本發明涉及靜電電荷減少技術，更具體地說，涉及一種用于局部位置的靜電電荷減少的靜電電荷減少系統。

背景技術：

在設備小型化市場趨勢中，電路密度的不斷增大迫使微芯片制造商不斷提高產品性能，降低成本，以及將數十億個晶體管擠入單個芯片。而這種設備小型化趨勢帶來了新的挑戰，其導致需要更多的靜態中和空氣離子發生器來解決由于靜電放電(electrostaticdischarge,esd)損壞而導致的關鍵器件故障問題。

通常可見的做法是在典型的微芯片測試處理機中同時安裝大量的空氣離子發生器，以減輕靜電電荷生成，從而最大限度地減少或消除由于靜電放電(esd)引起的微芯片損壞。

為了克服日益增加的成本和器件靈敏度問題，正在生產出更專業的空氣離子發生器以跟上工業小型化趨勢，從而滿足更嚴格和苛刻的要求。

但是，這依然受到限制。用于制造微芯片高度esd敏感的部件或組件變得非常敏感，從而使得即使從空氣離子發生器排出的正，負空氣離子的輕微不平衡將導致在多種新一代esd敏感設備的生產中造成質量問題和低產問題。

pct/cn/2011/076825描述了一種使用密閉殼體內的濕氣流減輕靜電荷生成的方法。pct/cn/2013/087133描述了將濕空氣用于在周圍環境中的空間開放性局部區域中減輕靜電荷生成的方法。當需要同時在數個位置減輕靜電荷生成時，本領域普通技術人員可以根據需要減輕的位置的確切數量重復地實施pct/cn/2013/087133中的空間開放系統，從而相應地解決問題。

然而，通過常規手段的這些解決方案是不便的，并且成本較高。其不僅占用較大空間，還受到系統場地維護和綜合維護工作的影響。

因此，與微芯片不太容易受到esd損害的舊時代相比，保護微芯片免受esd損傷的成本非常高。

因此，需要進一步的研究以尋找一種解決前述段落中強調的缺陷的更佳且更可行的技術方案從而解決微芯片保護的高成本挑戰問題。

技術實現要素：

根據本發明的一個方面，提供了一種靜電電荷減少系統，其包括加濕器，連接到所述加濕器的出口的主流出空氣輸送管，其中從所述主流出空氣輸送管分支延伸出(branch)至少一個次流出空氣輸送管，其中將所述次流出空氣輸送管導向(direct)目標位置以將濕空氣從所述加濕器輸送到所述目標位置。

可選地，所述靜電電荷減少系統進一步包括連接到所述加濕器的入口的主回流空氣輸送管，從所述主回流空氣輸送管分支延伸出至少一個次回流空氣輸送管，其中所述次回流空氣輸送管從所述目標位置將所述濕空氣吸收回到所述加濕器。

可選地，至少一個微毛細管附連到所述主流出空氣輸送管，并將其導向特定的目標位置。

可選地，所述主流出空氣輸送管與所述主回流空氣輸送管連接以形成閉合回路或分別在其一端或兩端密封從而形成開放性回路(openloop)。

可選地，在所述主流出空氣輸送管的末梢(tipend)和/或所述主回流空氣輸送管的末梢設置閥塞。可選地，所述閥塞包括中空圓柱形插入部和外部平頭塞，其中在所述中空圓柱形插入部上設置開口。通過所述閥塞沿著所述中空圓柱形插入部的長度方向上的滑動，可以阻礙或者輸送所述主流出空氣輸送管和/或所述主回流空氣輸送管中的濕空氣。

可選地，所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管(thesamepieceofonesingletubing)。可選地，所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管(thesamepieceofonesingletubing)。

可選地，多個次流出空氣輸送管道從所述主流出空氣輸送管道上分支延伸出，并且多個次回流空氣輸送管從所述主回流空氣輸送管上分支延伸出。

可選地，將每個所述次流出空氣輸送管道和所述次流出空氣輸送管導向相同的目標位置以形成次空氣輸送回路。

可選地，所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管沿其長度方向在不同位置分別設置多個開口，至少一個次級管插入所述主流出空氣輸送管的一個開口以形成所述次流出空氣輸送管且至少一個次級管插入所述主回流空氣輸送管的一個開口以形成所述次回流空氣輸送管。

