專利名稱：鋸切裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于鋸切硅塊的鋸切裝置。本發明還涉及一種用于鋸切硅塊的方法。
背景技術：
在晶片生產的加工工藝中存在著下述工藝步驟，即在該步驟中必需從硅塊中切割出柱。為此例如使用線鋸/金屬絲鋸。在線鋸工作時線鋸會磨損，這時不時地可能導致鋸線/金屬絲斷裂。因此不斷存在改善這種線鋸的需求。

發明內容
本發明的目的是，改善一種用于鋸切硅塊的鋸切裝置。這個目的通過一種用于鋸切硅塊的鋸切裝置得以實現，該鋸切裝置包括至少一個用于鋸切硅塊的鋸線，所述鋸線在基本狀態中在縱向上延伸，通過至少一個導向裝置在預先給定的、具有多個鋸線回環的鋸線場域中被引導并且能利用卷繞-張緊裝置在分段地/局部地與鋸線的縱向一致的運動方向上以一鋸線速度來運動，其中鋸線場域包括兩個子場域，其中第一子場域通過鋸線的第一部段形成，而第二子場域通過鋸線的第二部段形成，其中所述部段構造成在縱向上分別簡單地相關/連續(zusammenMngend )且在基本狀態中無重疊。本發明的核心在于，將線鋸的鋸線場域分成兩個順次接續的子場域，其中每個子場域的鋸線構造成與另一子場域的鋸線無重疊且簡單相關。已知，由此一方面能夠簡化鋸線場域的敷設，另一方面能減少鋸線場域內的不同鋸線張力。通過使每個子場域包括多個鋸線回環、尤其是至少兩個、尤其是至少三個、尤其是至少四個、尤其是至少五個、尤其是至少六個、尤其是至少七個、尤其是至少八個鋸線回環，利用按照本發明的鋸切裝置可以將硅塊有效地鋸割成多個尤其具有一致橫截面的柱。所述鋸線回環分別包括一切割區域和一轉向區域。在切割區域中第一子場域分段地橫向于、尤其垂直于第二子場域。在此，每個子場域的各個切割段分別相互平行地延伸。由此能夠鋸割具有方形橫截面的柱。在轉向區域中第一子場域分段地橫向于、尤其垂直于第二子場域。從一個鋸線回環到下一鋸線回環的鋸線導向以最小可能的轉向角實現，該最小可能的轉向角由鋸線引導輪的軸線間距和鋸線引導輪相互間的間距來確定。所述鋸切裝置優選具有一用于控制鋸線張力的控制裝置。替代地或附加地也可以利用控制裝置控制鋸線速度、尤其兩個子場域中的鋸線速度。該控制裝置具有至少一個張力控制單元。這個張力控制單元也稱為伸張器。所述控制裝置優選具有至少兩個、尤其至少三個伸張器。優選地，至少一個伸張器設置在鋸線場域的兩個子場域之間的區域中。換言之，所述控制裝置包括至少一個與位于子場域之間的區域中的鋸線處于作用連接的張力 控制單元。由此能夠通過控制位于兩個子場域之間的區域中的鋸線張力和/或通過控制在所述子場域的一個或兩個中、尤其在在后運行/隨動的子場域中的鋸線速度，使所述鋸線在兩個子場域中、即在整個鋸線場域中以預先給定的張力張緊。由此一方面可以改善鋸切工藝，另一方面還可以由此提高鋸線耐久性。所述伸張器分別具有用于使鋸線橫向于運動方向偏轉的活動部件。這個部件優選構造成以可轉動的方式支承的頂壓輪或轉向輪。借助于這個部件能夠以簡單的方式非常靈活地控制鋸線中的張力。為了產生預張力，尤其設有一馬達、尤其是一電動機，該電動機以預先給定的轉矩作用在用于設置頂壓輪或轉向輪的杠桿臂上。優選可以調整由電動機產生的轉矩。所述張力控制部件本身可以以可調整的預張力彈性地支承。這易于使兩個子場域中的鋸線在裝置運行時分別保持在預先給定的張力下。為了產生預張力尤其設有一馬達、尤其是一電動機，該電動機以預先給定的轉矩作用在用于設置頂壓輪或轉向輪的杠桿臂 上。由電動機產生的轉矩優選可調。此外在一種有利的實施例中，在敷設鋸線場域時使鋸線的旋轉減少。這優選通過使鋸線在鋸切裝置運行時在兩個相鄰的鋸線回環之間的區域中、在從切割段向轉向段過渡時旋轉小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度而實現。