技術編號:41754165
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及光學測量,更具體地說,是涉及一種用于圓形光學零件面形誤差和厚度檢測的夾具。背景技術、面形誤差檢測和厚度檢測是光學零件的重要指標,也是所有光學系統中對最終使用性能產生影響最明顯的指標之一。隨著應用場景的不斷深入,使得當下光學零件的面形指標要求越來越高,例如,在航天、軍工等高端領域中,甚至要求零件表面面形超過/波長(pv值),即零件表面最高點和最低點的差異僅為nm左右。在這樣的背景下,零件面形準確檢測尤為關鍵。、以光學零件檢測為例,現有檢測光學零件的面形和厚度的方法,主要是使...
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