專利名稱：用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板的制作方法
技術領域：
本實用新型是關于一種輸送載板，尤指一種用于承載玻璃…等基材，使基材可透過自動化輸送裝置輸送進行蝕刻、清洗…等濕式制程，并能適用于不同基材尺寸的基材輸送載板。
背景技術：
目前應用于電子裝置的顯示幕或電子元件的結構中，大多包含有如玻璃…等基材，以觸控面板為例，所述觸控面板的玻璃基材于加工制程中，通常必須經過蝕刻設備進行圖案化的蝕刻步驟，與清洗設備進行表面清洗步驟…等濕式制程。于玻璃基材進行蝕刻及清洗等濕式制程前，玻璃基材均已切割成預定尺寸的單元面積，因玻璃基材于切割后，其側邊均會產生銳利的毛邊，故當具有毛邊的玻璃基材經過蝕刻設備或清洗設備的輸送輪輸送時，玻璃基材的毛邊因與輸送輪上的擋邊接觸摩擦，易自毛邊產生嚴重的破裂情形。前述觸控面板的玻璃基材因是厚度約為0.5 0.8mm的薄板，其厚度薄且易碎，在進行蝕刻或清洗等濕式制程中，既有的蝕刻設備或清洗設備等對該些玻璃基材并未提供良好的防護機制，于玻璃基材的輸送過程，玻璃基材切割產生毛邊常與輸送輪擋邊接觸摩擦造成毛邊受損，并易于傷及玻璃基材的輸出入電極的完整性，致使玻璃基材成品良率偏低。為解決上述問題，本實用新型的申請人先后曾提出如中國臺灣專利證書第 M372534號的「用于濕式制程的基板用輸送載板」以及中國臺灣專利證書第M372347號的 「用于濕式制程的基板輸送裝置」，其中所述的輸送載板是于其板體中形成數個基板定位孔，于各基板定位孔周邊孔壁下段形成數個止擋凸部，用以提供基板置入基板定位孔中，藉由該數個止擋凸部于基板下方支撐定位，藉此，利用該輸送載板作為基板進行蝕刻、清洗等濕式制程輸送時的載具，使基板藉由該輸送載板于輸送輪組上移動，而避免基板與輸送輪直接接觸磨擦而受損的情事。前述輸送載板或輸送裝置于實施時，確可達成前述的功效，惟本實用新型的申請人進一步發現前述輸送載板中的基材定位孔為固定式的孔徑設計，僅能適用于提供單一種尺寸規格的基材承載功能，故而，不同尺寸規格的基材皆須使用專用的輸送載板來承載，才能進行濕式制程，以致使用者必須針對每一種尺寸規格的基材制造專用的輸送載板，有耗費成本高以及儲放管理不便等缺點。
發明內容本實用新型要解決的技術問題是解決現有輸送載板僅適用于單一種型式的基材，無法通用于多種不同尺寸規格的基材的缺點。本實用新型的技術解決方案是提供一種用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，其包含一載板本體，是形成至少一鏤空狀的基材定位空間，于基材定位空間周邊分布形成一固定邊以及三側邊，載板本體于所述側邊各形成一下凹的容置槽，于容置槽底部形成槽底承載部，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣下段形成數個第一承載凸部；三調整板體組，每一調整板體組各包含有數個調整板體，并自每一調整板體組選自一調整板體可拆組的組裝定位于載板本體相應的容置槽中，調整板體為容置槽底部的槽底承載部所承載，所述調整板體鄰接基材定位空間的邊緣下段形成數個第二承載凸部，所述第二承載凸部頂緣與第一承載凸部頂緣等高。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，所述三調整板體組的每一調整板體上各設有上定位孔，且所述調整板體組中的每一調整板體的上定位孔的孔中心至調整板體鄰接基材定位空間邊緣的距離皆不相等；所述容置槽底部的槽底承載部各設有數個下固定孔，該數個下固定孔的孔中心至基材定位空間邊緣的長度皆相等，該數個下固定孔呈一直線排列，且該數個下固定孔是分別相應于調整板體組中每一調整板體的上定位孔位置，藉此，所述調整板體組設定位于載板本體相應的容置槽中，藉由固定元件穿設于相應的上定位孔與下固定孔中，使調整板體固定于載板本體上。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，所述三調整板體組的每一調整板體上各設有上定位孔，且所述調整板體組中的每一調整板體的上定位孔的孔中心至調整板體鄰接基材定位空間邊緣的距離皆不相等；所述容置槽底部的槽底承載部各設有一長形下固定孔，所述長形下固定孔是相應于調整板體組中每一調整板體的上定位孔位置，藉此，所述調整板體組設定位于載板本體相應的容置槽中，藉由固定元件穿設于相應的上定位孔與下固定孔中，使調整板體固定于載板本體上。