固定步距移動。handler也是集成電路制造過程中用于晶圓測試的一種設備，主要用于成品的測試。具體的，Handler用于測試成品，prober用于測試晶圓。通常的，所述測試機包括電源輸出端口及多個數字端口等功能端口。當進行集成電路芯片測試時，所述電源輸出端口與測試芯片的電源管腳相連，用以向所述測試芯片提供電源。通常的，所述電源輸出端口的輸出信號都能夠滿足集成電路芯片測試的要求。但是，電源輸出端口的輸出信號具有較長的時延，通常該時延是一個毫秒級別的量，當對于集成電路芯片測試的要求比較嚴時，特別的，當面對測試芯片要求電源的上電在微秒級別并測試其功能或參數時，該電源輸出端口的輸出信號將不能滿足集成電路芯片測試的要求。因此，本領域技術人員一直在試圖解決這一難題，S卩如何提供一延遲時間在微秒級別的輸出電源。

發明內容
本發明的目的在于提供一種使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法，以解決現有的測試芯片電源供給過程中，電源輸出信號的延時較長的問題。為解決上述技術問題，本發明提供一種使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，所述使用測試機數字通道作為芯片電源的系統包括測試機及電流轉換器，其中，所述測試機包括數字端口，所述數字端口與所述電流轉換器連接。可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統中，所述測試機包括多個數字端口，所述電流轉換器的數量為多個，其中，每個數字端口與一個或者多個電流轉換器連接。可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統中，所述數字端口輸出數字信號，所述數字信號為電壓信號。可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統中，所述電流轉換器將系統中的電流信號放大，并輸出放大后的電流信號。
可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統中，所述電流轉換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。本發明還提供一種上述使 用測試機數字通道作為芯片電源的系統實現的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法，所述使用測試機數字通道作為芯片電源的方法包括所述數字端口向所述電流轉換器輸出數字信號，所述數字信號為電壓信號；所述電流轉換器對系統中的電流信號進行轉換，并輸出轉換后的電流信號。可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法中，所述電流轉換器對系統中的電流信號進行放大，并輸出放大后的電流信號。可選的，在所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法中，所述電流轉換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。在本發明提供的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法中，通過數字端口及電流轉換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。


圖I是本發明實施例的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統的框結構示意圖；圖2是本發明實施例的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法的流程示意圖。
具體實施例方式以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。請參考圖1，其為本發明實施例的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統的框結構示意圖。如圖I所示，所述使用測試機數字通道作為芯片電源的系統包括測試機I及電流轉換器2，其中，所述測試機I包括數字端口 10，所述數字端口 10與所述電流轉換器2連接。在本實施例中，所述數字端口 10的數量為5個，分別為第一數字端口 10a、第二數字端口 10b、第三數字端口 10c、第四數字端口 IOd及第五數字端口 IOe(在此，需說明的是，第一數字端口 10a、第二數字端口 10b、第三數字端口 10c、第四數字端口 IOd及第五數字端口 IOe為相同的數字端口，在此僅為了方便區分而給予不同的命名)。在此，每個數字端口10與一個電流轉換器2連接，其中，第一數字端口 IOa與第一電流轉換器2a連接、第二數字端口 IOb與第二電流轉換器2b連接、第三數字端口 IOc與第三電流轉換器2c連接、第四數字端口 IOd與第四電流轉換器2d連接、第五數字端口 IOe與第五電流轉換器2e連接(在此，需說明的是，第一電流轉換器2a、第二電流轉換器2b、第三電流轉換器2c、第四電流轉換器2d及第五電流轉換器2e為相同的電流轉換器，在此僅為了方便區分而給予不同的命名)。當然，在本發明的其他實施例中，每個數字端口 10也可以與多個電流轉換器連接，例如每個數字端口 10與兩個電流轉換器連接，又例如每個數字端口 10與三個電流轉換器連接,對此,本申請并不做限定。由此，在本實施例提供的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統中，能夠產生5個電源輸出信號，從而可以滿足5個待測芯片3的電源供給。