可選地，設置空氣控制器以覆蓋所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管的至少一個開口。可選地，所述空氣控制器可以是包裹所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管上的圓柱形可旋轉管。

可選地，提供主管支撐器用于支撐所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管，其中所述主管支撐器包括u形結構，所述u形結構具有用于支撐平行設置的所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管的至少兩個凹槽。可選地，可以設置多個凹槽，并且所述主管支撐器可以是可滑動的。

可選地，提供次管支撐器用于支撐所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管，其中所述次管支撐器具有底板和兩個側壁，其中所述兩個側壁分別具有至少一個支撐開口以用于支撐所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管。可選地，所述兩個側壁在所述底板上可以朝著彼此滑動。可選地，所述兩個側壁固定在所述底板的兩個端部，所述底板是可伸縮的，在每個側壁上設置至少兩個凹槽以用于支撐所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管。可選地，所述兩個側壁是設置有至少兩個凹槽的線狀結構(wire-likestructure)，所述至少兩個凹槽用于支撐所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管。

可選地，所述主流出空氣輸送管和所述主回流空氣輸送管附連雙壁管結構，或者所述次流出空氣輸送管和所述次回流空氣輸送管附連雙壁管結構，其中所述雙壁管結構包括大直徑管和放置在所述大直徑管內的小直徑管以形成在相反的方向上行進(travel)的外部濕氣流和內部濕氣流。可選地，小直徑管是可滑動的。可選地，環形板附連在雙壁管結構的嘴部(mouth)。

可選地，所述加濕器包括中空圓柱腔室，設置在所述中空圓柱腔室的底部以用于生成連續濕氣流的濕氣生成器，以及位于所述濕氣生成器和所述主流出空氣輸送管之間的吸風機，所述吸風機將所述連續濕氣流和進氣流形成螺旋氣流，所述螺旋氣流朝著所述主流出空氣輸送管螺旋上升，從而消除所述中空圓柱腔室的出口區域的水滴聚集或者凝結。可選地，所述加濕器可以進一步包括附連到所述中空圓柱腔室以饋入所述進氣流的進口管。

可選地，所述中空圓柱腔室包括垂直圓柱型下部腔室和附連到所述垂直圓柱型下部腔室的頂部的斜錐型上部腔室，所述主流出空氣輸送管附連到所述斜錐型上部腔室，所述吸風機放置在所述垂直圓柱型下部腔室中。

可選地，所述中空圓柱腔室包括垂直圓柱型下部腔室和從所述垂直圓柱型下部腔室分支延伸的出口流道，所述主流出空氣輸送管附連到所述出口流道，且所述吸風機放置在所述出口流道中。

可選地，所述吸風機是離心風機，所述離心風機固定附連到圓盤上，所述圓盤上具有中央孔以允許所述連續濕氣流和所述進氣流進入所述離心風機，從而將所述連續濕氣流和所述進氣流混合以形成所述螺旋氣流。

可選地，所述離心風機包括鼓狀殼體，所述鼓狀殼體中部設置翅片，所述鼓狀殼體進一步包括出氣口，所述出氣口在平行于所述出氣口處的切線或相對所述切線傾斜較小角度的方向上釋放所述連續濕氣流和所述進氣流的混合氣體從而沿著所述中空圓柱腔室的內壁的周長方向形成所述螺旋氣流。

可選地，所述圓盤固定附連到所述中空圓柱腔室的內壁，其中所述鼓狀殼體的翅片位于所述圓盤的所述中央孔的正上方。

可選地，所述吸風機相對于水平軸從所述水平軸向上或向下傾0度-80度，優選5度-75度，更優選25度-60度，最優選從35度-50度。

可選地，所述螺旋氣流的流動角度隨著其螺旋上升而增加，隨著所述螺旋氣流螺旋上升直至到達所述中空圓柱腔室的最頂部，所述流動角度從最小至5度上升到最大至80度。

通過使用單個主流出空氣輸送管和至少一個次流出空氣輸送管，令人驚訝的獲得了目標區域的有效的靜電電荷減少。此外，通過使用成對的主空氣輸送管回路和次空氣輸送管回路，令人驚訝的獲得了多個目標區域的有效的靜電電荷減少。

