技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供掃描型探針顯微鏡及其探針接觸檢測方法，其在探針接觸的試樣表面是斜面的情況下能改善檢測出探針與試樣表面的接觸的壓接力的值相比于水平面產(chǎn)生變化的現(xiàn)象。該掃描型探針顯微鏡使探針與試樣表面接觸，利用上述探針掃描上述試樣表面，具備：懸臂，其在前端具有上述探針；位移檢測部，其檢測上述懸臂的撓曲量和扭曲量；以及接觸判定部，其根據(jù)由上述位移檢測部檢測到的無變形的懸臂中的全方位的撓曲量和扭曲量，判定上述探針對(duì)于上述試樣表面的一次接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：繁野雅次;渡邊和俊;渡邊將史;山本浩令;茅根一夫
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本株式會(huì)社日立高新技術(shù)科學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.23
技術(shù)公布日：2017.10.10