技術(shù)編號：41762697
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種真空器件的制備方法、真空器件及電子設(shè)備。背景技術(shù)、隨著科技的發(fā)展，真空器件成為了微電機(jī)系統(tǒng)(mems，micro?electro?mechanicalsystems)主流產(chǎn)品之一，例如慣性測量單元(imu，inertial?measurement?unit)是其中一種典型的真空器件。imu作為一種測量和表征三維空間中角速度和加速度器件，其基于慣性原理，集成了陀螺儀與加速度計(jì)兩類器件。其中，陀螺儀用于測量物體的角速度，即物體繞各坐標(biāo)軸旋轉(zhuǎn)的速度。加速度計(jì)用于...
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