一種清潔裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種清潔裝置，所述清潔裝置包括支撐體和可移動地設置在所述支撐體上的清潔部，所述清潔部上開設有用于使氣流通過的第一組氣孔，所述第一組氣孔包括多個氣孔，通過所述多個氣孔噴出的氣流以清潔所述被清潔件。通過采用上述清潔裝置設置可相對于支撐體移動的清潔部，并在清潔部上開設有第一組氣孔，在清潔被清潔件時，只需要清潔部相對于被清潔件來回移動，即可清潔所述的被清潔件，而不必在被清潔件的縱向和橫向上都移動。
【專利說明】一種清潔裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電子技術的清潔【技術領域】，尤其涉及一種清潔裝置。
【背景技術】
[0002]掩膜板被廣泛應用于微電子工藝中。為了保證成像的質量，在使用掩膜板之前，需要對掩膜板的清潔度實施了嚴格的控制，保證不會因為掩模板存在灰塵等物質，而影響到成像產生各種不良而造成重大損失。
[0003]現有技術中，通常通過操作員手拿氣槍，通過氣槍在掩膜板上來回移動氣槍，而使噴出的氣體對掩膜板進行清潔，當清潔完一片掩膜板之后，再對另一片掩膜板進行清潔。
[0004]但是上述現有技術存在如下技術問題:
[0005]因為，氣槍通常只有一噴嘴，在對掩膜板進行清潔時，需要在掩膜板的縱向和橫向上移動，因此，清潔一片掩膜板的時間較長，從而導致清潔掩膜板的速度慢，效率低。
實用新型內容
[0006]本申請提供一種清潔裝置，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低的技術問題，達到提高清潔效率的技術效果。
[0007]—種清潔裝置，用于清潔一被清潔件，所述清潔裝置包括支撐體和可移動地設置在所述支撐體上的清潔部，所述清潔部上開設有用于使氣流通過的第一組氣孔，所述第一組氣孔包括多個氣孔，通過所述多個氣孔噴出的氣流以清潔所述被清潔件。
[0008]優選地，所述第一組氣孔包括N個并列第一氣孔和P個并列第二氣孔，從所述N個第一氣孔出來的第一氣流的方向和所述P個第二氣孔出來的第二氣流的方向不同，其中N和P為大于等于I的整數。
[0009]優選地，所述第一氣孔的第一中心軸與所述第二氣孔的第二中心軸的第一夾角大于O度小于135度，其中N和P為大于等于I的整數。
[0010]優選地，所述第一夾角為45度。
[0011]優選地，所述清潔部為長條形。
[0012]優選地，所述清潔部具有弧形的端面，所述N個并列第一氣孔和P個并列第二氣孔開設于所述弧形的端面上。
[0013]優選地，所述清潔裝置還包括氣源，所述第一組氣孔與所述氣源連接，所述氣源氣壓大于大氣壓。
[0014]優選地，所述支撐體為框體狀。
[0015]優選地，所述支撐體的第一邊緣上開設有第二組氣孔，與所述第一邊緣相對的第二邊緣上開設有第三組氣孔，所述第二組氣孔和所述第三組氣孔與所述氣源連接，所述第一組氣孔位于所述第二組氣孔和所述第三組氣孔之間。
[0016]優選地，所述清潔裝置還包括設置于支撐體上的真空管。
[0017]優選地，所述清潔部上設置有距離傳感器，用于檢測所述清潔部與所述被清潔件之間的距離。
[0018]優選地，所述支撐體的第一邊緣上設置有第一限位傳感器，與所述第一邊緣相對的第二邊緣上設置有第二限位傳感器，所述第一限位傳感器和第二限位傳感器用于檢測所述清潔部移動的距離。
[0019]優選地，所述清潔裝置還包括控制面板，所述控制面板用于控制所述氣源、所述距離傳感器、所述第一限位傳感器和所述第二限位傳感器連接。
[0020]優選地，所述清潔裝置還包括用于驅動所述清潔部移動的驅動件。
[0021 ] 優選地，所述清潔裝置還包括控制面板，所述控制面板與所述氣源或/和驅動件連接。
[0022]優選地，所述驅動件包括電機、與所述電機連接的齒輪，和設置于所述清潔部上并與所述齒輪嚙合的齒條。
[0023]優選地，所述驅動件具體為汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撐體上，與第一端相對的第二端固定于所述清潔部上。