附圖說明

下面將結合附圖及實施例對本發明的典型實施例作進一步說明，附圖中：

圖1是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的開放性回路的示意圖；

圖2是根據本申請的另一實施例的靜電荷減少系統的示意圖；

圖3是圖2所示的靜電荷減少系統的一個次空氣傳輸回路的示意圖；

圖4是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的閥塞的示意圖；

圖5是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的主管支撐器的示意圖；

圖6a是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的次管支撐器的第一實施例的示意圖；

圖6b是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的次管支撐器的第二實施例的示意圖；

圖6c是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的次管支撐器的第三實施例的示意圖；

圖7是根據本申請的再一實施例的靜電荷減少系統的示意圖；

圖8是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的空氣控制器的示意圖；

圖9是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的加濕器的示意圖；

圖10是圖9所示的加濕器的離心風扇和圓板的示意圖；

圖11是所述離心風機生成沿著所述中空圓柱腔室的內壁的周長的螺旋氣流的示意圖；

圖12是圖9所示的加濕器的截面示意圖；

圖13是生成所述螺旋氣流的旋轉效應的氣流條件的示意圖；

圖14是根據本申請的另一實施例的靜電荷減少系統的加濕器的示意圖；

圖15是根據本申請的實施例的靜電荷減少系統的雙壁管結構的示意圖；

圖16是圖15所示的雙壁管結構的環狀板的示意圖；

圖17是所述主/次流出空氣輸送管和所述主/次回流空氣輸送管的優選實施例的示意圖。

具體實施方式

下面參照以下描述和附圖可以更好地理解本發明的各個優點、方面和新穎特征以及示出的實施例。然而在此列出的本發明的各個實施例僅僅是用于示例而非限制目地的。在下圖中，箭頭代表氣流方向。

圖1-3示出了根據本發明實施例的靜電荷減少系統。如圖1-3所示，所述靜電荷減少系統包括：加濕器100，連接到所述加濕器100的出口110的主流出空氣輸送管200，連接到所述加濕器100的入口120的主回流空氣輸送管300。

所述主流出空氣輸送管200的末梢可以貼附(affixed)閥塞210，且所述主回流空氣輸送管300的末梢也可以貼附(affixed)閥塞310，因此可以形成開放式或者閉合式回路濕空氣流輸送系統。然而，在本發明的另一實施例中，所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以由一個閉合回路管形成。在本發明的另一實施例中，所述主流出空氣輸送管200與所述主回流空氣輸送管300的末梢分別密封從而形成開放性回路(openloop)。

根據本發明的如圖17所示的優選實施例，所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管(thesamepieceofonesingletubing)。通過所述末梢開口的濕空氣流用作削弱或降低靜電電荷的靜電電荷減輕濕氣流量。

如圖2所示，所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以平行設置在所述加濕器100的相同側。此外，所述主流出空氣輸送管200沿其長度方向在不同位置分別設置多個流出開口220。同時所述主回流空氣輸送管300沿其長度方向在不同位置分別設置多個回流開口320。一個次級管插入到一個流出開口220中以形成次流出空氣輸送管230。將所述次流出空氣輸送管230導向目標區域，從而將濕空氣從所述加濕器100輸送到所述目標區域，從而削弱或降低在所述目標區域生成的靜電電荷。將一個次級管插入到一個回流開口320中以形成次回流空氣輸送管330。將所述次回流空氣輸送管330導向相同的目標區域，從而將濕空氣從所述目標區域吸入從而回到所述加濕器100。如圖3所示，將所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330的末梢導向相同的目標區域從而形成開放式次空氣輸送回路。

在本發明的一個實施例中，所述流出開口220和所述回流開口320的數量可以相同或不同。因此，所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330的對數可以根據實際需要來確定。

然而，在本發明的一個簡化實施例中，僅設置一個所述主流出空氣輸送管200和一個次流出空氣輸送管230，而不提供任何的所述主回流空氣輸送管300和所述次回流空氣輸送管330以供特殊使用。