在本實施例中，第一電流轉換器2a與第一待測芯片3a連接、第二電流轉換器2b與第二待測芯片3b連接、第三電流轉換器2c與第三待測芯片3c連接、第四電流轉換器2d與第四待測芯片3d連接、第五電流轉換器2e與第五待測芯片3e連接，由此，5個待測芯片3均能夠得到數字端口 10輸出的、經過電流轉換器2轉換后的電源信號。對于測試機I而言，由于數字端口 10輸出的是數字信號，因此，其能夠毫無延遲(或者說延遲控制在微秒級別)的直接輸出信號，所輸出的信號再經過電流轉換器2 (其中，所述電流轉換器2可以選擇通用的一些電流轉換器，例如buffer等，由于電流轉換器2對 于電流的轉換速度極快，其基本不占用工作時間，因此輸出的電源信號仍舊能夠滿足延遲控制的要求)的轉換，便能夠滿足待測芯片對于電源的要求。其中，采用所述使用測試機數字通道作為芯片電源的系統實現的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法具體請參考圖2，其為本發明實施例的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法的流程示意圖。如圖2所示，所述使用測試機數字通道作為芯片電源的方法包括S40 :所述數字端口 10 (相應參考圖I)向所述電流轉換器2 (相應參考圖I)輸出數字信號，所述數字信號為電壓信號；S41 :所述電流轉換器2 (相應參考圖I)對系統中的電流信號進行轉換，并輸出轉換后的電流信號。具體的，所述電流轉換器2將系統中的電流信號(也即數字端口 10輸出的電壓信號對應的電流信號)放大，經過放大之后，再輸出至待測芯片3。優選的，所述電流轉換器2輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片3要求的電流強度，即所述電流轉換器2輸出的電流信號強度大于測試芯片3所需的電流信號的強度，由此，便能夠極大的滿足測試芯片3進行測試時對于電源中電流信號強度的要求，以防止因為系統中的電流被鉗制住，導致驅動能力受限的問題。由于數字端口 10輸出的數字信號(即電壓信號)與測試機I上的電源輸出端口(圖I中未不出)所輸出的電源信號中的電壓信號強度相同，因此,對于數字端口 10輸出的電壓信號可不予轉換，即所述數字端口 10輸出的電壓信號經過電流轉換器2之后，直接傳輸給待測芯片3，也就是說，所述電流轉換器2不對所述電壓信號進行處理。綜上，在本實施例提供的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法中，通過數字端口及電流轉換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。此外，由于通常所述測試機上的數字端口的數量較多，因此，通過利用所述測試機上的數字端口提供電源信號，能夠滿足多片待測芯片對于電源的需求，從而提高測試效率，降低測試成本。上述描述僅是對本發明較佳實施例的描述，并非對本發明范圍的任何限定，本發明領域的普通技術人員根據上述揭示內 容做的任何變更、修飾，均屬于權利要求書的保護范圍。
權利要求
1.一種使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，其特征在于，包括測試機及電流轉換器，其中，所述測試機包括數字端口，所述數字端口與所述電流轉換器連接。
2.如權利要求I所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，其特征在于，所述測試機包括多個數字端口，所述電流轉換器的數量為多個，其中，每個數字端口與一個或者多個電流轉換器連接。
3.如權利要求I所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，其特征在于，所述數字端口輸出數字信號，所述數字信號為電壓信號。
4.如權利要求3所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，其特征在于，所述電流轉換器將系統中的電流信號放大，并輸出放大后的電流信號。
5.如權利要求4所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統，其特征在于，所述電流轉換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。
6.一種使用如權利要求I所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的系統實現的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，包括 所述數字端口向所述電流轉換器輸出數字信號，所述數字信號為電壓信號； 所述電流轉換器對系統中的電流信號進行轉換，并輸出轉換后的電流信號。
7.如權利要求6所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，所述電流轉換器對系統中的電流信號進行放大，并輸出放大后的電流信號。
8.如權利要求7所述的使用測試機數字通道作為芯片電源的方法，其特征在于，所述電流轉換器輸出的放大后的電流信號的電流強度大于測試芯片要求的電流強度。
全文摘要
本發明提供了一種使用測試機數字通道作為芯片電源的系統及方法，其中，所述使用測試機數字通道作為芯片電源的系統包括測試機及電流轉換器，其中，所述測試機包括數字端口，所述數字端口與所述電流轉換器連接。在此，通過數字端口及電流轉換器的共同作用向測試芯片提供電源，由此可得到基本毫無延遲，或者說延遲控制在微秒級別的電源輸出信號，從而在集成電路芯片測試過程中，對于電源的供給滿足了要求。
文檔編號G01R31/28GK102967821SQ20121054678
公開日2013年3月13日 申請日期2012年12月14日 優先權日2012年12月14日
發明者劉杰, 牛勇, 徐惠, 張志勇, 施瑾, 湯雪飛, 葉建明 申請人:上海華嶺集成電路技術股份有限公司