[0024]本申請有益效果如下:
[0025]通過采用上述清潔裝置設置可相對于支撐體移動的清潔部，并在清潔部上開設有第一組氣孔，在清潔被清潔件時，只需要清潔部相對于被清潔件來回移動，即可清潔所述的被清潔件，而不必在被清潔件的縱向和橫向上都移動，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低，達到提高清潔效率的技術效果。
[0026]通過將第一氣孔的第一中心軸與所述第二氣孔的第二中心軸的第一夾角設置為大于O度小于135度，即保證了從第一氣孔和第二氣孔出來的氣流能夠吹到被清潔件的表面上，且從第一氣孔中出來的氣流的第一氣流方向和從第二氣孔出來的氣流的第二氣流方向與被清潔件表面有一定的夾角，從而不僅能夠被清潔件的表面的灰塵等吹走，且更便于將被清潔件的凹槽內的灰塵等物質吹起，進一步提升被清潔件的清潔度。
[0027]通過在清潔部上設置距離傳感器，從而保證了清潔部與所述被清潔件之間的距離能夠控制在預定的距離值內。
[0028]通過在支撐體的相對兩邊緣上設置第二組氣孔和第三組氣孔，使得從第二組氣孔和第三組氣孔中出來的氣流能夠吹走停留在被清潔件邊緣的灰塵等物質,進一步清潔所述被清潔件，提高所述被清潔被清潔后的清潔度。
[0029]通過在支撐體的相對兩邊緣上設置第一限位傳感器和第二限位傳感器，用于檢測所述清潔部移動的距離，以保證所述清潔部能夠在預定的范圍內移動。
[0030]通過設置用于驅動清潔部移動的驅動件，在清潔被清潔件時，不需要操作員操作清潔部，避免發生因操作員的汗液等造成所述被清潔件再次被污染的可能。
[0031]通過設置控制面板，在清潔被清潔件時，操作員操作控制面板，即可控制清潔部清潔被清潔件，從而實現自動控制所述的清潔裝置清潔所述被清潔件。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]圖1為本申請第一較佳實施方式清潔裝置的立體示意圖；
[0033]圖2為圖1中清潔裝置的剖面示意圖。【具體實施方式】
[0034]本申請實施例通過提供一種清潔裝置，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低的技術問題，達到提高清潔效率的技術效果。
[0035]本申請實施例中的技術方案為現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低的技術問題，總體思路如下:
[0036]一種清潔裝置，包括支撐體和可移動地設置在所述支撐體上的清潔部，所述清潔部上開設有用于使氣流通過的第一組氣孔。
[0037]通過采用上述清潔裝置設置可相對于支撐體移動的清潔部，并在清潔部上開設有第一組氣孔，在清潔被清潔件時，只需要清潔部相對于被清潔件來回移動，即可清潔所述的被清潔件，而不必在被清潔件的縱向和橫向上都移動，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低，達到提高清潔效率的技術效果。
[0038]為了更好的理解上述技術方案，下面將結合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術方案進行詳細的說明。
[0039]如圖1所示，為本申請第一較佳實施方式清潔裝置100的立體圖。在本實施方式中，清潔裝置100用于清潔掩膜板，在其他實施方式中，也可以用于清潔其他電子【技術領域】內需要清潔的被清潔件。
[0040]清潔裝置100包括支撐體10和可移動地設置在所述支撐體10上的清潔部20。清潔部20上開設有用于使氣流通過的第一組氣孔21。
[0041]當采用清潔裝置100用于清潔掩膜板等被清潔件時，將被清潔件平放，然后，向第一組氣孔21里面通入氣流，清潔部20在被清潔件上來回移動，高壓氣流通過第一組氣孔21噴出，即可清潔所述被清潔件，因此，采用上述清潔裝置100后，只需要清潔部20相對于被清潔件來回移動，而不必在被清潔件的縱向和橫向上都移動，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低，達到提高清潔效率的技術效果。在本實施方式中，從第一組氣孔21吹出的氣流為清潔離子風，同時擁有去除靜電的作用。
