保溫石英纖維軟領的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種保溫石英纖維軟領，涉及半導體制造領域，本實用新型包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布，中間層為石英纖維棉，縫紉線為石英纖維縫紉線，石英纖維棉的直徑為3～11微米，石英纖維布采用石英纖維紗制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，石英纖維布的厚度為0.2～1.0毫米。本實用新型能耐1200℃的高溫，導熱系數小，保溫效果好，保溫均勻性好，不易燃燒，使用安全；質地柔軟，容易剪裁，可以根據擴散爐管徑大小定制，施工方便；縫合牢固，使用壽命長。
【專利說明】保溫石英纖維軟領
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種保溫石英纖維軟領。
【背景技術】
[0002]保溫軟領是一種應用于半導體制造領域的保溫護套，用在擴散爐爐口處，對擴散爐起到保溫的作用。要達到高的保溫效果，且使用安全、方便，保溫軟領中所采用的保溫材料應滿足以下要求:
[0003](I)具有良好的密封性和隔熱性，當保溫材料的密封性和隔熱性較差時，爐體熱量容易散失，進而導致爐體內溫度不均勻，不僅浪費能量，還會影響襯底的擴散條件，影響半導體廣品的品質；
[0004](2)無污染:對產品無污染，對員工身體健康無影響；
[0005](3)安裝方便:減少停機更換時間，提高生產效率；
[0006](4)保溫材料的使用壽命應盡量長。
[0007]目前，公開了一種擴散爐保溫帽，此擴散爐保溫帽包括內層和外層，內層為石棉；外層為鈦合金或不銹鋼金屬，此保溫帽雖然能達到一定的保溫效果，但是內層的石棉不僅保溫均勻性較差，而且還會對人體健康造成不良影響；外層的鈦合金或不銹鋼金屬質量太大，進而使得保溫帽不易安裝、更換。
實用新型內容
[0008]本實用新型的目的是為了克服上述【背景技術】的不足，提供一種保溫石英纖維軟領，能耐1200°C的高溫，導熱系數小，保溫效果好，保溫均勻性好，不易燃燒，使用安全；質地柔軟，容易剪裁，可以根據擴散爐管徑大小定制，施工方便；縫合牢固，使用壽命長。
[0009]本實用新型提供的保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，所述內層和外層均為石英纖維布，所述中間層為石英纖維棉，所述縫紉線為石英纖維縫紉線，所述石英纖維棉的直徑為3?11微米，所述石英纖維布采用石英纖維紗制成，所述石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，所述石英纖維布的厚度為0.2?1.0毫米。
[0010]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維縫紉線采用石英纖維紗制成，所述石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液。
[0011]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維棉的直徑為5?9微米。
[0012]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維棉的直徑為7微米。
[0013]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維布的厚度為0.5?0.7毫米。
[0014]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維布的厚度為0.5毫米。
[0015]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維布的表面結構為平紋。
[0016]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維布的表面結構為斜紋。
[0017]在上述技術方案的基礎上，所述石英纖維布的表面結構為緞紋。[0018]與現有技術相比，本實用新型的優點如下:
[0019](I)本實用新型中的石英纖維布、石英纖維棉和石英纖維縫紉線均能夠耐1200°C的高溫，導熱系數小，保溫效果好，不易燃燒，使用安全，且質地柔軟，容易剪裁，可以根據擴散爐管徑的大小定制，施工方便。
[0020](2)本實用新型中石英纖維棉的直徑為3?11微米，質地蓬松、容易鋪平，能保證保溫效果的均勻性。
[0021](3)本實用新型中石英纖維布的厚度為0.2?1.0毫米，隔熱效果好，且強度高；石英纖維布的組織結構為平紋、斜紋或緞紋，表面致密，進而使得石英纖維布能夠更緊密的貼合工作面，提高石英纖維布密封性的同時更進一步的提高保溫效果。
[0022](4)本實用新型中石英纖維縫紉線采用石英纖維紗制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，涂覆的聚四氟乙烯能夠保證石英纖維縫紉線不起毛，不斷線，連接牢固，使用壽命長。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；
[0024]圖2是圖1的俯視圖。
[0025]附圖標記:1 一石英纖維布，2—石英纖維棉，3—石英纖維縫紉線。
【具體實施方式】
[0026]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步的詳細描述。
[0027]參見圖1、2所示，本實用新型實施例提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。
[0028]石英纖維棉2的直徑為3?11微米，優選為5?9微米，最佳為7微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤齊U，浸潤劑的含量為1.0±0.2%，石英纖維布I的厚度為0.2?1.0毫米，優選為0.5?0.7毫米，最佳為0.5毫米，表面結構為平紋、斜紋或緞紋。
[0029]石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為4.0±1.0%。
