技術(shù)編號：41768491
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及材料加工，特別涉及一種離子束截面拋光裝置及方法。背景技術(shù)、氬離子束拋光是一種精密表面處理技術(shù)，利用加速的氬離子束濺射去除材料表面原子，從而實現(xiàn)高精度拋光。通過精確控制離子束能量、束流、入射角和拋光時間等參數(shù)，可以獲得光滑平整的高質(zhì)量樣品表面。與傳統(tǒng)的機械拋光方法相比，離子束拋光技術(shù)具有非接觸、高精度和適用材料范圍廣等優(yōu)點，避免了樣品損傷和形變，提高了后續(xù)成像和分析的準(zhǔn)確性。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于金屬、陶瓷、生物、半導(dǎo)體和新能源材料等多種材料的樣品制備。、離子束拋光分為平面拋光和截面拋光兩...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。