[0042]具體地，清潔裝置100還包括與第一組氣孔21連接的氣源200，所述氣源200用于向第一組氣孔21輸入氣流,所述氣源200的氣壓大于大氣壓。
[0043]進一步地，第一組氣孔21包括N個并列第一氣孔211和P個并列第二氣孔212，從所述N個第一氣孔出來的第一氣流的方向和所述P個第二氣孔出來的第二氣流的方向不同，其中，N和P為大于等于I的整數。N個并列第一氣孔211和P個并列第二氣孔212分別設置于兩條平行的直線上。具體地，所述第一氣孔211的第一中心軸01與所述第二氣孔212的第二中心軸02的第一夾角a在O度到135度之間，即大于O度小于135度，因此，即保證了從第一氣孔211中出來的氣流和從第二氣孔212出來的氣流能夠吹到被清潔件的表面上，且從第一氣孔211出來的氣流的第一氣流方向和從第二氣孔212出來的氣流的第二氣流方向與被清潔件表面有一定的夾角，從而不僅能夠被清潔件的表面的灰塵等吹走，且更便于將被清潔件的凹槽內的灰塵等物質吹起，進一步提升被清潔件的清潔度。
[0044]優選地，所述第一夾角a為45度。通過多次實驗證明，在所述第一夾角為45度時，所述被清潔件在被清潔后的清潔度最高。
[0045]所述清潔部20上設置有距離傳感器23，用于檢測所述清潔部20與所述被清潔件之間的距離，保證清潔部20與所述被清潔件之間的距離能夠控制在預定的距離值內。當所述清潔部20與所述被清潔件距離小于或者大于預定的距離值時，所述距離傳感器23反饋檢測息。
[0046]具體地，為了減少清潔裝置100的重量，所述支撐體10設置為框體狀。所述清潔部20的兩端可移動地設置于框體上。另外，所述清潔部20為長條形，且具有弧形的端面，所述N個并列第一氣孔和P個并列第二氣孔開設于所述弧形的端面上。
[0047]支撐體10的第一邊緣11上開設有第二組氣孔112，與所述第一邊緣11相對的第二邊緣12上開設有第三組氣孔123。所述第二組氣孔112和所述第三組氣孔123均與所述氣源200連接，且所述第一組氣孔21位于所述第二組氣孔112和所述第三組氣孔123之間。使用時，從所述第二組氣孔112中出來的氣流和從所述第三組氣孔123中出來的氣流用于吹走停留在被清潔件邊緣的灰塵等物質，進一步清潔所述被清潔件，提高所述被清潔被清潔后的清潔度。
[0048]第一邊緣11上設置有第一限位傳感器111，第二邊緣12上設置有第二限位傳感器122。所述第一限位傳感器111和第二限位傳感器122用于檢測所述清潔部20移動的距離，以保證所述清潔部20能夠在預定的范圍內移動，當所述清潔部20移動超出了預定范圍時，所述第一限位傳感器111和第二限位傳感器122會反饋檢測信息。在本實施方式中，所述第一限位傳感器111和第二限位傳感器122用于監測清潔部20在支撐體10的第一邊緣11和第二邊緣12之間的移動，避免清潔部20與第一邊緣11和第二邊緣12相撞。
[0049]同時參閱圖2，清潔裝置100還包括用于驅動所述清潔部20移動的驅動件30，在清潔被清潔件時，啟動驅動件30，驅動清潔部20相對于支撐體10移動，從而在清潔被清潔件時，不需要操作員操作清潔部20，避免發生因操作員的汗液等造成所述被清潔件再次被污染的可能。
[0050]在本實施方式中，驅動件30包括電機31、齒輪33和齒條35。齒輪33與所述電機31連接，在所述電機31啟動時，所述齒輪33能夠轉動。齒條35設置于所述清潔部20上，并與所述齒輪33嚙合，在所述齒輪33轉動時，所述齒條35會相對于支撐體10移動，從而帶動清潔部20在所述支撐體10上移動。
[0051]在其他實施方式中，為了實現驅動清潔部20在所述支撐體10上移動，所述的驅動件30也可以為汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撐體10上，與第一端相對的第二端固定于所述清潔部20上，在所述汽缸啟動時，汽缸的活塞桿伸出或者縮回外筒，從而帶動清潔部20在所述支撐體10上移動。
