硅片腐前清洗機用清洗框的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種硅片腐前清洗機用清洗框，包括框體底板、側板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設有若干通孔，兩個所述側板設置在所述框體底板相對的兩側，其底部與所述框體底板固定連接，所述側板上設有若干圓孔，兩個所述擋板相對設置在所述框體底板的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個側板固定連接，所述擋板上設有若干通孔，兩個所述橫桿分別平行設于兩個所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個所述側板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿上。本實用新型結構簡單、質量輕便、容量大。
【專利說明】硅片腐前清洗機用清洗框
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及機械類【技術領域】，尤其涉及半導體硅片腐前清洗用的清洗框。
【背景技術】
[0002]隨著半導體硅片行業競爭的日益加大，產能的提升成為必然的趨勢，而目前的硅片腐前清洗機所配套的清洗框采用不銹鋼材料制造而成，質量較重，且結構單一清洗硅片時對硅片的尺寸有較多的限制，單批次清洗的硅片較少，遠遠不能滿足實際生產的需要。

【發明內容】

[0003]本實用新型要解決的問題是提供一種結構簡單、質量輕便、且單批次能夠清洗較多硅片數量的硅片的腐前清洗用清洗框。
[0004]為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是:硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:包括框體底板、側板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設有若干通孔，兩個所述側板設置在所述框體底板相對的兩偵牝其底部與所述框體底板固定連接，所述側板上設有若干圓孔，兩個所述擋板相對設置在所述框體底板的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個側板固定連接，所述擋板上設有若干通孔，兩個所述橫桿分別平行設于兩個所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個所述側板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿上。
[0005]兩排所述方孔對稱分布在所述底板上。
[0006]每排設有三個所述方孔，且三個所述方孔大小不等。
[0007]所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手設置在所述橫桿的一端，所述第二提手設置在所述橫桿的另一端，且距離橫桿端部有一定距離。
[0008]所述第二提手距離所述橫桿端部的距離為10cm-20cm。
[0009]所述第一提手和第二提手為一板狀，其兩側通過支座固定掛在所述橫桿上，其上端設有一桿，所述桿的兩端突出所述提手兩側，所述第一提手和第二提手上均設有圓形通孔。
[0010]所述側板上設有五個所述圓孔，其中上邊有兩個所述圓孔，下邊有三個所述圓孔。
[0011]所述框體底板、側板、擋板、橫桿和提手均采用PP塑料材質。
[0012]本實用新型具有的優點和積極效果是:本實用新型的硅片腐前清洗機用清洗框多處開設有孔，在保證了清洗框被抓起、放下和挪動時的平穩性的同時，大大減輕了清洗框的質量，且該清洗框每批次清洗的硅片數量較多，增加了產能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結構示意圖。
[0014]圖中:[0015]1、框體底板2、側板3、擋板4、橫桿
[0016]5、第一提手6、第二提手7、方孔8、邊緣
[0017]9、中間梁10、通孔11、圓孔12、圓形通孔
[0018]13、支座14、桿
【具體實施方式】
[0019]以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0020]如圖1所示，本實用新型的硅片腐前清洗機用清洗框，包括框體底板1、側板2、擋板3、橫桿4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框體底I上設有若干方孔7，框體底板I四邊的邊緣8和中間梁9上都均勻設有若干通孔10，兩個所述側板2設置在所述框體底板I相對的兩側，其底部與所述框體底板I固定連接，所述側板2上設有若干圓孔11，兩個所述擋板3相對設置在所述框體底板I的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板I和兩個側板2固定連接，所述擋板3上設有若干通孔10，兩個所述橫桿4分別平行設于兩個所述擋板3的上邊，其兩端分別與兩個所述側板2固定連接，所述第一提手5和第二提手6均橫跨在所述框體底板I的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿4上。
