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線形切割機的導輪的線槽結構的制作方法

文檔序號:1853371閱讀:270來源:國知局
專利名稱:線形切割機的導輪的線槽結構的制作方法
技術領域
本發明涉及一種導輪結構,尤指一種線形切割機的導輪結構。
背景技術
太陽能電池目前主要分為結晶硅太陽能電池及非晶硅太陽能電池,其中結晶硅太陽能電池的硅芯片是由硅晶碇切片而來。硅晶碇切片制做硅晶圓的常見方法是利用線形切割機進行自由磨粒的切削作業,例如線形切割機通常包括可旋轉的兩個導輪及裝配在導輪的平行導槽上的線材,使形成多段的并行線鋸;而在切削作業時將內含切削粉(如碳化硅等)的切削液澆注于并行線鋸上,此時利用馬達等牽動并行線鋸使切削粉與硅晶錠接觸磨擦而產生切割,以將硅晶碇切成均勻薄片。但為了提高硅晶碇切片的切削速率,前述導輪的長度日益提升,而導致線槽因 CNC(數控機床)加工的問題而出現不一致型態。如,如圖1所示,CNC車床刀具由導輪11 的入線端111處開始進行線槽加工,當加工至出線端112處時,會因車刀磨損導致出線端 112的線槽出現偏心(如圖3所示)、毛邊、突起、不對稱等問題,而有別于圖2所示之正V 形的線槽型態。因此,當應用于切削作業時,在出線端112處的線材會因線損而形成較小的線徑,而較小線徑的線材容易因出線端112的較差的線槽而產生諸多問題,例如,線材的晃動程度加劇,使所切割的芯片產生波浪狀,甚至出現因線材的跳溝所導致的厚度不一致的芯片切片;也可能造成切削作業的線材搭線、斷線的問題,均使得芯片切片的良率下降。

發明內容
為了克服上述缺陷,本發明提供了一種線形切割機的導輪的線槽結構,該線形切割機的導輪的線槽結構能夠有效補償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進而提高晶圓切片的良率。本發明為了解決其技術問題所采用的技術方案是一種線形切割機的導輪的線槽結構,所述導輪具有相對的一個入線端和一個出線端,所述導輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開設有若干平行的環形的線槽, 線形切割機的線材沿所述環形的線槽纏繞于相鄰導輪之間形成若干條平行切線,若干環形的線槽之中靠近所述出線端的環形的線槽為第一線槽,所述第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開口的寬度與所述線材直徑(指線材初始直徑)相同。本發明為了解決其技術問題所采用的進一步技術方案是較佳地,所述U型槽的槽底面為圓弧形。較佳地,所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。較佳地,若干環形的線槽之中十分之一至二分之一的線槽且靠近所述出線端的線槽為所述第一線槽。較佳地,所有所述線槽之中除所述第一線槽之外的其余線槽為正V型線槽,每個正V型線槽具有槽底面和相對的兩槽壁,所述正V型線槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一,每個正V型線槽的相對的兩槽壁的夾角為30°至75°,每個所述正V型線槽的槽深為為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。較佳地,也可以所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結構。較佳地,相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1mm。較佳地,所有環形的線槽為等間距排布。本發明的有益效果是本發明提供了一種線形切割機的導輪的線槽結構,靠近出線端的第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽, 所述弧型槽上端開口的寬度與線材初始直徑相同,線材由弧型槽上端開口進入U型槽內, 由于U型槽上端為弧型槽且弧型槽上端開口的寬度與線材直徑相同,因此與傳統大口的U 型槽和V型槽相比,本發明的第一線槽的開口較小,能避免線材跳線等,弧型槽更能有效減緩線材晃動等,綜上,本發明可以有效補償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進而提高晶圓切片的良率,并延長導輪的使用壽命,進而達到節省成本的目的。


圖1是傳統的導輪的示意圖;圖2是傳統的導輪在入線端的線槽(即圖1中A部的線槽)的示意圖;圖3是傳統的導輪在出線端的線槽(即圖1中B部的線槽)的示意圖;圖4是本發明的導輪的示意圖;圖5是本發明的導輪在出線端的線槽(即圖4中C部的線槽,也是本發明所述的第一線槽)的示意圖。
具體實施例方式實施例一種線形切割機的導輪的線槽結構,所述導輪11具有相對的一個入線端 111和一個出線端112,所述導輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開設有若干平行的環形的線槽12,線形切割機的線材2沿所述環形的線槽纏繞于相鄰導輪之間形成若干條平行切線,若干環形的線槽之中靠近所述出線端的環形的線槽為第一線槽121,所述第一線槽由U型槽1211和弧型槽1212 —體連接構成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開口 1213的寬度與所述線材2直徑(指線材初始直徑)相同。所述U型槽的槽底面為圓弧形。所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結構。相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1_。所有環形的線槽為等間距排布。以上所述僅為本發明的較佳可行實施例,非因此局限本發明的專利范圍,故舉凡運用本發明說明書及圖示內容所為的等效技術變化,均包含于本發明的范圍內。
權利要求
1.一種線形切割機的導輪的線槽結構,所述導輪(11)具有相對的一個入線端(111)和一個出線端(112),所述導輪上位于所述入線端和所述出線端之間的部位開設有若干平行的環形的線槽(12),線形切割機的線材(2)沿所述環形的線槽纏繞于相鄰導輪之間形成若干條平行切線,其特征在于若干環形的線槽之中靠近所述出線端的環形的線槽為第一線槽(121),所述第一線槽由U型槽(1211)和弧型槽(121 —體連接構成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開口(121 的寬度與所述線材O)的直徑相同。
2.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于所述U型槽的槽底面為圓弧形。
3.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于所述第一線槽的槽深為所述線材直徑的1. 5倍至3倍。
4.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于若干環形的線槽之中十分之一至二分之一的線槽且靠近所述出線端的線槽為所述第一線槽。
5.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于所有所述線槽之中除所述第一線槽之外的其余線槽為正V型線槽,每個正V型線槽具有槽底面和相對的兩槽壁,所述正V型線槽的槽底面為平面狀和圓弧狀兩者之一,每個正V型線槽的相對的兩槽壁的夾角為30°至75°,每個所述正V型線槽的槽深為為所述線材直徑的1.5倍至3倍。
6.根據權利要求1至4之一所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于所有所述線槽皆具有與所述第一線槽相同的結構。
7.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于相鄰兩線槽的間距為0. 2mm至1mm。
8.根據權利要求1所述的線形切割機的導輪的線槽結構,其特征在于所有環形的線槽為等間距排布。
全文摘要
本發明公開了一種線形切割機的導輪的線槽結構,靠近出線端的第一線槽由U型槽和弧型槽一體連接構成,所述U型槽上端一體成型出所述弧型槽,所述弧型槽上端開口的寬度與線材初始直徑相同,線材由弧型槽上端開口進入U型槽內,與傳統大口的U型槽和V型槽相比,本發明的第一線槽的開口較小,能避免線材跳線等,弧型槽更能有效減緩線材晃動等,綜上,本發明可以有效補償在出線端的因線損而形成小線徑的線材,進而提高晶圓切片的良率,并延長導輪的使用壽命,進而達到節省成本的目的。
文檔編號B28D7/00GK102501324SQ20111034248
公開日2012年6月20日 申請日期2011年11月3日 優先權日2011年11月3日
發明者薛東妹 申請人:昆山翰輝電子科技有限公司
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