通過使所述鋸線在各個鋸線回環中分別以單向搶制(Gleichschlag)的方式敷設，也減小鋸線旋轉。所述鋸切裝置優選包括一速度控制單元，該速度控制單元用于控制在兩個子場域中的鋸線速度，其中尤其可以相互獨立地控制在兩個子場域中的鋸線速度。該速度控制單元尤其以數據傳遞的方式與張力控制單元中的至少一個連接。該張力控制單元是控制裝置的一部分。所述卷繞-張緊裝置優選構造成，使得所述鋸線的運動方向可以反轉。本發明的目的還在于，改善一種用于鋸切硅塊的方法。這個目的通過一種用于鋸切硅塊的方法得以實現，該方法包括下面的步驟a.提供/準備一用于鋸切硅塊的鋸切裝置，該鋸切裝置具有i. 一鋸線，借助至少一個導向裝置在預先給定的鋸線場域中引導該鋸線，其中該鋸線場域包括兩個子場域，ii. 一卷繞-張緊裝置，利用該卷繞-張緊裝置能使鋸線在運動方向上以一鋸線速度運動通過鋸線場域，和iii. 一用于控制鋸線的鋸線速度的控制裝置，b.利用卷繞-張緊裝置驅動鋸線，c.將鋸線與硅塊置于相互作用，d.利用控制裝置這樣控制兩個子場域中的鋸線速度，使得兩個子場域中的不同鋸線張力相互適應/均衡。本發明的核心在于，利用控制裝置這樣控制兩個子場域中的鋸線速度，使得鋸線張力在兩個子場域中基本一致。按照本發明，鋸線張力在兩個子場域中尤其是相互偏差最多10%。優選地，在兩個子場域中根據鋸線在子場域之間的區域中的鋸線張力這樣控制鋸線速度，使得各個在后運行的子場域中的鋸線速度匹配于、尤其是同步于相應的在前運行/主動的子場域中的鋸線速度。在兩個子場域之間的區域中的伸張器被加載以恒定的轉矩。如果鋸線張力變化，則頂壓輪的位置改變。這一點由伸張器馬達上的接收器獲得。為了再次設置頂壓輪的位置進而正確的鋸線張力，必須使在后的子場域減速或加速。因此構造一調節回路。優選這樣控制兩個子場域中的鋸線速度，使得它們彼此間的偏差最多達10%。


由借助于附圖對實施例的描述給出本發明的其它優點和細節。附圖中圖I示出鋸切裝置的透視圖，圖2示出按照圖I的鋸切裝置的側視圖，圖3示出按照圖I的鋸切裝置從上方看的視圖，圖4示出按照圖3視線方向的示意圖，圖5示出鋸線在鋸線場域中的走向的示意圖， 圖6示出鋸線場域的另一示意圖，用于說明卷繞-張緊裝置和在鋸線中的張力特性。
具體實施例方式用于鋸切也稱為錠料2的硅塊的鋸切裝置I具有一框架3，在該框架上支承有多個鋸線引導輪4和轉向輪5。轉向輪5的數量正好等于鋸線引導輪4的數量。尤其是每個轉向輪5正好配設有一個鋸線引導輪4。在此轉向輪5的位置分別適配于屬于轉向輪的鋸線引導輪4。尤其這樣設置轉向輪5，使得它們在鋸切裝置I運行時設置在所屬的鋸線引導輪4的正上方。下面將鋸線引導輪4和轉向輪5統稱為導向滾子/導向輥4、5。所述框架3具有四角形的、尤其是方形的橫截面。在此在框架3的每一側上均設置有一個可轉動的、尤其可被驅動轉動的驅動軸6。該驅動軸6尤其可以分別成對地同步地被驅動著轉動。在此分別使兩個相互對置的驅動軸6彼此同步。相鄰的驅動軸6可以被相互獨立地驅動轉動。尤其能夠彼此獨立地控制相鄰驅動軸6的速度。在驅動軸6上分別設置有多個鋸線引導輪4。尤其在每個驅動軸6上分別設置有至少兩個、尤其至少三個、尤其至少四個、尤其至少五個、優選至少六個、優選至少七個、優選至少八個鋸線引導輪4。所述鋸線引導輪4優選等距地設置在驅動軸6上。它們能以可調整的方式設置在驅動軸6上。對于鋸線引導輪4和其在框架3上的布置的其它細節請參閱DE 10 2008 044845 Al。此外，所述鋸切裝置I還包括一用于鋸切硅塊的鋸線7。在這里鋸切指的是，各種形式的利用鋸切裝置I將材料的分開，尤其也指所謂的鋸線研磨分離、尤其是利用金剛石鋸線的分離。