本發明主要涉及電離設備技術領域，特指一種離子源。

背景技術：

離子源連續工作時間受到陰極燈絲和陽極筒清潔度影響，陰極燈絲易燒斷，需頻繁更換。陽極筒內表面易積累金屬離子和非金屬離子影響其清潔度和導電性，需定期清洗。傳統離子源通過連桿將加速法蘭和抑制法蘭與放電室安裝在一起，由于燈絲壽命比較短，需經常拆卸離子源進行更換，更換時從離子源的上方拆除柵網組件，再拆除固定在放電室側壁的陽極筒進行清洗，在裝配時，手工單獨裝配加速法蘭和抑制法蘭時，容易造成加速柵網和抑制柵網不能完全對正，即使使用定位銷也難以一次裝配成功，因此拆裝繁瑣。而離子源陽極筒由于安裝固定在放電室側壁，連接桿需穿過冷卻腔體并與其絕緣，既增加了冷卻腔體結構件加工難度，又使陽極筒安裝與拆卸麻煩。

技術實現要素：

本發明要解決的技術問題就在于：針對現有技術存在的技術問題，本發明提供一種結構簡單、拆裝方便、檢修效率高的離子源。

為解決上述技術問題，本發明提出的技術方案為：

一種離子源，包括支架組件、柵網組件和放電組件，所述支架組件的內部設置有一空腔，所述柵網組件安裝于所述支架組件的一端，所述支架組件的另一端開口，所述放電組件滑動安裝于所述支架組件的內部空腔內并與支架組件的開口端緊固相連。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述支架組件的內部空腔的內壁上設置有多根滑條，所述放電組件安裝于一安裝板上，所述安裝板的周側設置有多個卡槽，所述卡槽滑設于所述滑條上。

所述放電組件包括陽極筒、燈桿座、法蘭、多根燈絲桿和多根陽極桿，所述法蘭與支架組件的開口端緊固相連，所述法蘭上安裝有燈絲電極和陽極筒電極；所述陽極筒安裝于所述安裝板上，所述燈桿座絕緣安裝于所述陽極筒與安裝板之間，所述陽極桿的一端伸入至所述陽極筒內并與陽極筒緊固相連，另一端經所述燈桿座與安裝板緊固相連，并與所述法蘭上的陽極筒電極相連；所述燈絲桿的一端伸入至所述陽極筒內，另一端經所述燈桿座后與所述安裝板緊固相連，并與法蘭上的燈絲電極相連，各燈絲桿于陽極筒內的一端均連接有燈絲；所述進氣組件安裝于所述陽極筒與法蘭之間。

所述進氣組件包括氣體分配器和導氣管，所述安裝板上設置有螺柱，所述法蘭上設置有螺套，所述氣體分配器安裝于所述燈桿座上且位于陽極筒與燈桿座之間，所述導氣管的一端與所述螺柱螺紋連接并與氣體分配器連通，另一端則與螺套緊固相連并與法蘭的外部連通。

所述支架組件包括上法蘭、下法蘭、底板和支架，所述上法蘭與下法蘭之間設置有環圈，所述上法蘭、下法蘭與環圈之間構成放電室，所述底板與所述下法蘭緊固相連，所述支架呈環狀且其一端與所述底板之間緊固相連且相互絕緣，另一端開口。

所述支架的周側開設有一個以上的觀察窗。

所述柵網組件包括加速法蘭、加速柵網、抑制法蘭、抑制柵網和加速柵連桿，所述抑制法蘭安裝于所述上法蘭上且相互絕緣，所述加速法蘭安裝于所述抑制法蘭上且相互絕緣，所述抑制柵網安裝于所述抑制法蘭上，所述加速柵網安裝于所述加速法蘭上，所述加速柵連桿依次穿過所述加速法蘭和抑制法蘭后與所述上法蘭緊固相連，且所述加速柵連桿與所述上法蘭和抑制法蘭絕緣，與所述加速法蘭導通。

