技術編號：41755431
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及氣體流量檢測技術利用，具體涉及一種氣體質量流量傳感器加工方法。背景技術、“智能能源網”工程的推進首先就需要實現水電氣等能源的智能化計量，組建智能能源網絡。而燃氣的智能化計量就需要研發兼容物聯網的智能燃氣流量計量傳感器。、基于熱溫差原理的mems傳感器利用氣體氣流流經加熱電阻時會吸收熱量從而導致熱溫差的原理檢測氣流流量，由于氣體吸收的熱量大小是與其自身的比熱容(ch含量高低)和質量成直接的因果關系的，它檢測的是甲烷氣體的質量流量，因而比傳統的體積流量檢測法更能準確地反映出被用戶實際...
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