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，所述輸送載板進一步包含三固定板體，所述固定板體的長度足以跨越載板本體的容置槽，并壓抵于載板本體及調整板體頂面。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，所述輸送載板進一步包含三固定板體，所述固定板體的長度足以跨越載板本體的容置槽，并壓抵于載板本體及調整板體頂面，所述固定板體上設有至少一固定孔，穿設于相應的上定位孔與下固定孔中的固定元件且穿設設于固定孔中。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣上段形成數個限位凸部，限位凸部與第一承載凸部上下相應，且限位凸部底緣與第一承載凸部頂緣間具有一間距，所述間距用以提供基材一側邊置入其中。所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板中，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣上段形成數個限位凸部，限位凸部與第一承載凸部上下相應，且限位凸部底緣與第一承載凸部頂緣間具有一間距，所述間距用以提供基材一側邊置入其中。本實用新型的優點是藉由前述輸送載板的組合構造設計，其特點是依據待處理基材的尺寸規格分別自各調整板體組中選取一相應的調整板體，將所選的調整板體分別組裝于載板本體周邊的相應的容置槽，使該輸送載板可因應不同尺寸規格的基材而調整相應的基材定位空間的孔徑，擴大輸送載板的適用多種基材尺寸范圍，進而改善現有專用型輸送載板設計，必須針對每一種尺寸規格的基材制造專用的輸送載板的成本高以及儲放管理不使等缺點。此外，本實用新型尚可進一步令輸送載板固定邊相對于承載凸部上方設置限位凸部，用以提供基材一側置入承載凸部與限位凸部之間，并利用限位凸部于基材一側頂面予以限位，進而在輸送載板承載基材進行蝕刻、清洗...等濕式制程輸送時，如清洗后的吹風干燥或噴灑沖洗等步驟中，防止基材于輸送載板中移位。

圖1是本實用新型用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板的一較佳實施例的立體分解示意圖。圖2是本實用新型用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板的另一較佳實施例的立體分解示意圖。圖3是圖1、圖2所示輸送載板較佳實施例的立體示意圖。圖4是圖1、圖2所示輸送載板較佳實施例的組合后俯視平面示意圖。圖5是圖1、圖2所示輸送載板較佳實施例于調整基材定位孔徑的俯視平面示意圖。圖6是是圖1、圖2所示輸送載板較佳實施例增設固定板體的俯視平面示意圖。圖7是本實用新型輸送載板較佳實施例承載基材后，藉由輸送裝置輸送的實施狀態參考圖。附圖標號說明[0026]1輸送載板2基材[0027]3輸送輪[0028]10載板本體11基材定位空間[0029]111固定邊112側邊[0030]12第一承載凸部13限位凸部[0031]14間距15容置槽[0032]16槽底承載部17、17a下固定孔[0033]20調整板體組21調整板體[0034]22第二承載凸部23上定位孔[0035]30固定板體32固定孔
具體實施方式
以下配合圖式及本實用新型的較佳實施例，進一步闡述本實用新型為達成預定實用新型目的所采取的技術手段。如圖1或圖2所示，是揭示本實用新型用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板的一較佳實施例，由圖中可以見及所述的輸送載板1是包含一載板本體10以及數組調整板體組20，其中所述的載板本體10中形成至少一鏤空狀的基材定位空間11，所述基材定位空間 11是依據各式同類型待承載基材而設定，以矩形基材為例，所述基材定位空間11可設計矩形，并依據同類型基材的多種不同尺寸規格而設計所述基材定位空間11的孔徑，所述的載板本體10于每一基材定位空間11周邊分布形成一固定邊111以及數個側邊112，于圖1或圖2所示的較佳實例中，是揭示基材定位空間11周邊具有形成一個固定邊111以及三個側邊112，其中所述的三個側邊112中的二個側邊112位于固定邊111兩鄰側且相對應作為鄰邊，余一側邊112則位于固定邊111的對側作為對邊，載板本體10于所述側邊各形成一下凹的容置槽15，所述容置槽15底部各形成一槽底承載部16。