技術(shù)編號：41773915
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及氣體傳感器，更具體地，涉及一種mems芯片及其制備方法和氣體傳感器。背景技術(shù)、相關(guān)技術(shù)中，設(shè)備的氣體泄漏，會對我們的身體健康、生活質(zhì)量、生命安全和工業(yè)過程的運行產(chǎn)生影響。例如，部分冷媒氣體具有易燃、易爆的特性，所以對此類冷媒泄漏的實時檢測變得異常重要。、而目前一般采用的電容式氣體傳感器大多對環(huán)境(濕度、溫度、壓力)敏感，傳統(tǒng)電容式氣體傳感器多采用具有選擇性氣體吸附特性的介電材料(例如，高分子聚合物或金屬氧化物等)，而這些介電材料容易吸附空氣中水蒸氣而使電容變化，從而導(dǎo)致檢測誤差較大...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。