技術編號：41740733
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及氣體檢測，特別是涉及一種氣體傳感器及其制備方法。背景技術、熱導式氣體傳感器的原理是基于不同的氣體分子有不同的熱導率。為了提高測量準確性，熱導式氣體傳感器一般包括兩個通道，也即參考通道和測量通道。參考通道暴露在空氣中，測量通道暴露在被測空氣中。兩個通道被加熱到相同的溫度，根據兩個通道的數據差，得到被測空氣中被測氣體分子的濃度。現有的熱導式氣體傳感器芯片都是制作相同的兩個單元，通過封裝工藝將其中一個單元密封作為參考通道，另一個單元則暴露在空氣中作為測量通道。但由于現有技術的封裝的精度低，...
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該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。