技術特征：

技術總結
本發明公開了一種固態原子自旋傳感結構表面應力噪聲超高精度測試系統，包括探頭，所述探頭包括金剛石襯底，所述金剛石襯底上表面中部加工有金剛石NV色心波導，所述金剛石襯底上表面生長一層覆蓋NV色心波導的金剛石折射率匹配層作為反射膜，所述金剛石襯底上表面加工微帶天線陣列，所述微帶天線陣列延伸有微帶天線端口，所述微帶天線端口連接微波源，所述微帶天線陣列上表面鍍有壓磁薄膜。本發明采用內嵌NV色心的波導的金剛石襯底作為敏感單元，利用激光實現電子能級躍遷，通過掃描微波，壓力探頭內的壓磁薄膜感受外界壓力會產生與壓力大小相關的磁場，通過熒光強度譜線兩個峰值對應的微波頻率的差值來對壓力進行標定，實現壓力的超高精度測量。

技術研發人員：唐軍;郭浩;劉俊;趙銳;劉文耀;趙彬彬;馬宗敏;朱強;高研杰
受保護的技術使用者：中北大學
技術研發日：2017.05.23
技術公布日：2017.09.08