專利名稱：一種擴散用石英擋板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種太陽能電池制作工段夾具技術領域，具體涉及一種擴散用石英擋板，用于太陽能電池制作過程中的擴散工序。
背景技術：
晶體硅太陽能電池制作工藝包括制絨、擴散、刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極等步驟，擴散步驟一般采用石英舟作為承載工具。在目前太陽能電池擴散過程中，為了提高擴散均勻性、降低不良率，一般會在石英舟兩端放置3-5片硅片作為阻擋片，擋片一般12個小時更換一次，這樣一天一個爐管用6-10片；而且擋片重復利用，會作為局部磷源使與之靠近的正常片受到污染，這樣不但降低了其轉化效率，同時還使合格率下降。
發明內容本實用新型的目的就是針對上述存在的缺陷而提供一種擴散用石英擋板，用于太陽能電池制作過程中的擴散工序。該擴散擋板能夠提高擴散后硅片方阻均勻性，提高產品質量及合格率，而且操作簡單，易于清洗可重復長期使用。本實用新型的一種擴散用石英擋板技術方案為包括兩頁石英板、連接件和卡勾，兩頁石英板四角分別由連接件連接，卡勾位于其中一頁石英板的外側面。石英板邊長為125 ± Imm或156 ± 1mm。連接件長度為10-20_。石英板的下端設置有一對支腳。本實用新型的有益效果為本實用新型的擴散擋板包括兩頁石英板、連接件和卡勾，兩頁石英板四角分別由連接件連接，卡勾位于其中一頁石英板的外側面?？ü磁c支腳可將該擴散擋板固定在石英舟上，該擴散擋板可重復利用，不會會作為局部磷源使與之靠近的正常片受到污染，能夠提高擴散后硅片方阻均勻性，提高產品質量及合格率，而且操作簡單，易于清洗可重復長期使用。


圖I所示為本實用新型的擴散擋板結構示意圖；圖2所示為本實用新型的擴散擋板應用于石英舟上。圖中，I.石英板，2.連接件，3.卡勾，4.支腳。
具體實施方式
為了更好地理解本實用新型，下面結合具體實例來詳細說明本實用新型的技術方案，但是本實用新型并不局限于此。本實用新型的一種擴散用石英擋板技術方案為包括兩頁石英板I、連接件2和卡勾3，兩頁石英板I四角分別由連接件2連接，卡勾3位于其中一頁石英板I的外側面。石英板邊長為125 ± Imm或156 ± 1mm。[0018]連接件長度為10-20_。石英板I的下端設置有一對支腳4。該擴散擋板能夠提高擴散后硅片方阻均勻性，提高產品質量及合格率，而且操作簡單，易于清洗可重復長期使用。
權利要求1.一種擴散用石英擋板，其特征在于，包括兩頁石英板、連接件和卡勾，兩頁石英板四 角分別由連接件連接，卡勾位于其中一頁石英板的外側面。
2.根據權利要求1所述的一種擴散用石英擋板，其特征在于，石英板邊長為125±lmm 或 156 + 1mnin
3.根據權利要求1所述的一種擴散用石英擋板，其特征在于，連接件長度為10-20_。
4.根據權利要求1所述的一種擴散用石英擋板，其特征在于，石英板的下端設置有一 對支腳。
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能電池制作工段夾具，具體涉及一種擴散用石英擋板，包括兩頁石英板、連接件和卡勾，兩頁石英板四角分別由連接件連接，卡勾位于其中一頁石英板的外側面。該擴散擋板能夠提高擴散后硅片方阻均勻性，提高產品質量及合格率，而且操作簡單，易于清洗可重復長期使用。
文檔編號H01L31/18GK202772165SQ20122029122
公開日2013年3月6日 申請日期2012年6月20日 優先權日2012年6月20日
發明者任現坤, 張春艷, 姜言森, 張黎明, 劉鵬, 李剛, 徐振華, 程亮, 賈河順, 李寶理, 王光利, 杜敏, 孫繼峰, 馬繼磊 申請人:山東力諾太陽能電力股份有限公司