所述鋸線7構造成連續的并且在基本狀態下在縱向上延伸。鋸線通過驅動/導向裝置8在預先給定的、具有多個鋸線回環的鋸線場域9中被引導。借助一僅示意性表示的卷繞-張緊裝置10能在一運動方向上以鋸線速度vD運動。所述卷繞-張緊裝置10包括一退繞線軸11、一卷繞線軸12和兩個伸張器17用以退繞、卷繞以及張緊鋸線7。所述鋸線7的直徑為最多O. 5mm、尤其最多O. 25mm。所述鋸線7以可被驅動的方式支承在鋸線引導輪4上，并且以隨著一起運動的方式支承在轉向輪5上。在此尤其是，驅動軸6可被驅動。所述導向滾子與卷繞-張緊裝置
10一起形成一用于驅動鋸線7的帶輪驅動裝置。所述鋸線引導輪4與轉向輪5 —樣都是驅動/導向裝置8的一部分。所述鋸線7在鋸線場域9中的一個鋸線回環分別由鋸線7的一部段構成，所述部段從第一轉向輪5延伸到第一鋸線引導輪4，從第一鋸線引導輪4延伸到與該第一鋸線引導輪對置的第二鋸線引導輪4、從這個第二鋸線引導輪延伸到所屬的轉向輪5并且從該轉向輪延伸到對置的、與第一轉向輪相鄰的轉向輪。在此，鋸線7在兩個相互對置的鋸線引導輪4之間的部段分別形成一切割段。每個鋸線回環的其余部段、尤其是鋸線7在兩個對置的轉向輪5之間的部段分別形成轉向段。由于存在多個鋸線引導輪4，所述鋸線場域具有多個切割段。這些切割段共同形成切割區域。在此每個單個鋸割段用于沿著預先給定的方向、即鋸線7的運動方向鋸切硅塊。 各個鋸線回環基本一致地構造。所述鋸線7在每個鋸線回環的兩個相互銜接的轉向輪5之間的部段具有相同的長度。由此避免在不同的鋸線回環中不同的鋸線伸長。這能夠使各個鋸線回環中的鋸線張力的分布(Verlauf)基本保持一致。在一種有利的實施例中可以規定，所述鋸切裝置I配備有用于監控鋸線7的走向和位置的監控裝置。該監控裝置的細節請參閱DE 10 2008 044805 Al。按照本發明，所述鋸線場域9包括兩個子場域13、14，其中第一子場域13通過鋸線7的第一部段構成，第二子場域14通過鋸線7的第二部段構成。形成兩個子場域13、14的鋸線7的這些部段分別簡單相關地構造。它們在鋸線7的基本狀態中不重疊。兩個子場域13、14中的每一個均包括多個鋸線回環。這些鋸線回環在子場域13、14之一內分別基本相互平行地取向。但是它們分別具有傾斜地從轉向輪5中的一個向與該轉向輪對置的相鄰轉向輪5延伸的鋸線段。第一子場域13的鋸線回環基本垂直于第二子場域14的鋸線回環。尤其是，第一子場域13中的鋸線7的切割段橫向于、尤其垂直于第二子場域14中的鋸線7的切割段。在轉向區域中，第一子場域13中的鋸線7分段地橫向于、尤其垂直于第二子場域14中的鋸線7。所述鋸線7在兩個子場域13、14中的切割段相互間無接觸地設置。鋸線7在兩個子場域13、14中的切割段尤其在豎直方向上相互間隔開。在此該豎直方向垂直于鋸線7的運動方向。該豎直方向尤其平行于要被鋸開的錠料2的縱軸線。該豎直方向形成應沿著其鋸開錠料2的方向。在轉向區域中，兩個子場域13、14中的鋸線7相互間無接觸地設置。所述鋸線7首先被引導完全通過第一子場域13并且在從第一子場域13出來后經過中間段15被引導到第二子場域14，然后鋸線完全穿過該第二子場域。兩個子場域13、14中的每一個子場域都用于將鋸切面引入到錠料2中——尤其以平行于鋸切裝置I的框架3的一側的方式，該側在鋸開具有方形橫截面的錠料2時通常平行于錠料2的一側。通過將鋸線場域9分成兩個子場域13、14，能夠減少鋸線7的旋轉、即鋸線的扭轉。為此這樣設置導向滾子4、5，使得鋸線7在兩個相互銜接的鋸線回環之間的區域中、尤其在從切割段向轉向段過渡時和在轉向段區域中、以及在兩個相互銜接的導向滾子4、5之間的區域中旋轉小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度。在這里和下文中所述“旋轉”總是指圍繞與鋸線7縱向方向平行的軸線的扭轉。此外，所述鋸線7分別這樣敷設在導向滾子上，使得鋸線尤其在鋸切裝置I運行時在每個鋸線回環的區域中、尤其在其從切割段向轉向段過渡時分別旋轉小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度。
