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固態納米孔陣列與固態納米孔陣列器件的制備方法及應用技術資料下載

技術編號:41738848

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本發明涉及微納米結構制備領域,特別是涉及一種固態納米孔陣列與固態納米孔陣列器件的制備方法及應用。背景技術、固態納米孔陣列在納米技術和納米科學領域具有廣泛的應用,特別是在納米電子學、納米生物學、納米傳感器等領域。例如,它們可以用作單分子生物傳感器的組件,通過控制孔道尺寸和化學性質,可以實現對生物分子(如dna、蛋白質等)的高靈敏度檢測。此外,固態納米孔陣列還可用于納米流體力學研究、納米濾膜、納米電子器件等領域。、年,哈佛大學研究人員在sinx薄膜上采用聚焦離子束(fib)加工出第一個固...
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