技術編號：41774746
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于晶圓清洗設備技術，具體涉及一種晶圓表面清洗設備及用于驅動毛刷清洗晶圓的方法。背景技術、晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。在半導體制造領域，晶圓表面清洗是一項至關重要的工序，對于確保產品質量和性能有著不可替代的作用。、然而，目前多數(shù)廠家使用的毛刷清洗結構，其驅動毛刷運作的電機一般置于擺臂上方，清洗過程中由于擺臂重量增加，會加劇擺臂抖動，對...
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