在某些實施例中，所述回流開口320和所述流出開口220可以分別是在所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300上制作的切口(incision)。在某些實施例中，可以設置膠水，粘合劑，凝集劑，密封件或其它密封元件，用于密封所述次流出空氣輸送管230插入所述流出開口220，或所述次回流空氣輸送管330插入所述回流開口320。

在另一實施例中，所述主流出空氣輸送管200可以是具有數個分支延伸管(branchedtubings)的主管，這意味著所述主流出空氣輸送管200和所述次流出空氣輸送管230可以一體成型。類似的，所述主回流空氣輸送管300可以相同的方式制造。

根據本發明的優選實施例，所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管。根據更優選的實施例，所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管，且所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330可以是具有切割壁(cut-offwall)以形成末梢開口的同一個管。這樣，通過所述末梢開口的濕空氣流用作削弱或降低靜電電荷的靜電電荷減輕濕氣流量。

圖4示出了閥塞210、310的優選實施例。如圖4所示，開/關(open/close)連接閥塞500具有中空圓柱形插入部520和外部平頭塞510。所述外部平頭塞510可以是圓柱底板，該圓柱底板的直徑大于所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300的直徑。當然，所述外部平頭塞510還可以是其他形狀，例如正方形，矩形，圓形，橢圓形或任何其他形狀。所述中空圓柱形插入部520的直徑略小于所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300的直徑，這樣其可以插入到所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300的直徑中且不會造成濕空氣泄漏。在所述中空圓柱形插入部520上設置開口530。通過所述開/關連接閥塞500沿著所述中空圓柱形插入部520的長度方向上的滑動，可以阻礙或者輸送所述主流出空氣輸送管200和/或所述主回流空氣輸送管300中的濕空氣。在一個實施例中，所述開口530可以具有方形，矩形，圓形，橢圓形或允許濕空氣流動的任何其他形狀。

在本發明的另一實施例中，所述閥塞210、310可以通過已知的不具備任何開口的氣塞(gasplug)構成，這意味所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以是完全密封的。

如圖2所示，可設置數個次管支撐器400用于支撐所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330。

圖6a-6c示出了所述次管支撐器400的優選實施例。如圖6a所示，所述次管支撐器400具有底板410和兩個側壁420，所述兩個側壁420在所述底板410上可以朝著彼此滑動。如圖6a所示，所述兩個側壁420分別具有至少一個支撐開口440以用于支撐所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330。可選地，所述支撐開口440可以是圓孔，橢圓形凹槽或可以接收和容納所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330的任何形狀的開口。如圖6b所示，所述次管支撐器400’具有底板410’和兩個側壁420’，所述兩個側壁420’固定在所述底板410’，而所述底板410’是可伸縮的。在每個側壁420’上設置至少兩個凹槽440’以用于支撐所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330。所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330是柔性的，因此可以從一個凹槽移動到另一個凹槽，從而調節所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330的高度。

如圖6c所示，所述次管支撐器400”具有底板410”和兩個側壁420”。所述底板410”是可伸縮的，且所述底板410”和所述兩個側壁420”具有線狀結構，所述側壁420”可以是線形成的至少兩個凹槽440”。所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330可以插入到這些凹槽中，且從一個凹槽移動到另一個凹槽，從而支撐和調節其高度。

當然，在本發明的另一實施例中，可以采用簡單的夾子(clipper)作為夾緊所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330的次管支撐器400。

在優選實施例中，還可以提供主管支撐器600用于支撐所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300。圖5示出了主管支撐器600的優選實施例。如圖5所示，所述主管支撐器600具有u形結構，所述u形結構具有用于支撐平行設置的所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300的至少兩個凹槽610。可選地，可以設置多個凹槽610，這樣平行設置的所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以彼此平行且間隔一定距離支撐。在本實施例中，所述主管支撐器600可以沿著所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300的長度方向滑動。

