專利名稱：超薄面板制造系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種將諸如顯示面板的面板蝕刻(薄化)為超薄板的技木，更詳細來講，涉及一種減少在玻璃基板上形成發光元件并以封裝玻璃基板進行封裝エ藝的顯示面板的厚度，以蝕刻為超薄板的技木。
背景技術：
使顯示面板的整體厚度變得更薄，以實現輕薄短小的薄化加工主要通過利用蝕刻溶液蝕刻由玻璃基板構成的面板而進行。超薄型顯示面板的蝕刻方式有浸潰(dip)方式、噴射方式以及下降流(down flow)方式，為了得到超薄 型的大面積面板，適合應用不良率低、便于批量生產的下降流方式。但是，隨著面板面積日益變大，以及在進行薄化的工程中要求使這種大面積面板整體以均勻的表面維持透明性，需要構成更加細致的蝕刻條件，而且在將大面積面板加工為超薄型面板的エ藝中，還需要采取措施減少由脆弱性導致的產生劃痕或者損壞的危險。

發明內容
因此，本發明的目的在于提供一種在對大面積顯示面板進行超薄化時，可確保面板整體表面的表面均勻性、厚度均勻性、透明性，可以增強抗損能力的超薄面板制造系統。本發明可提供一種超薄面板制造系統，其特征在于，包含如下步驟在堿性溶液中初歩洗滌顯示面板；豎直地放置完成所述初步洗滌的顯示面板，使包含F+離子的蝕刻溶液流過，以進行使厚度變薄的蝕刻；最終洗滌完成所述蝕刻的顯示面板；檢查完成所述最終洗滌的顯示面板的表面；測量完成所述表面檢查的顯示面板的厚度；以及在完成所述厚度測量的顯示面板上附著保護薄膜。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，在所述初步洗滌步驟之后，在所述顯示面板的一個面上附著掩膜，以在所述蝕刻步驟中進行僅對顯示面板的單個面進行蝕刻的單面蝕刻；以及在蝕刻步驟和最終洗滌步驟之間還包含浸泡在水中以剝離所述掩膜的步驟。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在干，在所述單面蝕刻中，針對單面附著有所述掩膜的兩個顯示面板，相互接合附著有所述掩膜的表面，以使兩個顯示面板同時進行單面蝕刻。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，所述最終洗滌的步驟包含用蒸餾水噴射洗滌顯示面板的步驟。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，所述檢查顯示面板的表面的步驟包含使用影像來檢查是否有劃痕的步驟。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，所述測量顯示面板的厚度的步驟中，通過利用激光束的自動測量厚度裝置來以非接觸方式測量顯示面板的厚度，并用真空吸盤將所述顯示面板緊貼在工作臺來進行測量。
并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，所述在顯示面板上附著保護薄膜的步驟包含，將涂覆有粘結劑的、3至30 i! m厚度的透明樹脂薄膜附著在顯示面板的單面或者雙面的步驟。并且，本發明可提供一種超薄面板制造系統，該超薄面板制造系統的特征在于，所述蝕刻的步驟包含，針對顯示面板的厚度的蝕刻速度以21 u m/分為上限，以控制表面粗糙度的步驟。根據本發明，可調節蝕刻速度來對大面積顯示面板的整個表面以均勻的粗糙度進行超薄化，并且蝕刻之后還可以維持由玻璃基板形成的面板的透明度。
并且，根據本發明，利用掩膜，同時對兩個顯示面板簡單地進行單面蝕刻，因此便于進行批量生產。并且，根據本發明，用影像檢查被蝕刻的顯示面板表面上是否發生劃痕等缺陷，并且以非接觸方式測量顯示面板的厚度，因此可無需顧慮超薄化的顯示面板被損壞而完成質
量檢查。并且，根據本發明，在被蝕刻的顯示面板的單面或者雙面上附著保護薄膜，因此可以增補超薄型面板的抗損能力。