[0021 ] 兩排所述方孔7對稱分布在所述框體底板I上。
[0022]每排設有三個所述方孔7，且三個所述方孔7大小不等，其中中間的方孔7最大，兩個的方孔較小。
[0023]第一提手5設置在所述橫桿4的一端，所述第二提手6設置在所述橫桿4的另一端，且距離橫桿4端部有一定距離，第二提手6距離所述橫桿4端部的距離為5cm-15cm。
[0024]第一提手5和第二提手6為一板狀，其兩側通過支座13固定掛在所述橫桿4上，其上端設有一桿14，所述桿14的兩端突出所述提手兩側，所述第一提手5和第二提手6上均設有圓形通孔12。
[0025]所述側板2上設有五個所述圓孔11，上邊設有兩個所述圓孔11，下邊設有三個所述圓孔11。
[0026]所述框體底板1、側板2、擋板3、橫桿4和提手(包括第一提手5和第二提手6)均采用PP塑料材質。
[0027]聚丙烯(PP塑料)是繼尼龍之后發展的又一優良樹脂品種，它是一種高密度、無側鏈、高結晶必的線性聚合物，具有優良的綜合性能。未著色時呈白色半透明，蠟狀；比聚乙烯輕。透明度也較聚乙烯好，比聚乙烯剛硬。
[0028]硅片一般存放在特定的籃中，清洗時，將存放硅片的籃放到清洗框中再送到清洗機進行清洗。本實用新型的硅片腐前清洗機用清洗框一次可以盛放6籃4英寸的硅片或4籃6英寸的硅片，而之前的清洗框一次可以盛放4籃4英寸的硅片或2籃6英寸的硅片，本實用新型的清洗框一次清洗的硅片數量增多，產能增加；側板2和擋板3將盛放硅片的籃固定使不滑落出來，而且兩個側板2上開有5個圓孔11，并由兩個擋板3代替了另外兩側的側板，擋板3上分布有多個通孔，這樣可以大大減輕清洗框整體的重量，在機械手提起或放下清洗框時更加容易和安全，底板I上設有多個方孔和通孔也減輕了清洗框的重量，同時更便于殘留液體的流出；提手通過橫桿4連接在側板2上，當機械手提起清洗框時，重量通過橫桿4分布到兩個側板2上，有效地保證了清洗框的穩定，提手上設有桿14，且桿14兩端突出提手兩側，便于機械手抓起或放下清洗框。本實用新型的硅片腐前清洗機用清洗框結構簡單、質量輕便且容量較大。
[0029]以上對本實用新型的實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本實用新型的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明的實施范圍。凡依本實用新型范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內。
【權利要求】
1.硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:包括框體底板、側板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設有若干通孔，兩個所述側板設置在所述框體底板相對的兩側，其底部與所述框體底板固定連接，所述側板上設有若干圓孔，兩個所述擋板相對設置在所述框體底板的另兩側，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個側板固定連接，所述擋板上設有若干通孔，兩個所述橫桿分別平行設于兩個所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個所述側板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個所述橫桿上。
2.根據權利要求1所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:兩排所述方孔對稱分布在所述底板上。
3.根據權利要求1或2所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:每排設有三個所述方孔，且三個所述方孔大小不等。
4.根據權利要求1所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手設置在所述橫桿的一端，所述第二提手設置在所述橫桿的另一端，且距離橫桿端部有一定距離。
5.根據權利要求4所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:所述第二提手距離所述橫桿端部的距離為5cm-15cm。
6.根據權利要求4所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:所述第一提手和第二提手為一板狀，其兩側通過支座固定掛在所述橫桿上，其上端設有一桿，所述桿的兩端突出所述提手兩側，所述第一提手和第二提手上均設有圓形通孔。
7.根據權利要求1所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:所述側板上設有五個所述圓孔，其中上邊有兩個所述圓孔，下邊有三個所述圓孔。
8.根據權利要求1所述的硅片腐前清洗機用清洗框，其特征在于:所述框體底板、側板、擋板、橫桿和提手均采用PP塑料材質。
【文檔編號】B08B3/04GK203610362SQ201320803510
【公開日】2014年5月28日 申請日期:2013年12月5日 優先權日:2013年12月5日
【發明者】劉振福, 翟洪升, 嚴政先, 甄紅昌, 孫晨光 申請人:天津中環領先材料技術有限公司