在圖8所示的優選實施例中，可以設置空氣控制器800以覆蓋所述主流出空氣輸送管200上的至少一個所述流出開口220。優選地，可以提供另一空氣控制器800以覆蓋所述主回流空氣輸送管300上的至少一個所述回流開口320。此外，所述空氣控制器800可以是安裝(如包裹，附著，粘附等)在所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300上的圓柱形可旋轉管。這樣，根據本發明的靜電電荷減少系統可以更好地控制濕氣流量，從而獲得更精細的靜電電荷減輕目標。

可選地，所述主流出空氣輸送管200和所述主回流空氣輸送管300可以是柔性的，并且具有“回擺(swing-back)”動作，從而允許這些管在移動之后，能夠回擺到其原始位置(未示出)。類似地，所述次流出空氣輸送管230和所述次回流空氣輸送管330也可以是柔性的，并且具有“回擺(swing-back)”動作，從而允許這些管在移動之后，能夠回擺到其原始位置(未示出)。這對于在空間可用性非常有限的涉及高強度過程移動或過程位移的應用中是有用的。

這樣，對于相同靜電電荷減輕目標，使用平行設置的具有至少一個流出開口的單個流出管和具有至少一個回流開口的單個回流管能夠令人驚訝地實現與多個微型空氣離子發生器單元相同的效果。

圖7是根據本申請的再一實施例的靜電荷減少系統的示意圖。如圖7所示，數個微毛細管700附連到所述主流出空氣輸送管200，并將其導向特定的目標位置，并且不使用返回回路從而適應提供額外靜電電荷減輕的特別的應用。在本發明的另一實施例中，可以有數個微毛細管700附連到所述主回流空氣輸送管300以適合特定應用。

現在圖15所示的優選實施例中，一個所述主流出空氣輸送管200和一個所述主回流空氣輸送管300可附連雙壁管結構900。在圖16所示的另一優選實施例中，兩個所述主流出空氣輸送管200和一個所述主回流空氣輸送管300附連雙壁管結構900。在再一優選實施例中，兩個所述次流出空氣輸送管和一個所述次回流空氣輸送管附連雙壁管結構900。

如圖15所示，所述雙壁管結構900包括大直徑管920和放置在所述大直徑管920內的小直徑管930以形成外部濕氣流和內部濕氣流。外部氣流路徑中的所述外部濕氣流和內部氣流路徑中的內部濕氣流在相反的方向上行進。所述主流出空氣輸送管200附連所述外部氣流路徑中的開口嘴部(openingmouth)，所述主回流空氣輸送管300附連所內部氣流路徑中的開口嘴部。這一獨特的濕氣流設計非常適合局部位置的靜電電荷移除應用。

優選地，小直徑管930是可滑動的以允許更精細地控制濕氣流的量和強度，從而實現更多的特定靜電電荷減輕目標。

在圖16所示的優選實施例中，所述雙壁管結構900進一步包括環形板910。所述環形板910附連在雙壁管結構900的外部氣流路徑的開口嘴部。兩個所述主流出空氣輸送管200附連到所述環形板910。所述環形板910使得濕空氣向內行進較寬距離，以在其被吸入到外部濕氣流中之前覆蓋更寬的區域。所述主回流空氣輸送管300附連到通過放置在所述大直徑管920的中央的小直徑管930形成內部氣流路徑。

在本發明中，所述加濕器100可以是市面上任何已知的加濕器。然而，在本發明的優選實施例中，參照圖9-13，提供了一種特殊的加濕器。

如圖9所示，所述加濕器100包括中空圓柱腔室2，設置在所述中空圓柱腔室2的底部以用于生成連續濕氣流的濕氣生成器21，以及位于所述濕氣生成器21和所述主流出空氣輸送管200之間的吸風機4，所述吸風機4將所述連續濕氣流和進氣流形成螺旋氣流，所述螺旋氣流朝著所述主流出空氣輸送管200螺旋上升，從而消除所述中空圓柱腔室2的出口區域的水滴聚集或者凝結。

