專利名稱：一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種陶瓷零部件的清洗方法，尤其涉及一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體和太陽(yáng)能高科技行業(yè)中，當(dāng)設(shè)備做完例行性保養(yǎng)后，會(huì)卸下一定數(shù)量的陶瓷材質(zhì)零部件，該零部件上附著了許多聚合物及污染物需要清洗才可再次使用。在一般情況下，這些卸下的陶瓷零部件只需使用酸液就可以清洗干凈的目的；但仍有些陶瓷零部件因制程特殊，使用藥液清洗后，其表面仍會(huì)留有少許黃斑或暗斑，這些痕跡如果不清除的話，上機(jī)后會(huì)發(fā)生異常，容易造成機(jī)臺(tái)穩(wěn)定度不佳，甚至?xí)p傷產(chǎn)品這最不良的結(jié)果產(chǎn)生。因此，如何去除這 些殘留痕跡本領(lǐng)域技術(shù)人員致力于解決的難題之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，就是針對(duì)上述問(wèn)題而提供一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，該清洗方法能夠有效的去除陶瓷零部件表面難以去除的聚合物及污染物。使產(chǎn)品變得更加潔白艷質(zhì)。本發(fā)明為達(dá)目的所采用的技術(shù)方案是:本發(fā)明的一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，包括以下步驟:先將陶瓷零部件放入化學(xué)液中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在300-900°C的溫度條件下，高溫焙燒I至12小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。上述的一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，其中，所述化學(xué)液為酸液、堿液或有機(jī)溶液。上述的一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，其中，所述酸液為氟氫酸，所述堿液為氫氧化鉀，所述有機(jī)溶液為異丙醇。本發(fā)明清洗方法具有以下優(yōu)點(diǎn):1.能夠有效的去除陶瓷零部件表面難以去除的聚合物及污染物，使產(chǎn)品變得更加潔白艷質(zhì)；2.是利用熱對(duì)陶瓷零部件進(jìn)行清洗，過(guò)程中沒(méi)有施加任何外力，所以完全不會(huì)損傷零部件。可有效的延長(zhǎng)零部件的使用壽命；3.大量減少高濃度化學(xué)藥液的使用，對(duì)原料使用成本降低有明顯幫助；4.由于化學(xué)藥液使用量降低，相對(duì)也降低化學(xué)廢液的產(chǎn)生，對(duì)于降低污水的處理成本與其他環(huán)保成本的支出，具有既有效又正面的幫助。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述:實(shí)施例1先將待清洗陶瓷零部件放入酸液(氟氫酸)中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在600°C的溫度條件下，高溫焙燒8小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。實(shí)施例2先將待清洗陶瓷零部件放入堿液(氫氧化鉀)中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在700°C的溫度條件下，高溫焙燒7小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。實(shí)施例3先將待清洗陶瓷零部件放入有機(jī)溶液(異丙醇)中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在800°C的溫度條件下，高溫焙燒6小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。實(shí)施例4先將待清洗陶瓷零部件放入堿液(氫氧化鉀)中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在500°C的溫度條件下，高溫焙燒10小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。實(shí)施例5先將待清洗陶瓷零部件放入有機(jī)溶液(異丙醇)中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在500°C的溫度條件下，高溫焙燒11小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。以上實(shí)施例僅供說(shuō)明本發(fā)明之用，而非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應(yīng)該屬于本發(fā)明的范疇，應(yīng)由各權(quán)利要 求所限定。
權(quán)利要求
1.一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，其特征在于，包括以下步驟: 先將陶瓷零部件放入化學(xué)液中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在300-900°C的溫度條件下，高溫焙燒I至12小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。
2.按權(quán)利要求1所 述的一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，其特征在于，所述化學(xué)液為酸液、堿液或有機(jī)溶液。
3.按權(quán)利要求2所述的一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，其特征在于，所述酸液為氟氫酸，所述堿液為氫氧化鉀，所述有機(jī)溶液為異丙醇。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于陶瓷零部件的高溫焙燒清洗方法，包括以下步驟先將陶瓷零部件放入化學(xué)液中浸泡，待將主要附著物去除后，取出陶瓷零部件并置于高溫烘箱裝置中，在300-900℃的溫度條件下，高溫焙燒1至12小時(shí)，完成高溫焙燒的陶瓷零部件再經(jīng)由酸液清洗將高溫焙燒出的細(xì)部附著物去除。本發(fā)明方法能夠有效的去除陶瓷零部件表面難以去除的聚合物及污染物，使產(chǎn)品變得更加潔白艷質(zhì)；利用熱對(duì)陶瓷零部件進(jìn)行清洗，過(guò)程中沒(méi)有施加任何外力，所以完全不會(huì)損傷零部件。可有效的延長(zhǎng)零部件的使用壽命；大量減少高濃度化學(xué)藥液的使用，對(duì)原料使用成本降低有明顯幫助；對(duì)于降低污水的處理成本與其他環(huán)保成本的支出，具有既有效又正面的幫助。
文檔編號(hào)C04B41/91GK103086723SQ20111034002
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者吳志君 申請(qǐng)人:上海科秉電子科技有限公司, 科治新技股份有限公司