如圖1及圖2所示，載板本體10于固定邊111鄰接基材定位空間11的邊緣下段形成數個第一承載凸部12，或進一步于固定邊111鄰接基材定位空間11的邊緣上段形成數個限位凸部13，限位凸部13與第一承載凸部12上下相應，且限位凸部13底緣與第一承載凸部12頂緣間具有一間距14，用以提供基材一側邊置入其中。所述的每一調整板體組20各包含有數個調整板體21，用以自每一調整板體組20 中選取一調整板體21，并將所選的調整板體21可拆組的組裝定位于載板本體10相應的容置槽15中，調整板體21為容置槽15底部的槽底承載部16所承載，所述調整板體21于鄰接基材定位空間11的邊緣下段分別形成數個第二承載凸部22，所述第二承載凸部22的頂緣皆與第一承載凸部12頂緣等高。所述三調整板體組20的每一調整板體21上規劃于至少一定位區，所述定位區中設有一上定位孔23，如圖1及圖3所示，所述調整板體組20中的每一調整板體21的上定位孔23的孔中心至調整板體21鄰接基材定位空間11邊緣的距離(dl，d2. . .，dn)皆不相等；所述容置槽15底部的槽底承載部16上規劃有至少一固定區，所述固定區各設有數個下固定孔17，所述數個下固定孔17的孔中心至基材定位空間11邊緣的長度皆相等，且該數個下固定孔17呈一直線排列，或者，如圖2所示，槽底承載部16亦可于固定區上設置一長形下固定孔17a，取代前述數個下固定孔17，藉此，所述調整板體21分別組設定位于載板本體 10的相應的容置槽15后，藉由數個如螺絲…等固定元件分別穿設于相應的上定位孔23與下固定孔17、17a中，使調整板體21固定于載板本體10上，如圖4、5所示，并可藉由所述調整板體21調整變更載板本體10的基材定位空間11的尺寸大小。如圖6所示，本實用新型輸送載板1尚可進一步包含三固定板體30，所述固定板體 30的長度足以跨越載板本體10的容置槽15，并壓抵于載板本體10及調整板體21頂面，所述固定板體30上規劃有至少一固定區，所述固定區中設有數個固定孔32，所述數個固定孔 32是相應于槽底承載部16的下固定孔17、17a，藉此，提供數個如螺絲...等螺接元件分別穿設于相應的上定位孔23、下固定孔17、17a與固定孔32中，將固定板體30、調整板體21 以及載板本體10的槽底承載部16三者固結一起。本實用新型輸送載板應用于基材的蝕刻或清洗…等濕式制程中使用時，如圖4或圖5所示，是令切割單元尺寸的基材2放置于該輸送載板1的基材定位空間11中定位，于基材2放置于輸送載板1前，是依據基材的形狀尺寸，分別于各調整板體組20中選自適當的調整板體21，再將所選的調整板體21分別安裝于載板本體10中相應的容置槽15中，使輸送載板1的基材定位空間11與基材2外形尺寸相符。如圖7所示，接續，是令基材2 — 側邊先傾斜置入于輸送載板1固定邊111的限位凸部13與第一承載凸部12之間距14中， 再平置于基材定位空間11中，使基材2為基材定位空間11周邊的第一、第二承載凸部12、 22共同承載而定位。其次，是將置放有基材2的輸送載板1移置蝕刻或清洗…等濕式制程設備中，由所述蝕刻或清洗…等濕式制程設備中的輸送輪輸送至設備內，進行基材2表面的蝕刻或清洗…等濕式制程步驟。在前述蝕刻或清洗…等濕式制程步驟時，基材2因是藉由輸送載板1于輸送裝置的輸送輪3上被輸送，故可有效避免基材2與輸送輪3直接接觸磨擦而損壞，并在濕式制程設備對基材2噴灑蝕刻液或清洗液…等的過程中，如由下向上噴灑蝕刻液或清洗液于基材 2底面，或是進行清洗后的吹風干燥處理步驟時，因基材輸送載板1固定邊111尚設有限位凸部13于基材2頂面一側予以限位，可減少基材2于基材輸送載板1中浮動的現象。 以上所述僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型做任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業的技術人員，在不脫離本實用新型技術方案的范圍內，當可利用上述揭示的技術內容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術方案的內容，依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求1.