本申請屬于半導體設備，更具體地說，是涉及一種貼膜裝置。

背景技術：

1、在晶圓生產過程中，在產品研磨前需要對其的正面貼附保護保護膜。在貼膜過程中，由于晶圓較薄且直徑較大，難以避免的會出現邊緣起翹等影響貼膜表面平整度的情況，從而導致貼膜過程中出現的保護膜無法很好的貼合于晶圓表面及氣泡問題。

技術實現思路

1、本申請實施例的目的在于提供一種貼膜裝置，以解決現有技術中存在的貼膜過程中晶圓邊緣起翹的技術問題。

2、為實現上述目的，本申請實施例采用的技術方案是，提供一種貼膜裝置，其包括：

3、工作臺，在所述工作臺上形成有具備吸附功能、以用于對所述晶圓貼膜的作業區域；

4、在所述工作臺上設置有預壓緊單元、卷放單元、第一卷收單元、第二卷收單元和位于所述卷放單元和所述第一卷收單元之間、且位于所述作業區域上方的壓合單元；

5、所述卷放單元、所述第一卷收單元和所述壓合單元均能夠在所述工作臺上水平移動以進入或離開所述作業區域；在所述卷放單元和所述第一卷收單元上相對的一側分別設置有均能夠移動以靠近或遠離工作臺面的剝膜模塊和收膜模塊；

6、所述預壓緊單元用于將所述晶圓壓緊貼合于所述作業區域，所述卷放單元用于釋放保護膜，所述剝膜模塊的剝離端用于將所述保護膜上的粘接層和保護層剝離，所述第二卷收單元用于卷收所述保護層，所述壓合單元用于將所述粘接層壓合于所述晶圓，所述第一卷收單元用于卷收壓合后多余的所述粘接層。

7、可選地，所述預壓緊單元包括驅動機構及具備吸附功能的壓盤，所述壓盤形狀與所述作業區域的形狀相適配。

8、可選地，在所述壓盤吸附所述晶圓的一側設置有緩沖件。

9、可選地，所述預壓緊單元設置于所述工作臺內部，所述作業區域可升降設置，所述驅動機構能夠驅動所述預壓緊單元移動至所述作業區域的上方。

10、可選地，所述驅動機構包括多級伸縮機構，在所述多級伸縮機構中設置有可伸縮的負壓管道，所述負壓管道與所述壓盤相連接。

11、可選地，所述多級伸縮機構包括滑軌組件、滑架和氣缸，所述滑軌組件和所述氣缸連接相鄰兩個所述滑架。

12、可選地，所述卷放單元、所述第一卷收單元和所述壓合單元均能夠在所述工作臺上水平移動以進入或離開所述作業區域；在所述卷放單元和所述第一卷收單元上相對的一側分別設置有均能夠移動以靠近或遠離工作臺面的剝膜模塊和收膜模塊。

13、可選地，所述卷放單元還包括沿水平滑動設置于所述工作臺的卷放支架和固定設置于所述卷放支架的卷放輥模塊，所述剝膜模塊沿豎向滑動設置于所述卷放支架。

14、可選地，所述第一卷收單元還包括沿水平滑動設置于所述工作臺的卷收支架和轉動設置于所述卷收支架上的轉動架，在所述轉動架上設置有卷收輥模塊和與轉軸偏心設置的所述收膜模塊；在所述卷收支架與所述轉動架之間且位于轉軸一側處連接有抬升機構，所述抬升機構用于推動所述轉動架轉動以使所述收膜模塊靠近或遠離所述工作臺面。

15、可選地，在所述卷放單元和所述第一卷收單元的任一一者或二者設置有制動機構，所述制動機構包括制動輥和能夠抵緊所述制動輥的制動板，所述保護膜和/或所述粘接層穿設于所述制動輥和所述制動板之間。

16、可選地，所述壓合單元包括沿水平滑動設置于所述工作臺的壓合架和沿豎向活動設置于所述壓合架的壓輥。

17、本申請實施例提供的貼膜裝置，至少具有以下有益效果：

18、通過在工作臺上設置預壓緊單元，其用于對待貼膜的晶圓進行預整平，以消除晶圓表面邊緣起翹的情況，從而能夠有效避免貼膜過程出現的氣泡等問題，以有效提高貼膜良率。

技術特征：

1.一種貼膜裝置，用于對待粘貼片粘貼膜層，其特征在于，包括：

2.如權利要求1所述的貼膜裝置，其特征在于：所述預壓緊單元包括驅動機構及具備吸附功能的壓盤，所述壓盤形狀與所述作業區域的形狀相適配。

3.如權利要求2所述的貼膜裝置，其特征在于：在所述壓盤吸附所述晶圓的一側設置有緩沖件。

4.如權利要求2或3所述的貼膜裝置，其特征在于：所述預壓緊單元設置于所述工作臺內部，所述作業區域可升降設置，所述驅動機構能夠驅動所述預壓緊單元移動至所述作業區域的上方。

5.如權利要求4所述的貼膜裝置，其特征在于：所述驅動機構包括多級伸縮機構，在所述多級伸縮機構中設置有可伸縮的負壓管道，所述負壓管道與所述壓盤相連接。

6.如權利要求5所述的貼膜裝置，其特征在于：所述多級伸縮機構包括滑軌組件、滑架和氣缸，所述滑軌組件和所述氣缸連接相鄰兩個所述滑架。

7.如權利要求1至3任一所述的貼膜裝置，其特征在于：所述卷放單元還包括沿水平滑動設置于所述工作臺的卷放支架和固定設置于所述卷放支架的卷放輥模塊，所述剝膜模塊沿豎向滑動設置于所述卷放支架。

8.如權利要求1至3任一所述的貼膜裝置，其特征在于：所述第一卷收單元還包括沿水平滑動設置于所述工作臺的卷收支架和轉動設置于所述卷收支架上的轉動架，在所述轉動架上設置有卷收輥模塊和與轉軸偏心設置的所述收膜模塊；在所述卷收支架與所述轉動架之間且位于轉軸一側處連接有抬升機構，所述抬升機構用于推動所述轉動架轉動以使所述收膜模塊靠近或遠離所述工作臺面。

9.如權利要求1至3任一所述的貼膜裝置，其特征在于：在所述卷放單元和所述第一卷收單元的任一一者或二者設置有制動機構，所述制動機構包括制動輥和能夠抵緊所述制動輥的制動板，所述保護膜和/或所述粘接層穿設于所述制動輥和所述制動板之間。

10.如權利要求1至3任一所述的貼膜裝置，其特征在于：所述壓合單元包括沿水平滑動設置于所述工作臺的壓合架和沿豎向活動設置于所述壓合架的壓輥。

技術總結
本申請提供了一種貼膜裝置，其包括：工作臺，在工作臺上形成有具備吸附功能、以用于對晶圓貼膜的作業區域；在工作臺上設置有預壓緊單元、卷放單元、第一卷收單元、第二卷收單元和位于卷放單元和第一卷收單元之間、且位于作業區域上方的壓合單元；卷放單元、第一卷收單元和壓合單元均能夠在工作臺上水平移動以進入或離開作業區域；在卷放單元和第一卷收單元上相對的一側分別設置有均能夠移動以靠近或遠離工作臺面的剝膜模塊和收膜模塊。本申請提供的貼膜裝置，能夠有效避免貼膜過程出現的氣泡等問題，以有效提高貼膜良率。

技術研發人員：楊善斌,范志平,劉攀,盧少君
受保護的技術使用者：廣東思沃先進裝備有限公司
技術研發日：20240307
技術公布日：2025/4/24