技術特征：

技術總結
本發明涉及量子傳感領域，具體是一種固態原子自旋傳感器無磁溫控系統，包括金剛石襯底，所述金剛石襯底上加工有金剛石NV色心波導（4），所述金剛石襯底上設有覆蓋金剛石NV色心波導（4）的多孔磁性PDMS薄膜（3），所述金剛石襯底下表面兩側加工有微帶天線陣列（2），所述微帶天線陣列（2）連接有微波源。本發明利用MPCVD磁、電約束方法制備了濃度大于1018cm?1的氮元素摻雜金剛石結構，利用微納加工工藝方法制備了金剛石色心結構，實現了NV色心結構的激發和熒光收集，同時結合電子束加工方法實現了微波天線的共面制造，并通過時序操控方法進行磁場變化信號高信噪比檢測，實現溫度調制磁場作用，進行磁噪聲有效抑制，達到無磁溫控目的。

技術研發人員：劉俊;郭浩;唐軍;趙銳;劉文耀;高研杰;馬宗敏;朱強;趙彬彬
受保護的技術使用者：中北大學
技術研發日：2017.05.23
技術公布日：2017.10.17