技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種非接觸硅基光電器件少數(shù)載流子壽命檢測(cè)儀及檢測(cè)方法，包括放置臺(tái)、光源、探測(cè)器、信號(hào)放大器、鎖相放大器、處理控制單元、函數(shù)發(fā)生器，函數(shù)發(fā)生器與電光源連接，當(dāng)硅基光電器件放置于放置臺(tái)上時(shí)，硅基光電器件位于光源與探測(cè)器之間。光源激發(fā)硅基光電器件發(fā)熒光，通過探測(cè)器多點(diǎn)探測(cè)接收硅基光電器件另一側(cè)的熒光并轉(zhuǎn)為電信號(hào)，通過信號(hào)放大器、鎖相放大器得到熒光的幅值及熒光與光源的相位差，處理控制單元計(jì)算輸出少數(shù)載流子壽命分布圖。在更換不同規(guī)格的硅基光電器件時(shí)不需要進(jìn)行校準(zhǔn)，將硅基光電器件置于光源與探測(cè)器之間，減少光源對(duì)檢測(cè)的影響，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性，通過多點(diǎn)式的探測(cè)，方便得到少數(shù)載流子壽命的分布圖。

技術(shù)研發(fā)人員：黃帆;許明;初寧;鄒誠;韓捷飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：超視界激光科技（蘇州）有限公司
文檔號(hào)碼：201610537029
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.08
技術(shù)公布日：2016.12.07