[0052]清潔裝置100還包括控制面板40和真空管50。控制面板40與氣源200、距離傳感器23、第一限位傳感器111和第二限位傳感器122以及驅動件30連接，用于控制氣源200的打開和關閉，用于接收距離傳感器23、第一限位傳感器111和第二限位傳感器122反饋的檢測信息，用于控制驅動件30的啟動和停止。
[0053]當需要清潔被清潔件時，操作員操作控制面板40，首先，控制氣源200打開，氣流能夠從清潔部20上的N個并列第一氣孔211和P個并列第二氣孔212以及支撐體10上的第二組氣孔112和第三組氣孔123吹出，吹走停留在被清潔件上的灰塵等物質，同時，距離傳感器23檢測所述清潔部20與所述被清潔件之間的距離，當所述清潔部20與所述被清潔件距離小于或者大于預定的距離值時，所述距離傳感器23反饋檢測信息，控制面板40根據反饋的信息調整清潔部20與所述被清潔件之間的距離；然后，再控制驅動件30啟動，帶動清潔部20相對于支撐體10移動，從而清潔部20能夠相對于被清潔件來回移動，清除被清潔件表面的灰塵等物質；同時，在清潔部20來回移動的時，第一限位傳感器111和第二限位傳感器122用于檢測所述清潔部20移動的距離，當所述清潔部20移動超出了預定范圍時，所述第一限位傳感器111和第二限位傳感器122會反饋檢測信息，控制面板40根據反饋的信息調整清潔部20移動的距離，從而保證清潔部20能夠在預定的范圍內移動。
[0054]真空管50與第二組氣孔112和第三組氣孔123相對設置，用于吸走第二組氣孔112和第三組氣孔123從被清潔件邊緣吹走的灰塵等物質，防止灰塵等物質漂浮在空氣中，造成被清潔件的再次污染。在本實施方式中，真空管的上端口尺寸大于下端口，這樣不僅上端口的尺寸較大，便于吸收灰塵等物質，而且會下端口也會節省空間。
[0055]通過采用上述清潔裝置100設置可相對于支撐體10移動的清潔部20，并在清潔部上開設有第一組氣孔21，在清潔被清潔件時，只需要清潔部20相對于被清潔件來回移動，即可清潔所述的被清潔件，而不必在被清潔件的縱向和橫向上都移動，解決了現有技術中清潔掩膜板的速度慢，效率低，達到提高清潔效率的技術效果。
[0056]通過將第一氣孔211的第一中心軸01與所述第二氣孔212的第二中心軸02的第一夾角a設置為大于O度小于135度，即保證了從第一氣孔211和第二氣孔212出來的氣流能夠吹到被清潔件的表面上，且從第一氣孔211中出來的氣流的第一氣流方向和從第二氣孔212出來的氣流的第二氣流方向與被清潔件表面有一定的夾角，從而不僅能夠被清潔件的表面的灰塵等吹走，且更便于將被清潔件的凹槽內的灰塵等物質吹起，進一步提升被清潔件的清潔度。
[0057]通過在清潔部20上設置距離傳感器23，從而保證了清潔部20與所述被清潔件之間的距離能夠控制在預定的距離值內。
[0058]通過在支撐體10的相對兩邊緣上設置第二組氣孔112和第三組氣孔123，使得從第二組氣孔112和第三組氣孔123中出來的氣流能夠吹走停留在被清潔件邊緣的灰塵等物質，進一步清潔所述被清潔件，提高所述被清潔被清潔后的清潔度。
[0059]通過在支撐體10的相對兩邊緣上設置第一限位傳感器111和第二限位傳感器122，用于檢測所述清潔部20移動的距離，以保證所述清潔部20能夠在預定的范圍內移動。
[0060]通過設置用于驅動清潔部20移動的驅動件30，在清潔被清潔件時，不需要操作員操作清潔部20，避免發生因操作員的汗液等造成所述被清潔件再次被污染的可能。
[0061]通過設置控制面板40，在清潔被清潔件時，操作員操作控制面板40，即可控制清潔部20清潔被清潔件，從而實現自動控制所述的清潔裝置100清潔所述被清潔件。
[0062]盡管已描述了本實用新型的優選實施例，但本領域內的技術人員一旦得知了基本創造性概念，則可對這些實施例作出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優選實施例以及落入本實用新型范圍的所有變更和修改。
[0063]顯然，本領域的技術人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內。
【權利要求】