所述加濕器100可以進一步包括饋入所述進氣流的進口管22，所述進口管22可以是所述主回流空氣輸送管300也可以是其他進口管。這取決于實際需要。

我們發現，當如圖9所示，所述連續濕氣流和所述進氣流的混合氣流沿著所述中空圓柱腔室2的內壁以螺旋流動模式創建，然后從下部氣流區域l向上部氣流區域u螺旋向上流動，且接著朝著所述中空圓柱腔室2的上端的主流出空氣輸送管200流動時，在所述中空圓柱腔室2的出口氣流區域以及所述中空圓柱腔室2的內壁上水滴的聚集或凝結將令人驚訝地消失。

如圖9所示，所述吸風機4是離心風機，所述離心風機固定附連到圓盤3上，所述圓盤3上具有中央孔31，從而允許所述連續濕氣流和所述進氣流通過所述離心風機，從而將所述連續濕氣流和所述進氣流混合以形成所述螺旋氣流。所述濕氣生成器21生成的濕空氣由圍繞所述中空圓柱腔室2內部的中央區域位置的所述吸風機4吸取收并且通過所述吸風機4。

所述離心風機4可以是市面上任何類型的離心風機。優選地，所述離心風機可以自己單獨設置在所述中空圓柱腔室2內部的中央區域位置，因此所述圓盤3是可以省略的。

在一實施例中，位于所述圓盤3上的離心風機4可以如圖9所示平放放置。在另一實施例中，可以通過傾斜圓盤3將所述離心風機傾斜放置，所述圓盤3可以相對圖13中以aa’標記示出的水平線成適合角度傾斜，從而在本發明的應用中提供更多的靈活設計。傾斜角度可以是從所述水平線向上傾斜0度-80度，或從所述水平線向下傾斜0度-80度。可選地，所述傾斜角度可以是從所述水平線向上傾斜5度-75度，或從所述水平線向下傾斜5度-75度。優選地，所述傾斜角度可以是從所述水平線向上傾斜25度-60度，或從所述水平線向下傾斜25度-60度。最優選地，所述傾斜角度可以是從所述水平線向上傾斜35度-50度，或從所述水平線向下傾斜35度-50度。

在本申請中，所述中空圓柱腔室2可以是任何圓柱形狀。圖9示出了所述中空圓柱腔室2的優選設置。如圖9所示，所述中空圓柱腔室2包括垂直圓柱型下部腔室24和附連到所述垂直圓柱型下部腔室24的頂部的斜錐型上部腔室25。如圖9所示，所述洗風扇4設置在所述垂直圓柱型下部腔室24的中央。如圖9所示，在所述斜錐型上部腔室25以及所述主流出空氣輸送管200的彎管26上的內壁上的水滴的聚集或者凝結令人驚訝地消失。

將吸風機4放置在所述垂直圓柱型下部腔室24的位于底部的所述濕氣生成器21和位于頂部的出口區域之間，將氣體在缺口以意想不到的0度直接流出到內壁上，從而創建如圖9所示的螺旋氣流在技術上來講是獨特的且非顯而易見的。

圖10是根據本發明的又一實施例的加濕器的離心風機和圓盤的示意圖。如圖10所示，離心風機包括鼓狀殼體。所述鼓狀殼體在其中部位置43設置翅片41。所述鼓狀殼體進一步包括出氣口42。所述出氣口42在平行于所述出氣口42處的切線或相對所述切線傾斜較小角度的方向上釋放所述連續濕氣流和所述進氣流的混合氣體從而沿著所述中空圓柱腔室2的內壁的周長方向形成所述螺旋氣流。如圖10所示，所述圓盤3固定附連到所述中空圓柱腔室2的內壁，其中所述鼓狀殼體的翅片41位于所述圓盤3的所述中央孔31的正上方。當然，本發明的離心風機和圓盤還可以以任何其他的方式設置，只要其能夠產生螺旋氣流即可。

如圖11所示，圖10中示出的離心風機4可以生成沿著所述中空圓柱腔室2的內壁的周長方向的螺旋氣流。所述螺旋氣流的流動角度隨著其螺旋上升而增加，隨著所述螺旋氣流螺旋上升直至到達所述中空圓柱腔室2的最頂部，所述流動角度從最小至5度上升到最大至80度。

圖13是生成所述螺旋氣流的旋轉效應的氣流條件的示意圖。如圖13所示，當氣流方向是從中心點a向任何方向吹出時，不會產生螺旋氣流。進一步參照圖13，在氣流方向是從點b到點0和從點b到點0’吹出時，也不會產生螺旋氣流。

