專利名稱：一種零疵病光學零件清洗方法
技術領域：
本發明涉及光學加工技術領域，特別涉及一種零疵病光學零件加工過程中的清洗方法，該方法適用于精密光學零件每個面拋光完成后的成盤清洗，目的在于提高光學零件的表面疵病等級。
背景技術：
超精密加工技術能力已經成為當今國家科技水平的一個重要體現，當超精密加工達到亞納米量級時，其表面的清潔程度成為了一項重要的技術指標，目前應用于該領域的清洗方法很多，有溶液溶解、微腐蝕法和超聲法、兆聲法、等離子法等，但這些清洗方法均是針對光學零件成品的清洗方法，當某些微細加工輔料，如拋光粉的吸附能力過強時，上述清洗方法便不能完全發揮其作用。因此，亟需研究一種能夠有效減少輔料對拋光表面的污染，降低最終光學清洗的難度，提高光學零件的表面疵病等級的清洗方法。

發明內容
本發明的目的在于提供一種零疵病光學零件清洗方法，該方法能夠有效地提高精密光學零件的表面清潔程度。為了實現上述目的，本發明采用了以下技術方案一種零疵病光學零件清洗方法，包括以下步驟在光學零件加工過程中對光學零件進行清洗，減少輔料對拋光表面的污染，加工完成后對光學零件再進行清洗。所述加工過程中對光學零件進行清洗包括以下步驟首先用質量分數20-40%的醋酸水溶液浸泡光學零件3-5min，然后用純水對光學零件進行沖洗，沖洗時間為5_10s，沖洗后，使用零級長絨脫脂棉蘸蒸餾丙酮在l_2min內完成對光學零件表面的擦拭脫水。醋酸水溶液浸泡后使得零件加工過程中吸附的稀土拋光粉附著能力降低，并在蒸餾丙酮擦拭脫水過程中大部分拋光粉被去除。所述加工過程中對光學零件進行清洗還包括以下步驟用純水對光學零件進行沖洗前，對醋酸水溶液浸泡后的光學零件用PH為7-8、質量分數為3-5%的APG洗液水溶液浸泡3-5min。APG洗液水溶液浸泡后使得零件加工過程中吸附的微小顆粒的附著能力降低，并在蒸餾丙酮擦拭脫水過程中大部分微小顆粒被去除。與現有技術相比，本發明具有以下優點本發明在光學零件加工過程中對光學零件即時清洗，可以有效減少輔料對拋光表面的污染，從而降低最終光學清洗的難度，提高光學零件的表面疵病等級，適用于單面或多面精密光學零件每個面拋光完成后的成盤清洗。
具體實施例方式下面結合實施例對本發明作進一步描述。在光學零件加工過程中對光學零件進行清洗，減少輔料對拋光表面的污染，加工完成后對光學零件按照現有方法再進行清洗。加工過程中對光學零件進行的清洗參見以下實施例。實施例一I)利用質量分數為30%的醋酸水洗液浸泡5min ；2)經過步驟I)后，利用pH=7、質量分數為5%的APG洗液水溶液浸泡5min ；3)經過步驟2)后，利用純水進行沖洗，每個光學零件的沖洗時間為6s ；4)經過步驟3)后，使用零級長絨脫脂棉蘸蒸餾丙酮在Imin內完成光學零件表面的擦拭脫水。用50倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。最終成品用500倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。實施例二I)利用質量分數為40%的醋酸水洗液浸泡3min ；2)經過步驟I)后，利用pH=8、質量分數為3%的APG洗液水溶液浸泡5min ；3)經過步驟2)后，利用純水進行沖洗，每個光學零件的沖洗時間為8s ；4)經過步驟3)后，使用零級長絨脫脂棉蘸蒸餾丙酮在2min內完成光學零件表面的擦拭脫水。用50倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。最終成品用500倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。實施例三I)利用質量分數為20%的醋酸水洗液浸泡3min ；2)經過步驟I)后，利用pH=8、質量分數為5%的APG洗液水溶液浸泡3min ；3)經過步驟2)后，利用純水進行沖洗，每個光學零件的沖洗時間為IOs ；4)經過步驟3)后，使用零級長絨脫脂棉蘸蒸餾丙酮在2min內完成光學零件表面的擦拭脫水。用50倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。最終成品用500倍顯微鏡檢測零件表面無附著物質。上述實施例一至三中APG洗液水溶液采用APG洗液(RQ1512)與水配制。實施例四I)利用質量分數為20%的醋酸水洗液浸泡3min ；2)經過步驟I)后，利用純水進行沖洗，每個光學零件的沖洗時間為IOs ；3)經過步驟2)后，使用零級長絨脫脂棉蘸蒸餾丙酮在2min內完成光學零件表面的擦拭脫水。用50倍顯微鏡檢測零件表面有少量附著物質。最終成品用500倍顯微鏡檢測零件表面有微少附著物對照例加工過程中不對零件進行清洗，僅進行擦拭。用50倍顯微鏡檢測零件表面有較多附著物質。最終成品用500倍顯微鏡檢測零件表面有較少附著物。
權利要求
1.一種零疵病光學零件清洗方法，其特征在于，包括以下步驟在光學零件加工過程中對光學零件進行清洗，減少輔料對拋光表面的污染，加工完成后對光學零件再進行清洗。
2.根據權利要求1所述一種零疵病光學零件清洗方法，其特征在于所述加工過程中對光學零件進行清洗包括以下步驟首先用質量分數20-40%的醋酸水溶液浸泡光學零件 3-5min，然后用純水對光學零件進行沖洗，沖洗時間為5_10s，沖洗后，用蒸餾丙酮對光學零件表面擦拭脫水。
3.根據權利要求2所述一種零疵病光學零件清洗方法，其特征在于所述加工過程中對光學零件進行清洗還包括以下步驟用純水對光學零件進行沖洗前，對醋酸水溶液浸泡后的光學零件用PH為7-8、質量分數為3-5%的APG洗液水溶液浸泡3_5min。
全文摘要
一種零疵病光學零件清洗方法，在光學零件加工過程中對光學零件進行清洗，減少輔料對拋光表面的污染，包括醋酸洗液清洗、APG洗液清洗、純水清洗、丙酮脫水四個工序，加工完成后對光學零件再進行清洗，適用于單面或多面精密光學零件每個面拋光完成后的成盤清洗，目的在于降低零件拋光后，拋光輔料對精密光學零件的附著力，減少輔料對拋光表面的污染，從而降低最終光學清洗的難度，提高光學零件的表面疵病等級。
文檔編號B08B11/00GK103008310SQ20121057511
公開日2013年4月3日 申請日期2012年12月26日 優先權日2012年12月26日
發明者崔杰, 弋建魚, 郭磊 申請人:西安北方捷瑞光電科技有限公司