專利名稱：一種高純硅烷鋼瓶清洗系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種化工設備，具體涉及一種高純硅烷鋼瓶清洗系統。
背景技術：
鋼瓶是硅烷氣體的一種主要包裝容器，一般用鋼管熱旋壓成型，內部做噴丸處理，國家規定鋼瓶要定期檢驗，檢驗方法主要是做水壓試驗。在加工或檢驗過程中，鋼瓶內部有可能存在顆粒、油污、生銹等現象，由于鋼瓶的特殊結構，目前還不能有效清潔鋼瓶內壁，這樣充入高純硅烷氣體，會造成硅烷氣體的二次污染，影響氣體純度，并存在安全隱患。 發明內容本實用新型的目的是為了克服鋼瓶對硅烷氣體的二次污染，提供了一種高純硅烷鋼瓶清洗系統。本實用新型采用的技術方案是一種高純硅烷鋼瓶清洗系統，包括去離子水儲罐、高壓泵、熱交換器、鋼瓶翻轉機、鋼瓶、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶倒置安裝在鋼瓶翻轉機上，所述去離子水儲罐通過管線與高壓泵連接，高壓泵通過管線與熱交換器連接，熱交換器通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶的鋼瓶口處，所述熱交換器與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。使用上述高純硅烷鋼瓶清洗系統進行清洗的方法，包括以下步驟(I)用內窺鏡檢查鋼瓶，確定鋼瓶內的污染狀況；(2)用鋼瓶翻轉機將鋼瓶倒置，在鋼瓶口固定有噴嘴，噴嘴與清洗管線連接；(3)根據鋼瓶內壁情況選擇相應的洗滌液，用泵加壓到5-10Bar (巴)后通過上述噴嘴噴入鋼瓶，清洗3-10分鐘；(4)將去離子水儲罐中的純水用高壓泵加壓到30_60Bar，然后送到熱交換器，加熱到50-80°C后通過上述噴嘴噴入鋼瓶再次清洗2-10分鐘；(5)然后通入純度為5. ON (當量濃度)以上的氮氣通過上述噴嘴噴入鋼瓶吹干鋼瓶內壁；(6)用內窺鏡檢查鋼瓶狀況，鋼瓶內無生銹、無油污、無顆粒等為合格。有益效果本實用新型很好地解決了鋼瓶內部對硅烷氣體的二次污染問題，可以保存5. ON的硅烷氣體，使產品更加穩定。

圖I為本實用新型的系統構成示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明[0016]如圖I所示一種高純硅烷鋼瓶清洗系統，包括去離子水儲罐I、高壓泵2、熱交換器3、鋼瓶翻轉機4、鋼瓶5、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶5倒置安裝在鋼瓶翻轉機4上，所述去離子水儲罐I通過管線與高壓泵2連接，高壓泵2通過管線與熱交換器3連接，熱交換器3通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶5的鋼瓶口處，所述熱交換器3與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾 也應視為本實用新型的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。
權利要求1.一種高純硅烷鋼瓶清洗系統，其特征在于包括去離子水儲罐、高壓泵、熱交換器、鋼瓶翻轉機、鋼瓶、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶倒置安裝在鋼瓶翻轉機上，所述去離子水儲罐通過管線與高壓泵連接，高壓泵通過管線與熱交換器連接，熱交換器通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶的鋼瓶口處，所述熱交換器與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。
專利摘要本實用新型公開了一種高純硅烷鋼瓶清洗系統包括去離子水儲罐、高壓泵、熱交換器、鋼瓶翻轉機、鋼瓶、高純氮氣進氣管、洗滌液進液管和噴嘴，所述鋼瓶倒置安裝在鋼瓶翻轉機上，所述去離子水儲罐通過管線與高壓泵連接，高壓泵通過管線與熱交換器連接，熱交換器通過管線連接至噴嘴，該噴嘴固定在所述鋼瓶的鋼瓶口處，所述熱交換器與噴嘴之間的管線上連接有高純氮氣進氣管、洗滌液進液管。本實用新型很好地解決了鋼瓶內部對硅烷氣體的二次污染問題，可以保存5.0N的硅烷氣體，使產品更加穩定。
文檔編號B08B9/28GK202498062SQ20122006190
公開日2012年10月24日 申請日期2012年2月24日 優先權日2012年2月24日
發明者何波, 尤向東, 徐昕, 鄭春寧 申請人:南京亞格泰新能源材料有限公司