專利名稱：單點確定晶圓測試范圍的方法
技術領域：
本發明涉及探針臺測試領域，尤其涉及一種單點確定晶圓測試范圍的方法。
背景技術：
在半自動探針測試設備中，由于不具有機器視覺設備，需要人工輔助來快速準確的確定晶圓的測試范圍。目前，定位晶圓的測試范圍公知的方法是固定圓心或是多點計算圓心法。前者對于晶圓的擺放位置要求很嚴格；后者操作繁瑣，不利于提高生產效率。

發明內容
本發明的目的在于提供了ー種操作簡便且可快速準確地確定出晶圓測試范圍的單點確定晶圓測試范圍的方法，g在解決現有技術下定位晶圓測試范圍用的固定圓心法對晶圓的擺放位置要求嚴格，缺乏靈活性以及多點計算圓心法操作繁瑣、效率低下的技術問題。本發明是這樣實現的，一種單點確定晶圓測試范圍的方法，包括以下步驟
計算晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標；
通過人工方式錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標；
根據所述當前電機脈沖坐標計算所述晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標；
根據所述通論Map坐標和實際Map坐標丨0]的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍。所述的晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標,是指所述晶圓Map分布圖上第一行最左端的晶粒的Map坐標。所述的晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標，是指晶圓左上角第一個晶粒的當前電機脈沖坐標。所述的根據所述理論Map坐標和實際Map坐標間的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍，是指通過所述理論Map坐標和實際Map坐標間的映射關系確定出啟測點的理論Map坐標和實際Map坐標間的坐標偏移量，然后根據所述坐標偏移量結合固定圓心算法來確定晶圓的實際測試范圍。本發明中，是根據輸入的晶圓直徑、晶粒尺寸及晶粒分布奇偶性特征參數，計算所述晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標。本發明中，所述的通過人工方式錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標的前提條件是，啟動測試探針臺，上片掃描并將放在承片臺上的晶圓上的啟測點晶粒的焊盤與測試探針對準，然后再錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標。在不具有機器視覺的半自動探針設備中，本發明方法不限制晶圓在承片臺上的擺放位置，僅借助簡單的人工輔助操作，通過晶圓上指定的ー個特殊位置的晶粒，即啟測點晶粒的坐標映射關系就能快速準確地確定計算出整個晶圓的測試范圍，相比較于目前所述的兩點或三點確定圓心的方法操作更簡單，更為快速，且測試范圍也能準確定位，有利于提高生產效率。


圖1是本發明實施例提供的單點確定晶圓測試范圍的方法的流程圖。圖2計算晶粒在晶圓Map分布圖上X、Y方向的半徑R上最多能分布的個數。圖3計算晶粒中心與晶圓中心的距離C。圖4計算坐標偏移量。
具體實施例方式為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖，對本發明進行進一步詳細說明。本發明通過根據輸入的已知的晶圓直徑、晶粒尺寸，計算晶圓Map分布圖上的晶粒分布情況,推算出晶圓Map分布圖上的啟測點晶粒的理論Map坐標；然后通過人工錄入的承片臺上實際晶圓上對應的啟測點晶粒的脈沖坐標，計算出晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標，建立該理論Map坐標與實際Map坐標兩組坐標之間的坐標映射關系，根據該映射關系確定坐標偏移量，并根據該坐標偏移量，結合固定圓心算法最終確定出晶圓的實際測試范圍。請參見圖1所示，該圖1示出了本發明實施例提供的單點確定晶圓測試范圍的算法的流程，為了便于說明，僅示出了與本發明實施例有關的部分。本發明所述的單點確定晶圓測試范圍的方法，包括以下步驟
步驟1:根據輸入的已知的晶圓直徑、晶粒尺寸S，計算晶粒在晶圓Map分布圖上X、Y方向的半徑R上最多能分布的個數(圖2)，分別記為Nx和N,；
公式Nx = R /Sx;
Ny = R / Sy;
步驟2 :計算晶圓Map分布圖上的啟測點晶粒(晶圓Map分布圖上第一行最左端的晶粒)的理論Map坐標；
首先，要計算指定的晶粒的理論Map坐標是否在晶圓測試范圍內，計算公式如下
公式1:根據指定的晶粒的理論Map坐標計算晶粒中心相對晶圓中心的長度坐標 Lx = Mx * Sx + Parx * 0. 5 * Sx;
Ly = My * Sy + Pary * 0. 5 * Sy;
其中MX和My,是指定的晶粒的理論Map坐標，Sx和Sy是晶粒的尺寸，Parx和Pary是晶粒分布的奇偶性，Lx和Ly是晶粒中心相對晶圓中心的長度坐標。公式2 :根據所述Lx和Ly,計算晶粒中心與晶圓中心的距離C(圖3)
C= (Lx * Lx+ Ly * Ly)1/2
將晶粒中心與晶圓中心的距離C與晶圓的半徑R比較，如果C < R，則該坐標代表的啟測點晶粒在晶圓內；反之，在晶圓外。下面,按上述的公式1、2計算晶圓Map分布圖上的啟測點晶粒的理論Map坐標 先設晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的X坐標Cx = 0 , Y坐標Cy = Ny ；a: 將(cx，C,)作為上述的Mr和M,代入上面的公式1、2，判斷Map分布圖上啟測點晶粒是否在晶圓內，若否，轉到5 ;若是，轉到 ;
@ .晶粒的Y坐標向圓心方向移動一次，即C, + I后，重復::1:；
@ .將改變了 Y坐標后的晶粒坐標(Cx，C,)代入上面的公式1、2，判斷Map分布圖上啟測點晶粒是否在晶圓內，若是，轉到S，若否，轉到:2 ；
(i).晶粒的X坐標向遠離圓心的方向移動一次，即cx -1后，重復0 ；
f .此時已經求得位于晶圓第一行左端，最接近晶圓，但處于晶圓外部的晶粒的坐