然而，例如，氣流基于以下條件產生螺旋：1)氣流方向從點b到點1；2)氣流方向從點b到點2；3)氣流方向從點b到點3。

因此，與離心風機的切線平行或與離心風機的切線成較小角度產生螺旋氣流，進而形成沿著所述中空圓柱腔室2的內壁的周長方向的螺旋氣流。沿著所述中空圓柱腔室2的內壁的周長方向螺旋的螺旋氣流的流動角度與水平軸成5度-80度，優選25度-60度，最優選從35度-50度。

圖14是根據本發明的又一實施例的靜電電荷減少系統的加濕器的示意圖。如圖14所示，所述加濕器，其包括中空圓柱腔室5，設置在所述中空圓柱腔室5的內部以用于生成連續濕氣流的濕氣生成器21，附連到所述中空圓柱腔室5以輸入進氣流的進口管22，附連到所述中空圓柱腔室5的出口管(未示出)，以及位于所述濕氣生成器21和所述出口管之間的吸風機4，所述吸風機4將所述連續濕氣流和所述進氣流形成螺旋氣流，所述螺旋氣流朝著所述出口管螺旋上升，令人驚訝的是，所述螺旋氣流可以消除所述中空圓柱腔室5的出口區域的水滴聚集或者凝結。所述進氣流可以是返回的空氣，也可以是環境空氣，這取決于實際的需要。

如圖14所示，所述中空圓柱腔室5包括垂直圓柱型下部腔室51和從所述垂直圓柱型下部腔室51分支延伸的出口流道52。所述出口管附連到所述出口流道52。在本實施例中，所述吸風機4放置在所述出口流道52中。如圖15所示，在所述吹風機4之上的出口流道52中的水滴聚集和凝結令人驚訝地消失了。同樣地，在附連到所述出口流道52的所述出口管中的水滴聚集和凝結令人驚訝地消失了。其工作原理已經在以上實施例中進行了描述，因此在此就不再累述了。

在本實施例中，所述離心風機4固定附連到圓盤3上，且垂直于所述出口流道52的軸線。在另一實施例中，所述離心風機4可以以其他定向設置。本發明的吸風機4可以參照上述實施例進行構造，在此就不再累述了。

在本發明的一個實施例中，所述出口流道52是可移除且可取代的，從而使得本發明的應用更加靈活多變。

雖然圖14僅示出一個出口流道52，但是本領域技術人員知悉，一個以上的出口流道52可以從所述垂直圓柱型下部腔室51分支延伸出去，進而獲得更具有吸引力的商業優勢的多氣流出口。

發明人不知道為什么僅僅通過在中空圓柱腔室內部設置吸風機形成螺旋氣流就可以使得所述中空圓柱腔室的內壁和出口管的內壁的水滴聚集或者凝結令人驚訝地消失。這可能是由于設置吸風機或者調節吸風機的角度將使得螺旋氣流產生離心效應，而該效應將使得較大較重的水滴向外螺旋旋轉，并且與墻壁撞擊，進而留在墻壁表面。這一過程將持續直到在所述螺旋氣流朝著所述中空圓柱腔室的頂端的出氣口逐漸螺旋向上，使得較大和較重水滴逐漸減少和消失。

本發明的氣流設計并不僅僅允許加濕器設備獲得無凝結濕氣流，其還通過簡單的設計在無需在氣流系統中引入附加設備(例如加熱器)從而導致需要改裝整個加濕器設備的情況下解決的凝結問題，因此更利于維護，性能更加優越。

本發明的設計不但簡化且最小化形成螺旋氣流所需的產品部件，還可以通過有效優化螺旋過程縮短中空圓柱腔室的高度，從而降低了材料損耗且節省了設備空間，這對通常空間有限的小型生產設備是非常有利的。

本發明通過在中空圓柱腔室內部設置吸風機，可以在不使用加熱器的情況下，以簡單和非常規的方法有效地消除所述中空圓柱腔室的內壁和出口管的內壁的水滴聚集或者凝結。