所述環圈包括內壁和外壁，所述內壁與所述外壁同軸設置，所述內壁與外壁之間形成冷卻腔。

所述環圈的外周側安裝有多根磁棒、用于形成磁場。

與現有技術相比，本發明的優點在于：

本發明的離子源，將放電組件滑動安裝于支架內部，方便拆裝，便于檢測。通過卡槽滑設于滑條上實現滑動，結構簡單、易于實現。

附圖說明

圖1為本發明的剖視結構示意圖。

圖2為本發明的分解結構示意圖。

圖3為本發明中陽極筒的結構示意圖。

圖4為本發明的拆卸流程圖。

圖中標號表示：1、陽極筒；1a、均通孔；1b、螺紋孔；1c、氣體流通孔；2、燈絲；3、燈絲桿；4、第一螺母；5、氣體分配器；6、第一絕緣陶瓷；7、燈桿座；8、陽極桿；9、支架；91、觀察窗；10、滑條；11、安裝板；111、卡槽；12、第一橡膠墊；13、導氣管；14、第二螺母；15、螺柱；16、底座；17、第一螺釘；18、第二螺釘；19、法蘭；20、第二橡膠墊；21、加速柵電極；22、陽極筒電極；23、燈絲電極；24、加速法蘭；25、加速柵網；26、抑制法蘭；27、抑制柵網；28、上法蘭；29、第二絕緣陶瓷；30、第三螺母；31、第三絕緣陶瓷；32、底板；33、下法蘭；34、螺桿；35、內壁；36、外壁；37、冷卻腔；38、磁棒；39、導線；40、加速柵導線；41、連桿；42、加速柵連桿。

具體實施方式

以下結合說明書附圖和具體實施例對本發明作進一步描述。

如圖1至圖4所示，本實施例的離子源，包括支架組件、柵網組件和放電組件，支架組件的內部設置有一空腔，柵網組件安裝于支架組件的一端，支架組件的另一端開口，放電組件滑動安裝于支架組件的內部空腔內并與支架組件的開口端緊固相連。本發明的離子源，將放電組件滑動安裝于支架組件內，拆裝方便，從而便于檢修。

本實施例中，支架組件的內部空腔的內壁上設置有多根滑條10，放電組件安裝于一安裝板11上，安裝板11的周側設置有多個卡槽111，卡槽111滑設于滑條10上，結構簡單、易于實現。

本實施例中，支架組件包括上法蘭28、下法蘭33、底板32和支架9，上法蘭28與下法蘭33之間設置有環圈，上法蘭28、下法蘭33與環圈之間構成放電室，下法蘭33安裝在底板32上，其中支架9呈環狀且其一端通過第三絕緣陶瓷31、螺桿34、第三螺母30與底板32緊固相連且相互絕緣，支架9的另一端則開口。

本實施例中，支架9的周側開設有一個以上的觀察窗91，用于對其內部的放電組件狀態進行監控，以及方便對內部的放電組件進行拆裝（如導線39連接）；滑條10則對稱安裝于支架9的內壁上，并與安裝板11上的卡槽111一一對應。

本實施例中，環圈包括內壁35和外壁36，內壁35與外壁36同軸設置，內壁35與外壁36之間形成冷卻腔37，在工作時，通過冷卻腔37內的循環水對放電室進行散熱。

本實施例中，環圈的外周側均勻安裝有多根磁棒38、用于形成磁場。

本實施例中，柵網組件包括加速法蘭24、加速柵網25、抑制法蘭26、抑制柵網27和加速柵連桿42，整個安裝于上法蘭28上，具體為抑制法蘭26安裝于上法蘭28上且相互絕緣，抑制柵網27安裝在抑制法蘭26上，加速法蘭24安裝于抑制法蘭26上且相互絕緣，抑制柵網27安裝于抑制法蘭26上；其中上法蘭28與抑制法蘭26、抑制法蘭26與加速法蘭24之間均設置有第二絕緣陶瓷29以相互絕緣，另外上法蘭28、抑制法蘭26和加速法蘭24則通過連桿41進行緊固；加速柵連桿42依次穿過加速法蘭24和抑制法蘭26后與上法蘭28緊固相連，且加速柵連桿42與上法蘭28和抑制法蘭26絕緣，與加速法蘭24導通。