標。將該晶粒的X坐標向靠近圓心的方向移動一次，即Cr +1后，新的晶粒坐標處于晶圓范圍中，計算完成。此處求得的啟測點晶粒的坐標(Cr，C,)稱為Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標。若是手動上片時能將晶圓的中心與承片臺中心準確重合，該坐標也就是實際晶圓的啟測點晶粒坐標。下面介紹當兩者的中心不重合吋，如何根據理論Map坐標計算實際晶圓的啟測點晶粒坐標。步驟3 :啟動測試探針臺，上片掃描后，將晶圓上啟測點晶粒(晶圓上晶圓左上角第一個晶粒)的焊盤與測試探針對準后，錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標，即晶圓上啟測點晶粒的當前實際坐標；
步驟4:根據晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標，計算出晶圓上啟測點晶粒在Map分布圖上的實際Map坐標，公式如下
Mapx = (Pulr - Zx + Sx / 2) / Sx Map, = (Pul, - Z, + S, / 2) / S,
其中Mapx和Map,是晶粒在Map分布圖上的實際Map坐標，Sr和S,是晶粒尺寸，Pulx和Pul,是晶圓上啟測點晶粒的電機脈沖坐標(晶圓上啟測點晶粒的實際坐標)，Zx和Z,是晶圓中心的電機脈沖坐標。步驟5 :將步驟4計算出的晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標(Mapx，Map,)和步驟2計算出的Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標(Cr，Cy)相比較,建立坐標映射關系，根據該坐標映射關系計算出，啟測點的實際Map坐標與理論Map間的坐標偏移量，進而結合固定圓心算法，確定出整個晶圓的實際測試范圍，坐標偏移量(圖4)計算公式如下
Tr = Mapx - Cr;
T, = Map, - Cy;
其中，Tr和T,是實際晶圓上啟測點晶粒和Map分布圖上啟測點晶粒的坐標偏移量。步驟6 :開始晶圓的實際測試。
從以上方案可以看出，在不具有機器視覺的半自動探針設備中，本發明方法不限制晶圓在承片臺上的擺放位置，僅借助簡單的人工輔助操作，通過晶圓上指定的ー個特殊位置的晶粒，即啟測點晶粒的坐標映射關系就能快速準確地確定計算出整個晶圓的測試范圍，相比較于目前所述的兩點或三點確定圓心的方法操作更簡單，更為快速，且測試范圍也能準確定位，有利于提聞生廣效率。以上所述僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發明的保護范圍。
權利要求
1.一種單點確定晶圓測試范圍的方法，其特征在于，包括以下步驟 計算晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標； 通過人工方式，錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標； 根據所述當前電機脈沖坐標計算所述晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標； 根據所述通論Map坐標和實際Map坐標丨0]的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍。
2.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的算法，其特征在于，所述的晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標，是指所述晶圓Map分布圖上第一行最左端的晶粒的Map坐標。
3.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的算法，其特征在于，所述的晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標，是指晶圓左上角第一個晶粒的當前電機脈沖坐標。
4.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的算法，其特征在于，所述的根據所述通論Map坐標和實際Map坐標間的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍，是指通過所述理論Map坐標和實際Map坐標間的映射關系確定出啟測點的理論Map坐標和實際Map坐標間的坐標偏移量，然后根據所述坐標偏移量結合固定圓心算法來確定晶圓的實際測試范圍。
5.根據權利要求1或4所述的單點確定晶圓測試范圍的算法，其特征在于，根據輸入的晶圓直徑、晶粒尺寸及晶粒分布奇偶性特征參數，計算所述晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標。
6.根據權利要求1所述的單點確定晶圓測試范圍的算法，其特征在于，所述的通過人エ方式錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標的前提條件是，啟動測試探針臺，上片掃描并將放在承片臺上的晶圓上的啟測點晶粒的焊盤與測試探針對準，然后再錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標。
全文摘要
本發明公開了了一種單點確定晶圓測試范圍的方法，包括以下步驟計算晶圓Map分布圖上啟測點晶粒的理論Map坐標；通過人工方式錄入晶圓上啟測點晶粒的當前電機脈沖坐標；根據所述當前電機脈沖坐標計算所述晶圓上啟測點晶粒的實際Map坐標；根據所述理論Map坐標和實際Map坐標間的坐標映射關系，確定晶圓的實際測試范圍。本發明方法由于僅僅是通過晶圓上指定的一個特殊位置的晶粒，即啟測點晶粒的坐標映射關系來計算出整個晶圓的測試范圍，相比較于目前所述的兩點或三點確定圓心的方法操作更簡單，且測試范圍也能準確定位。
文檔編號G01B21/20GK103063185SQ201210589640
公開日2013年4月24日 申請日期2012年12月31日 優先權日2012年12月31日
發明者羅楊, 劉國敬, 霍杰 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所