一種用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，其包含一載板本體，是形成至少一鏤空狀的基材定位空間，于基材定位空間周邊分布形成一固定邊以及三側邊，載板本體于所述側邊各形成一下凹的容置槽，于容置槽底部形成槽底承載部，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣下段形成數個第一承載凸部；三調整板體組，每一調整板體組各包含有數個調整板體，并自每一調整板體組選自一調整板體可拆組的組裝定位于載板本體相應的容置槽中，調整板體為容置槽底部的槽底承載部所承載，所述調整板體鄰接基材定位空間的邊緣下段形成數個第二承載凸部，所述第二承載凸部頂緣與第一承載凸部頂緣等高。
2.根據權利要求1所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，所述三調整板體組的每一調整板體上各設有上定位孔，且所述調整板體組中的每一調整板體的上定位孔的孔中心至調整板體鄰接基材定位空間邊緣的距離皆不相等；所述容置槽底部的槽底承載部各設有數個下固定孔，該數個下固定孔的孔中心至基材定位空間邊緣的長度皆相等，該數個下固定孔呈一直線排列，且該數個下固定孔是分別相應于調整板體組中每一調整板體的上定位孔位置，藉此，所述調整板體組設定位于載板本體相應的容置槽中，藉由固定元件穿設于相應的上定位孔與下固定孔中，使調整板體固定于載板本體上。
3.根據權利要求1所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，所述三調整板體組的每一調整板體上各設有上定位孔，且所述調整板體組中的每一調整板體的上定位孔的孔中心至調整板體鄰接基材定位空間邊緣的距離皆不相等；所述容置槽底部的槽底承載部各設有一長形下固定孔，所述長形下固定孔是相應于調整板體組中每一調整板體的上定位孔位置，藉此，所述調整板體組設定位于載板本體相應的容置槽中，藉由固定元件穿設于相應的上定位孔與下固定孔中，使調整板體固定于載板本體上。
4.根據權利要求1所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，所述輸送載板進一步包含三固定板體，所述固定板體的長度足以跨越載板本體的容置槽，并壓抵于載板本體及調整板體頂面。
5.根據權利要求2或3所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，所述輸送載板進一步包含三固定板體，所述固定板體的長度足以跨越載板本體的容置槽，并壓抵于載板本體及調整板體頂面，所述固定板體上設有至少一固定孔，穿設于相應的上定位孔與下固定孔中的固定元件且穿設設于固定孔中。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣上段形成數個限位凸部，限位凸部與第一承載凸部上下相應，且限位凸部底緣與第一承載凸部頂緣間具有一間距，所述間距用以提供基材一側邊置入其中。
7.根據權利要求5所述的用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其特征在于，載板本體的固定邊鄰接基材定位空間的邊緣上段形成數個限位凸部，限位凸部與第一承載凸部上下相應，且限位凸部底緣與第一承載凸部頂緣間具有一間距，所述間距用以提供基材一側邊置入其中。
專利摘要本實用新型是關于一種用于濕式制程的可調整基材定位孔徑式輸送載板，其包含一載板本體以及數個調整板體組，于載板本體的基材定位空間的固定邊設有第一承載凸部，依據待處理基材的尺寸規格分別自各調整板體組中選取一相應的調整板體安裝于基材定位空間周邊的容置槽，所述調整板體鄰近基材定位空間的邊緣分別設有第二承載凸部，并以第一、第二承載凸部用以共同承載基材，藉此，使該輸送載板可因應不同尺寸規格的基材而調整相應的基材定位空間的孔徑，擴大輸送載板的適用范圍。
文檔編號H01L21/00GK201936863SQ20102068357
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月28日 優先權日2010年12月28日
發明者楊延鴻, 鐘添達 申請人:揚博科技股份有限公司