本實施例中，放電組件包括陽極筒1、燈桿座7、法蘭19、多根燈絲桿3和多根陽極桿8，如圖3所示，其中陽極筒1的底部設置有氣體流通孔1c、多個均通孔1a和多個螺紋孔1b；法蘭19與支架9的開口端通過第二螺釘18緊固相連，法蘭19上安裝有燈絲電極23、陽極筒電極22和加速柵電極21；陽極筒1螺紋安裝于安裝板11上且置于放電室內，燈桿座7絕緣安裝于陽極筒1與支架9之間，陽極桿8的一端與陽極筒1的螺紋孔1b螺紋連接并伸入至陽極筒1內并通過第一螺母4進行緊固，另一端穿過燈桿座7后與安裝板11緊固相連，并通過導線39與法蘭19上的陽極筒電極22相連，其中陽極桿8與燈桿座7和安裝板11之間均設置有第一絕緣陶瓷6以達到絕緣目的；燈絲桿3的一端經均通孔1a后伸入至陽極筒1內，另一端穿過燈桿座7后與安裝板11緊固相連，并通過導線39與法蘭19上的燈絲電極23相連，各燈絲桿3于陽極筒1內的一端均連接有燈絲2，其中燈絲桿3與安裝板11與燈桿座7之間處于絕緣狀態；另外法蘭19上的加速柵電極21則經加速柵導線40與柵網組件上的加速柵連桿42的一端相連。

本實施例中，進氣組件安裝于陽極筒1與法蘭19之間；進氣組件包括氣體分配器5和導氣管13，安裝板11上設置有螺柱15，螺柱15的內部中空，法蘭19上設置有螺套，螺套的中部通孔貫穿法蘭19，氣體分配器5安裝于燈桿座7上且位于陽極筒1與燈桿座7之間，其中燈桿座7上設置有與氣體分配器5上氣體流通孔1c相通的通孔，導氣管13的一端與螺柱15螺紋連接并與氣體分配器5相連通，其中螺柱15的端部與導氣管13之間設置有第一橡膠墊12以進行密封，另一端則與螺套緊固相連并與法蘭19的外部連通，同樣通過導氣管13端部的第二橡膠墊20與法蘭19的螺套之間進行密封，并且通過螺套上的第二螺母14進行鎖緊。

如圖4所示，在進行拆卸時，首先旋開端面法蘭19與底座16之間的第一螺釘17，然后將放電組件沿滑條10滑出，然后移除燈絲2，旋開陽極筒1上的固定螺母，進行檢修作業。

本實施例中，為了保證放電組件順利滑進與滑出。支架9內部空腔直徑大于燈桿座7的最大外輪廓直徑，燈桿座7的最大外輪廓直徑大于陽極筒1的最大外輪廓直徑。同時陽極桿8避免固定在放電室的內壁，將其和燈絲桿3均布局在燈桿座7上，保證放電室完整性，降低其加工難度。另外將燈桿座7與安裝板11相連，通過支架9內滑條10將放電組件從放電室底部滑出，即可拆裝燈絲2和陽極筒1，避免出現從放電室頂部更換燈絲2和陽極筒1后，裝配柵網組件難以對正的問題，縮短了拆裝時間，提高了生產效率。

以上僅是本發明的優選實施方式，本發明的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本發明思路下的技術方案均屬于本發明的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理前提下的若干改進和潤飾，應視為本發明的保護范圍。