專利名稱：線切割機硅片收集槽的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于一種單晶硅生產過程中使用的線切割 機硅片收集槽。
背景技術：
在單晶硅生產過程中需要通過線切割機將硅棒切成硅 片，切割后的硅片落入硅片收集槽中。在硅片下落至收集槽 時會產生相互擠壓、重疊，拾取時極易導致硅片破損。 發明內容
本實用新型的目的是要解決現有技術存在的上述問題， 提供一種可防止硅片下落后擠壓、重疊，確保撿取時硅片完 好無損的線切割機硅片收集槽。
本實用新型是這樣實現的它有一個槽體，在槽體兩個 端面設有扶手，其特殊之處是在槽體內放置有支架，在支 架上部設置有橫向隔筋，在支架下部設置有縱向支撐筋。
本實用新型的優點是通過設置在收集槽中的支架，可 使被切割的硅片沿二個相鄰的橫向隔筋之間落入支架中并 通過縱向支撐筋支撐，降低硅片下落高度，防止硅片擠壓、 重疊、平落，確保硅片完好無損，并且方便撿取。

圖1是本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖所示，本實用新型有一個槽體l，槽體l一端為活 動門結構，在槽體1兩個端面上設有扶手2，以便于取出單 晶硅片。在槽體1內放置有支架3，在支架3上部沿水平方
向設置有橫向隔筋4，在支架3下部沿水平方向設置有縱向 支撐筋5。
權利要求1、一種線切割機硅片收集槽，包括一個槽體，在槽體兩個端面設有扶手，其特征是在槽體內放置有支架，在支架上部設置有橫向隔筋，在支架下部設置有縱向支撐筋。
專利摘要一種線切割機硅片收集槽，解決了在單晶硅生產過程中將硅棒進行線切割時硅片落入硅片收集槽中會產生相互擠壓、重疊，拾取時極易導致硅片破損的問題。它有一個槽體，在槽體兩個端面設有扶手，其特殊之處是在槽體內放置有支架，在支架上部設置有橫向隔筋，在支架下部設置有縱向支撐筋。優點是可防止硅片下落后擠壓、重疊，確保撿取時硅片完好無損。
文檔編號B28D5/04GK201325127SQ200820232270
公開日2009年10月14日 申請日期2008年12月25日 優先權日2008年12月25日
發明者馬軍正 申請人:錦州日鑫硅材料有限公司