圖I是示出本發明的一實施例的流程圖；圖2是示出本發明的另一實施例的流程圖；圖3是示出根據本發明的實施例的下降流方式的蝕刻工藝的剖視圖；圖4是根據本發明的實施例以非接觸方式測量顯示面板的厚度的自動測量厚度裝置的剖視結構圖；圖5是示出根據本發明的實施例在顯示面板上附著保護薄膜的剖視圖；圖6是示出根據本發明的實施例在顯示面板上附著掩膜，并對兩個面板同時進行蝕刻的剖視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖來詳細說明本發明的優選實施例。首先，用堿性溶液初步洗滌顯示面板。初步洗滌為，在pH為12至13、溫度在50°C左右的堿性溶液中浸泡幾分鐘，準備兩個溶液槽，用以實施兩次上述浸泡。將顯示面板裝載到夾具上，在堿性溶液中浸泡兩次之后，利用蒸餾水(DI water)，以噴射壓力0. 4±0. Ikgf/cm2進行噴射洗滌。這樣的初步洗滌清除殘留在顯示面板的雜質，以有利于改善稍后進行的蝕刻工藝中面板的蝕刻均勻性以及表面的粗糙度。如圖3所示，結束初期蝕刻之后，在顯示面板上使蝕刻溶液從面板的上部流到下部，以對整個表面均勻地進行薄化的下降流方式蝕刻顯示面板。蝕刻溶液使用諸如氟酸(HF)的包含F+的強酸溶液，當溶液的濃度較高時蝕刻速度加快，生產率較高，但是存在面板表面的粗糙度變差，產生斑紋的問題。相反地，蝕刻速度變慢時，表面粗糙度有改善，但是生產率變低。因此，優選地在無損于顯示面板的透明度的范圍內，以最大程度的蝕刻速度進行蝕刻。本發明中，將蝕刻速度設定在10至21 y m/分以下，優選設定在16 μ m/分以下，用以進行蝕刻，在這樣的蝕刻速度下，被蝕刻的面板表面的粗糙度良好。其次，在蝕刻裝置中使非蝕刻溶液的蒸餾水流過殘留著強酸溶液的顯示面板，用以洗去強酸溶液，然后進行最終洗滌。將所述顯示面板在蒸餾水中進行首次浸潰，浸潰時間為10分鐘以內，然后再次在新的蒸餾水中進行二次浸潰，時間為10分鐘以內，用以稀釋強酸溶液成分。其次，將顯示面板裝載到傳送帶，在水平傳送的同時由噴嘴用蒸餾水以噴射的形式洗滌整體顯示面板。蒸餾水的溫度為45±5°C，洗滌時間為10分鐘左右，噴嘴的噴射壓力為I. 5±0. 5kgf/cm2,玻璃基板的傳送速度為I. 5至2. 5m/min,優選2. Om/min,干燥區間的壓カ為3至5Kpa,優選4Kpa。
顯示面板在蝕刻前厚度為I. O至I. 4mm,但是蝕刻之后厚度為O. 4至O. 8mm,蝕刻之后需要檢查顯示面板的表面是否有劃痕等。若顯示面板有劃痕，則以不合格品處理，這是因為，劃痕會在以后的模塊化工藝等中引起附加問題，最終引起產品不良，導致廢棄投入較多精力和費用的產品，因此有必要事先進行篩選。由此，本發明通過影像(vision)來檢查顯示面板整體表面，以檢查是否有劃痕。即使沒有劃痕，也有必要檢查在整體面積上顯示面板的厚度是否被均勻地蝕刻。這是因為當厚度沒有達到原來計劃的水平時，需要再蝕刻或者廢棄。因此，本發明中測量被蝕刻的顯示面板的厚度，篩選出超過允許公差±15μπι的面板。已蝕刻為超薄板的顯示面板非常脆弱，當使用作為一般的接觸式測量器的千分尺等時，在測量エ藝中會出現較高的損壞率，因此用非接觸式自動測量厚度裝置測量厚度。本申請的發明人提出的自動測量厚度裝置由圖4所示。考慮到大面積超薄板的特點，將顯示面板緊貼在工作臺，不過使用損壞危險較小的真空吸盤(vacuum chuck)(圖4的上方部分)。用真空泵通過開鑿在工作臺的氣孔來吸附顯示面板，在多個地點照射激光束，以測量顯示面板的厚度d。如圖4所示，直接測量出的距離為從激光束發生器到顯示面板的表面的距離％以及Iv但是從預先輸入于計算機的、上下布置的激光束發生器之間的距離D中減掉測量出的％以及Iv從而可以測量顯示面板的厚度d。該自動測量厚度系統使激光束照射部和計算機聯動，用以自動計算顯示面板的厚度山并將結果值顯示到監視器，從而可便利地使用。結束如上エ藝的超薄顯示面板隨后將進行切割加工等，屆時因其脆弱性，損壞率較高。因此，如圖5所示，作為可以彌補脆弱性(S卩，增強強度)的措施，附著保護薄膜。即，將在厚度為3至30 μ m(優選5至15 μ m)的樹脂薄膜上涂覆10 μ m左右的粘結劑的保護薄膜，附著在顯示面板的單面或者雙面，從而用現有的切割機進行切割時能夠減少產生劃痕或損壞的危險。樹脂由聚對苯ニ甲酸こニ醇酯(PET polyethylene terephthalate)、聚こ烯(PE :polyethylene)、聚丙烯(PP :polypropylene)、聚烯烴(PO polyolefine)中的某一個構成。所述保護薄膜是透明的，因此附著薄膜狀態的產品可以出貨。通過這樣的超薄面板制造系統，大面積顯示面板的整體表面具有均勻的粗糙度和厚度，沒有因劃痕導致的缺陷，并且能夠以高生產率制造提高抗損能力的超薄面板。如圖2所示，本發明的另ー實施例為對顯示面板的單面進行蝕刻。
