專利名稱：一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，特別涉及一種在半導(dǎo)體封裝中將晶圓 直接向下推壓使晶圓與聚酯薄膜層脫離并固放在LED支架上的機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
[0002]目前，在半導(dǎo)體行業(yè)封裝中固晶機(jī)的方法原理是通過馬達(dá)帶動(dòng)凸輪推頂裝置將 晶圓向上頂出使晶圓與聚酯薄膜層脫離，并通過擺臂裝置上的真空拾取晶圓，然后擺動(dòng) 到LED支架上方再向下固放。其存在不良缺點(diǎn)有二 其一，效率低，增加不必要擺臂拾 取工序，浪費(fèi)工時(shí)。其二，機(jī)構(gòu)復(fù)雜，造價(jià)成本重。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種在半導(dǎo)體封裝中將晶圓直接 向下推壓使其與聚酯薄膜層脫離并固放在LED支架上的機(jī)構(gòu)。此新型的固放機(jī)構(gòu)簡單、 實(shí)用，大大提高目前固晶機(jī)的效率和降低了設(shè)備造價(jià)成本。[0004]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，包 括一機(jī)架，豎立于機(jī)架上的支架，于支架上部安裝有晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)，機(jī)架上設(shè) 有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)下方的晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)，晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶 圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)與外部的計(jì)算機(jī)連接；晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)有氣缸控制其縱向和 橫向移動(dòng)，晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)有晶圓盤，晶圓盤上鋪有聚酯薄膜層，聚酯薄膜層 上放置有晶圓，其中所述的支架上固定有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY軸移動(dòng) 平臺(tái)之間的壓針裝置，壓針裝置的輸出端安裝有晶圓壓針，晶圓壓針對應(yīng)晶圓盤上的晶 圓；所述的機(jī)架上設(shè)有位于晶圓盤下方并對應(yīng)各晶圓的LED支架。利用晶圓視覺系統(tǒng) 鏡頭機(jī)構(gòu)配合晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)將每片晶圓定位在對應(yīng)LED支架固放點(diǎn)的垂直正上 方，然后通過壓針裝置對準(zhǔn)晶圓令壓針直接向下推壓晶圓，從而使晶圓與聚酯薄膜層脫 離并固放在LED支架上。晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)通過鏡頭和圖像攝像機(jī)等裝置捕捉晶圓 盤上每片晶圓具體圖像和所在位置。晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)是執(zhí)行從晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭 所捕捉晶圓的具體位置傳送數(shù)據(jù)，將晶圓移置到晶圓壓針針尖的垂直正下方。[0005]作為對前述技術(shù)方案的進(jìn)一部設(shè)計(jì)前述的壓針裝置包括固定于支架上的壓針 安裝捧，壓針安裝捧上設(shè)有一電機(jī)和電機(jī)輸出端設(shè)有一凸輪，凸輪與晶圓壓針連接并可 推壓晶圓壓針向下運(yùn)動(dòng)。通過電機(jī)帶動(dòng)凸輪推壓晶圓壓針向下運(yùn)動(dòng)，令晶圓壓針把晶圓 從聚酯膜層中分離出來，固定于LED支架上。[0006]作為對前述技術(shù)方案的更進(jìn)一步設(shè)計(jì)前述的機(jī)架上設(shè)有支承LED支架的支架 過料導(dǎo)軌，LED支架由多個(gè)夾具組成，各夾具可單獨(dú)固定一晶圓。LED支架固定于支架 過料導(dǎo)軌上，同時(shí)支架過料導(dǎo)軌也可在機(jī)架上滑動(dòng)，產(chǎn)生位移。當(dāng)LED支架固定好晶圓 后，便會(huì)進(jìn)入下一工序。[0007]綜上所述，本實(shí)用新型的晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)以最直接、最簡單實(shí)用的結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體行業(yè)封裝中將晶圓直接向下推壓固放，從而簡易地實(shí)現(xiàn)晶圓和聚酯膜層分離的效 果，省去目前傳統(tǒng)固晶機(jī)的繁復(fù)工序。使該行業(yè)固晶圓的工作效率大大提高和改良。[0008]
[0009]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的簡易原理圖。[0010]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的外觀結(jié)構(gòu)圖。[0011]具體實(shí)施方式