[0030]本實用新型的保溫石英纖維軟領的制備方法，包括如下步驟:
[0031](I)將石英纖維布I剪成相應規格后在平臺上平鋪；
[0032](2)將石英纖維棉2在石英纖維布I的下半部分上均勻展開；
[0033](3)將石英纖維布I的上半部分與下半部分重疊覆蓋住石英纖維棉2，石英纖維棉2位于石英纖維布的上下兩部分間；
[0034](4)石英纖維布I的上下部分通過石英纖維縫紉線3縫合成筒狀結構。
[0035]下面通過5個具體實施例進行詳細說明。
[0036]實施例1
[0037]參見圖1、2所示，實施例1提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。石英纖維棉2的直徑為7微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，浸潤劑的含量為1.0%，石英纖維布I的厚度為0.5毫米，表面結構為平紋；石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為3.0%。
[0038]實施例2
[0039]參見圖1、2所示，實施例2提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。石英纖維棉2的直徑為3微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，浸潤劑的含量為1.1%，石英纖維布I的厚度為0.7毫米，表面結構為斜紋；石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為
3.5%。
[0040]實施例3
[0041]參見圖1、2所示，實施例3提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。石英纖維棉2的直徑為11微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，浸潤劑的含量為0.8%，石英纖維布I的厚度為0.2毫米，表面結構為緞紋；石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為
4.0%。
[0042]實施例4
[0043]參見圖1、2所示，實施例4提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。石英纖維棉2的直徑為9微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，浸潤劑的含量為0.9%，石英纖維布I的厚度為1.0毫米，表面結構為平紋；石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為
4.5%ο
[0044]實施例5
[0045]參見圖1、2所示，實施例5提供一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，內層和外層均為石英纖維布1，中間層為石英纖維棉2，縫紉線為石英纖維縫紉線3。石英纖維棉2的直徑為5微米；石英纖維布I采用連續的石英纖維紗通過箭桿織機織造制成，石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，浸潤劑的含量為1.2%，石英纖維布I的厚度為0.9毫米，表面結構為斜紋；石英纖維縫紉線3采用連續的石英纖維紗通過繞線機卷繞制成，石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液，在卷繞過程中，繞線機予以石英纖維紗一定的張力，石英纖維縫紉線3中可燃物的含量為
5.0%。
[0046]本領域的技術人員可以對本實用新型實施例進行各種修改和變型，倘若這些修改和變型屬在本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則這些修改和變型也在本實用新型的保護范圍之內。
[0047]說明書中未詳細描述的內容為本領域技術人員公知的現有技術。
【權利要求】
1.一種保溫石英纖維軟領，包括內層、中間層、外層和縫紉線，內層和外層通過縫紉線縫合成筒狀結構，其特征在于:所述內層和外層均為石英纖維布(I)，所述中間層為石英纖維棉(2)，所述縫紉線為石英纖維縫紉線(3)，所述石英纖維棉(2)的直徑為3?11微米，所述石英纖維布(I)采用石英纖維紗制成，所述石英纖維紗的表面浸有環氧型浸潤劑，所述石英纖維布(I)的厚度為0.2?1.0毫米。
2.如權利要求1所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維縫紉線(3)采用石英纖維紗制成，所述石英纖維紗的表面涂覆有聚四氟乙烯乳液。
3.如權利要求1所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維棉(2)的直徑為5?9微米。
4.如權利要求3所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維棉(2)的直徑為7微米。
5.如權利要求1至4中任一項所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維布(I)的厚度為0.5?0.7毫米。
6.如權利要求5所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維布(I)的厚度為0.5暈米。
7.如權利要求1至4中任一項所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維布(I)的表面結構為平紋。
8.如權利要求1至4中任一項所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維布(I)的表面結構為斜紋。
9.如權利要求1至4中任一項所述的保溫石英纖維軟領，其特征在于:所述石英纖維布(I)的表面結構為緞紋。
【文檔編號】D03D15/00GK203418805SQ201320503543
【公開日】2014年2月5日 申請日期:2013年8月16日 優先權日:2013年8月16日
【發明者】陳宜平, 楊國義, 馮嚴嚴, 蔣銘 申請人:武漢鑫友泰光電科技有限公司