S卩，根據情況僅在顯示面板的單個面上進行蝕刻，此時，作為防止另一表面被蝕刻的方案，有多種形成保護層的方法，但是考慮到效果的確定性和制造成本，本發明在不需要蝕刻的表面上附著掩膜。掩膜的材質可采用聚氯乙烯(PVC polyvinyl chloride)、聚烯烴(PO polyolefine)、聚乙烯(PE polyethylene)以及聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET polyethylene terephthalate)中的某一個,在掩膜的單面上涂覆有粘結劑。掩膜的厚度在80 u m左右時有利于穩定地附著以及容易剝尚。如圖6所示，單面蝕刻時為了提高生產效率，相互接合附著有掩膜的兩個顯示面板的掩模附著表面而固定在一個夾具上，從而一次蝕刻兩 個顯不面板。蝕刻之后，在50°C左右的蒸餾水中浸泡數分鐘，則容易剝離掩膜。之后，實施與上述的步驟相同的表面檢查工藝、厚度測量以及保護薄膜附著等。據此，大面積顯示面板的超薄化工藝既可以維持表面粗糙度、透明度等方面的高質量，同時具有高生產率。本發明的權利不限于上述進行說明的實施例，由權利要求書記載的內容來定義，此外擁有本發明領域的通常知識的技術人員在權利要求書所記載的權利范圍內可進行各種變形和改良是顯然的。
權利要求
1.一種超薄面板制造系統，其特征在于，包含如下步驟 在堿性溶液中初歩洗滌顯示面板； 豎直地放置完成所述初步洗滌的顯示面板，使包含F+離子的蝕刻溶液流過，以進行使厚度變薄的蝕刻； 最終洗滌完成所述蝕刻的顯示面板； 檢查完成所述最終洗滌的顯示面板的表面； 測量完成所述表面檢查的顯示面板的厚度；以及 在完成所述厚度測量的顯示面板上附著保護薄膜， 其中，所述蝕刻步驟中，控制顯示面板的厚度蝕刻速度，用以控制表面粗糙度。
2.根據權利要求I所述的超薄面板制造系統，其特征在于，在所述初步洗滌步驟之后，在所述顯示面板的一個面上附著掩膜，以在所述蝕刻步驟中進行僅對顯示面板的單個面進行蝕刻的單面蝕刻；在蝕刻步驟和最終洗滌步驟之間還包含將所述掩膜浸泡在水中進行剝離的步驟。
3.根據權利要求2所述的超薄面板制造系統，其特征在于，在所述單面蝕刻中，針對單面附著有所述掩膜的兩個顯示面板，相互接合附著有所述掩膜的表面，以使兩個顯示面板
4.根據權利要求I或者3所述的超薄面板制造系統，其特征在于，所述最終洗滌的步驟中用蒸餾水噴射洗滌顯示面板。
5.根據權利要求I或者3所述的超薄面板制造系統，其特征在于，所述檢查顯示面板的表面的步驟中使用影像來檢查是否有劃痕。
6.根據權利要求5所述的超薄面板制造系統，其特征在于，所述測量顯示面板的厚度的步驟中，通過利用激光束的自動測量厚度裝置來以非接觸方式測量顯示面板的厚度，并用真空吸盤將所述顯示面板緊貼在工作臺來進行測量。
7.根據權利要求6所述的超薄面板制造系統，其特征在于，所述在顯示面板上附著保護薄膜的步驟中，將涂覆有粘結劑的、3至30 μ m厚度的透明樹脂薄膜附著在顯示面板的單面或者雙面上。
8.根據權利要求I所述的超薄面板制造系統，其特征在于，所述蝕刻的步驟中，針對顯示面板的厚度的蝕刻速度以21 μ m/分為上限，以控制表面粗糙度。
全文摘要
本發明涉及一種將諸如顯示面板的面板蝕刻為超薄板的技術，用于使大面積面板具有良好的表面粗糙度、厚度均勻性、透明性，同時適于生產。本發明提供一種超薄面板制造系統，在堿性溶液中初步洗滌顯示面板，將16μm/分作為蝕刻速度的上限，以下降流方式進行蝕刻，以使具有良好的表面粗糙度，最終洗滌之后用影像檢查表面，以非接觸方式檢查厚度，為了彌補脆弱性附著保護薄膜，然后進行后續的工藝。
文檔編號C03C15/00GK102674698SQ201110391330
公開日2012年9月19日 申請日期2011年11月25日 優先權日2011年3月14日
發明者姜東昊, 黃龍云 申請人:諾發光電股份有限公司