本實用新型涉及干涉儀技術領域，尤其涉及一種器件視覺鏡頭干涉儀。

背景技術：

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領域應用廣泛。激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化，在測試器件視覺鏡頭時需要將器件視覺鏡頭安裝在第二個反射鏡的前側，但是器件視覺鏡頭的大小各不相同，傳統的激光干涉儀難以滿足需要，因此需要一種檢測器件視覺鏡頭的激光干涉儀。

技術實現要素：

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種器件視覺鏡頭干涉儀，包括基板，所述基板的上方垂直焊接有反光鏡安裝板，所述反光鏡安裝板的一側開設有矩形容納槽，所述容納槽的內部安裝有反光鏡，所述反光鏡遠離反光鏡安裝板的一側安裝有與基板固定連接的鏡片安裝板，所述鏡片安裝板靠近反光鏡的一側開設有貫穿鏡片安裝板的圓柱形透光孔，所述鏡片安裝板遠離基板的一側開設有與透光孔連通的矩形滑槽，所述滑槽的內部滑動連接有夾持機構，所述基板遠離反光鏡安裝板的一側垂直焊接有活動桿，所述活動桿的另一端活動套接有固定套筒，所述活動桿伸入固定套筒的一端安裝有調節機構，所述夾持機構包括與滑槽滑動連接的放置板，所述放置板上開設有矩形安裝槽，所述安裝槽上開設有貫穿放置板的圓柱形通孔，所述通孔沿其軸線陣列安裝有圓弧形夾板，所述夾板的外凸面垂直焊接伸縮桿，所述伸縮桿的兩側對稱安裝有彈簧。

優選的，所述伸縮桿包括與夾板固定連接的固定桿，所述固定桿的另一端活動套接有與安裝槽側壁固定連接的套筒。

優選的，所述夾板的內凹面位于夾板靠近通孔圓形的一側。

優選的，所述夾板的內凹面沿其長度方向開設有圓弧形對接槽。

優選的，所述活動桿沿其長度方向安裝有刻度尺。

優選的，所述調節機構包括直齒條、齒輪和轉軸，所述直齒條位于活動桿伸入固定套筒的一端，且直齒條沿活動桿長度方向設置，直齒條的一側嚙合有齒輪，齒輪的內部固定套接有轉軸，轉軸伸出固定套筒的一端固定套接有轉盤。

本實用新型的有益效果：

通過在基板上設置的活動桿、固定套筒和調節機構，實現了檢測鏡片高度的調節；通過設置的放置板、安裝槽、通孔、夾板、伸縮桿和彈簧，將檢測鏡片放置在夾板的圓弧形對接槽內部，實現了不同尺寸的鏡片的檢測，提高了干涉儀的適用性和通用性，減少了干涉儀成本的投入，節省成本。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種器件視覺鏡頭干涉儀夾持機構的結構示意圖。

圖中：1基板、2反光鏡安裝板、3容納槽、4反光鏡、5鏡片安裝板、6透光孔、7滑槽、8夾持機構、9活動桿、10固定套筒、11調節機構、12放置板、13安裝槽、14通孔、15夾板、16伸縮桿、17彈簧。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

參照圖1-2，一種器件視覺鏡頭干涉儀，包括基板1，基板1的上方垂直焊接有反光鏡安裝板2，反光鏡安裝板2的一側開設有矩形容納槽3，容納槽3的內部安裝有反光鏡4，反光鏡4遠離反光鏡安裝板2的一側安裝有與基板1固定連接的鏡片安裝板5，鏡片安裝板5靠近反光鏡4的一側開設有貫穿鏡片安裝板5的圓柱形透光孔6，鏡片安裝板5遠離基板1的一側開設有與透光孔6連通的矩形滑槽7，滑槽7的內部滑動連接有夾持機構8，基板1遠離反光鏡安裝板2的一側垂直焊接有活動桿9，活動桿9的另一端活動套接有固定套筒10，活動桿9伸入固定套筒10的一端安裝有調節機構11，夾持機構8包括與滑槽7滑動連接的放置板12，放置板12上開設有矩形安裝槽13，安裝槽13上開設有貫穿放置板12的圓柱形通孔14，通孔14沿其軸線陣列安裝有圓弧形夾板15，夾板15的外凸面垂直焊接伸縮桿16，伸縮桿16的兩側對稱安裝有彈簧17。

伸縮桿16包括與夾板15固定連接的固定桿，固定桿的另一端活動套接有與安裝槽13側壁固定連接的套筒，夾板15的內凹面位于夾板15靠近通孔14圓形的一側，夾板15的內凹面沿其長度方向開設有圓弧形對接槽，活動桿9沿其長度方向安裝有刻度尺，調節機構11包括直齒條、齒輪和轉軸，直齒條位于活動桿9伸入固定套筒10的一端，且直齒條沿活動桿9長度方向設置，直齒條的一側嚙合有齒輪，齒輪的內部固定套接有轉軸，轉軸伸出固定套筒10的一端固定套接有轉盤。

本實用新型中，安裝鏡片時，先將夾持機構8從滑槽7內拔出，然后將鏡片放置在夾板15內凹面的對接槽內，這時候在伸縮桿16和彈簧17的作用下，使不同尺寸的鏡片夾持在夾持機構8內部的安裝槽13內，該設計實現了檢測鏡片高度的調節，實現了不同尺寸的鏡片的檢測，提高了干涉儀的適用性和通用性，減少了干涉儀成本的投入，節省成本。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，根據本實用新型的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。