[0012]本實(shí)施例的一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，如圖1、圖2所示，包括一方形機(jī)架1，豎 立于機(jī)架上的支架2，于支架上部安裝有晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)3，機(jī)架上設(shè)有位于晶圓 視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)下方的晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)4，晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY 軸移動(dòng)平臺(tái)與外部的計(jì)算機(jī)連接；晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)有氣缸控制其縱向和橫向移 動(dòng)，晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)有晶圓盤5，晶圓盤上鋪有聚酯薄膜層12，聚酯薄膜層上 放置有晶圓11，支架上固定有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)之間 的壓針裝置，壓針裝置的輸出端安裝有晶圓壓針8，晶圓壓針對應(yīng)晶圓盤上的晶圓；壓 針裝置包括固定于支架上的壓針安裝捧7，壓針安裝捧上設(shè)有一電機(jī)6和電機(jī)輸出端設(shè)有 一凸輪13，凸輪與晶圓壓針連接并可推壓晶圓壓針向下運(yùn)動(dòng)。機(jī)架上設(shè)有位于晶圓盤下 方并對應(yīng)各晶圓的LED支架9，機(jī)架上還設(shè)有支承LED支架的支架過料導(dǎo)軌10。LED 支架固定于支架過料導(dǎo)軌上，同時(shí)支架過料導(dǎo)軌也可在機(jī)架上滑動(dòng)，產(chǎn)生位移。利用晶 圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)配合晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)將每片晶圓定位在對應(yīng)LED支架固放點(diǎn) 的垂直正上方，然后通過壓針裝置對準(zhǔn)晶圓令壓針直接向下推壓晶圓，從而使晶圓與聚 酯薄膜層脫離并固放在對應(yīng)的LED支架上。[0013]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)作任 何形式上的限制。凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、 等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，包括一機(jī)架(1)，豎立于機(jī)架(1)上的支架0)，于支架(2)上部安裝有晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)(3)，機(jī)架(1)上設(shè)有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)(3)下方的晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)G)，晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái) 與外部的計(jì)算機(jī)連接；晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)(4)設(shè)有氣缸控制其縱向和橫向移動(dòng)，晶圓 盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)(4)上設(shè)有晶圓盤(5)，晶圓盤上鋪有聚酯薄膜層(1 ，聚酯薄膜層上 放置有晶圓(11)，其特征在于所述的支架上固定有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓 盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)之間的壓針裝置，壓針裝置的輸出端安裝有晶圓壓針(8)，晶圓壓針對 應(yīng)晶圓盤上的晶圓；所述的機(jī)架上設(shè)有位于晶圓盤下方并對應(yīng)各晶圓的LED支架(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的壓針裝置包括固 定于支架上的壓針安裝捧(7)，壓針安裝捧上設(shè)有一電機(jī)(6)和電機(jī)輸出端設(shè)有一凸輪 (13)，凸輪與晶圓壓針連接并可推壓晶圓壓針向下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的機(jī)架上設(shè)有支承 LED支架的支架過料導(dǎo)軌(10)，LED支架由多個(gè)夾具(14)組成，各夾具可單獨(dú)固定一晶 圓。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓推壓固放機(jī)構(gòu)，包括一機(jī)架，豎立于機(jī)架上的支架，于支架上部安裝有晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)，機(jī)架上設(shè)有晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)，晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)與外部的計(jì)算機(jī)連接；晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)設(shè)有氣缸控制其縱向和橫向移動(dòng)，晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)有晶圓盤，晶圓盤上鋪有聚酯薄膜層，聚酯薄膜層上放置有晶圓，支架上固定有位于晶圓視覺系統(tǒng)鏡頭機(jī)構(gòu)和晶圓盤XY軸移動(dòng)平臺(tái)之間的壓針裝置，壓針裝置的輸出端安裝有晶圓壓針，晶圓壓針對應(yīng)晶圓盤上的晶圓；機(jī)架上設(shè)有位于晶圓盤下方并對應(yīng)各晶圓的LED支架。與現(xiàn)有的晶圓固放機(jī)構(gòu)相比，具有機(jī)構(gòu)簡單、工作效率高、裝配方便、造價(jià)成本低等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01L33/00GK201812847SQ20102025705
公開日2011年4月27日 申請日期2010年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月13日
發(fā)明者朱亦武 申請人:江門市新僑光電科技有限公司