專利名稱：單晶爐坩堝防塵裝置的制作方法
技術領域：
單晶爐坩堝防塵裝置屬于機電技術領域，特別涉及多晶硅轉化為單晶硅拉制過程中單晶爐坩堝防塵。
背景技術：
單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料；單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。在硅單晶拉制前，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業雜質掉入磁流體內，造成磁流體卡死，不旋轉，影響拉晶質量；眾所周知，目前單晶爐坩堝裝置，采用防塵裝置密固性能差，容易造成設備損壞，晶棒精度低等現象。發明的內容本發明單晶爐坩堝防塵裝置發明目的在于解決單晶爐晶體拉制過程中產生雜質易掉入磁流體、造成設備易損壞問題，設計制造一種與現有技術不同坩堝防塵裝置。本發明單晶爐坩堝防塵裝置是這樣實現的含雜質和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側并通過螺釘固定在坩堝軸上。在硅單晶拉制過程中，利用單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業時雜質掉入磁流體內，導致磁流體卡死、不旋轉，影響拉晶質量。本發明單晶爐坩堝防塵裝置的有益效果是在硅單晶拉制過程中，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業時雜質掉入磁流體內，造成磁流體卡死，不旋轉，影響拉晶質量；降低成本，提高作業效率。


附圖為本發明單晶爐坩堝防塵裝置結構示意圖。圖中坩堝軸1、壓緊套2、雜質3、磁流體4、防塵法蘭5。
具體實施例方式本發明單晶爐坩堝防塵裝置，含雜質3和磁流體4，由坩堝軸1、壓緊套2和防塵法蘭5組成堝軸1為水冷焊接件和磁流體4同軸心套裝，在磁流體4上平面和坩堝軸1外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭5 ；壓緊套2套裝在防塵法蘭5外側并通過螺釘固定在坩堝軸1 上。
權利要求
1.單晶爐坩堝防塵裝置，其特征在于含雜質(3)和磁流體G)，由坩堝軸(1)、壓緊套 ⑵和防塵法蘭(5)組成堝軸⑴為水冷焊接件和磁流體⑷同軸心套裝，在磁流體⑷ 的上平面和坩堝軸(1)外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭(5)；壓緊套( 套裝在防塵法蘭(5) 外側并通過螺釘固定在坩堝軸(1)上。
全文摘要
單晶爐坩堝防塵裝置屬于冶煉機電技術領域，特別涉及多晶硅轉化為單晶硅拉制過程中單晶爐坩堝防塵；含雜質和磁流體，由坩堝軸、壓緊套和防塵法蘭組成；坩堝軸為水冷焊接件和磁流體同軸心套裝，在磁流體的上平面和坩堝軸外圓軸面同軸心安裝防塵法蘭；壓緊套套裝在防塵法蘭外側并通過螺釘固定在坩堝軸上；在硅單晶拉制前，單晶爐坩堝防塵裝置可防止作業時雜質掉入磁流體內，造成磁流體卡死，不旋轉，影響拉晶質量；降低成本，提高作業效率。
文檔編號C30B15/00GK102400207SQ201110366050
公開日2012年4月4日 申請日期2011年11月18日 優先權日2011年11月18日
發明者吳學軍, 周凱平 申請人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司