1.一種清潔裝置，用于清潔一被清潔件，其特征在于，所述清潔裝置包括支撐體和可移動地設置在所述支撐體上的清潔部，所述清潔部上開設有用于使氣流通過的第一組氣孔，所述第一組氣孔包括多個氣孔，通過所述多個氣孔噴出的氣流以清潔所述被清潔件。
2.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述第一組氣孔包括N個并列第一氣孔和P個并列第二氣孔，從所述N個第一氣孔出來的第一氣流的方向和所述P個第二氣孔出來的第二氣流的方向不同，其中N和P為大于等于I的整數。
3.如權利要求2所述的清潔裝置，其特征在于，所述第一氣孔的第一中心軸與所述第二氣孔的第二中心軸的第一夾角大于O度小于135度。
4.如權利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，所述第一夾角為45度。
5.如權利要求2所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部為長條形。
6.如權利要求5所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部具有弧形的端面，所述N個并列第一氣孔和P個并列第二氣孔開設于所述弧形的端面上。
7.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括氣源，所述第一組氣孔與所述氣源連接，所述氣源氣壓大于大氣壓。
8.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述支撐體為框體狀。
9.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述支撐體的第一邊緣上開設有第二組氣孔，與所述第一邊緣相對的第二邊緣上開設有第三組氣孔，所述第二組氣孔和所述第三組氣孔與所述氣源連接，所述第一組氣孔位于所述第二組氣孔和所述第三組氣孔之間。
10.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括設置于支撐體上的真空管。
11.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔部上設置有距離傳感器，用于檢測所述清潔部與所述被清潔件之間的距離。
12.如權利要求11所述的清潔裝置，其特征在于，所述支撐體的第一邊緣上設置有第一限位傳感器，與所述第一邊緣相對的第二邊緣上設置有第二限位傳感器，所述第一限位傳感器和第二限位傳感器用于檢測所述清潔部移動的距離。
13.如權利要求12所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括控制面板，所述控制面板用于控制所述氣源、所述距離傳感器、所述第一限位傳感器和所述第二限位傳感器連接。
14.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括用于驅動所述清潔部移動的驅動件。
15.如權利要求14所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括控制面板，所述控制面板與所述氣源或/和驅動件連接。
16.如權利要求14所述的清潔裝置，其特征在于，所述驅動件包括電機、與所述電機連接的齒輪，和設置于所述清潔部上并與所述齒輪嚙合的齒條。
17.如權利要求14所述的清潔裝置，其特征在于，所述驅動件具體為汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撐體上，與第一端相對的第二端固定于所述清潔部上。
【文檔編號】B08B5/02GK203578286SQ201320584928
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年9月22日 優先權日:2013年9月22日
【發明者】朱充沛, 許朝欽, 羅麗平, 路光明, 孫增標 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 北京京東方顯示技術有限公司