最后，通過使鋸線7在每個子場域13、14中呈單向捻制(Gleichschlag)地敷設在導向滾子4、5上，避免鋸線7的旋轉。所述鋸線7尤其在每個子場域13、14中以單向捻制敷設在相互銜接的導向滾子4、5上。此外，所述鋸切裝置I包括一用于控制鋸線7張力的控制裝置16。替代地或附加地，控制裝置16也可以構造用于控制鋸線7的鋸線速度vD。控制裝置16具有三個稱為伸張器17的張力控制單元。該控制裝置尤其具有至少一個、尤其至少兩個、尤其至少三個張力控制單兀。按照本發明規定，伸張器17中的至少一個這樣設置，使得它與鋸線7在中間段15中、即在子場域13、14之間處于作用連接。其它伸張器17可以在運動方向上設置在退繞線軸11后面和/或卷繞線軸12前面。下面詳細描述設置在子場域13、14之間的伸張器17。該伸張器17包括一構造成 頂壓輪18的張力控制部件。利用頂壓輪18可以使鋸線7為了控制張力而在橫向于運動方向的方向上偏轉。為此頂壓輪18通過杠桿臂19以可圍繞豎直軸線20在框架3角部區域中擺動的方式支承。馬達21用于使頂壓輪18利用杠桿臂19擺動。該馬達21尤其是電動機，該電動機可以產生預先給定的轉矩。能由馬達21產生的轉矩可以調整。通過由馬達21產生的轉矩來決定使頂壓輪18橫向于運動方向壓在鋸線7上的頂壓力。在此根據鋸線7中的張力，使鋸線或多或少地從其運動方向偏轉出去。所述鋸線7利用頂壓輪18尤其從兩個以可轉動的方式支承的輔助導向輪23之間的的直線走向中偏轉出去。輔助導向輪23以可轉動的方式支承在與框架3固定連接的輔助臂24上。所述輔助導向輪23用于在中間段15中、即在兩個子場域13、14之間的區域中引導鋸線7。所述鋸線7從其運動方向的偏轉、即尤其是鋸線7中的張力可以通過與杠桿臂19連接的傳感器22來測量。該傳感器22以傳遞數據的方式與控制裝置16連接。該控制裝置16本身以傳遞數據的方式與卷繞-張緊裝置10連接。根據鋸線7的可由伸張器17決定的張力的不同，可以在鋸切裝置I運行時相互獨立地控制鋸線7在第一子場域13和第二子場域14中的鋸線速度vD、尤其是使所述鋸線速度vD相互匹配。由此尤其能夠使兩個子場域13、14中的鋸線7在鋸切裝置I運行時分別保持在預先給定的張力下。所述卷繞-張緊裝置10這樣設計，使得鋸線7的運動方向可以反轉。下面描述鋸切裝置的運行，即按照本發明的用于鋸切硅塊的方法。首先提供/準備按照本發明的鋸切裝置I。必要時調整鋸線引導輪4和所屬的轉向輪5的位置。在鋸切裝置I運行時，由退繞線軸11退繞鋸線7。鋸線從退繞線軸11以可利用伸張器17控制的、預先給定的張力延伸到第一子場域13的第一轉向輪5。鋸線7從該第一轉向輪穿過第一子場域13，然后經中間段15延伸到第二子場域14，穿過該第二子場域并且從那里通過另一伸張器17延伸到卷繞線軸12。在中間段15的區域中，伸張器17與鋸線7相接合。為了驅動鋸線7，通過卷繞-張緊裝置10驅動帶有鋸線引導輪4的驅動軸6。在此尤其分別驅動在運動方向上設置在鋸線場域9的切割段的尾端處的驅動軸6。同樣也可驅動相應對置的驅動軸6。它尤其可以與對置的驅動軸6同步地被驅動。它也可以是被動的，即不被驅動，而是僅以可轉動的方式被支承。按照本發明，所述鋸線速度vD在兩個子場域13、14中利用控制裝置16這樣控制，使得鋸線張力在兩個子場域13、14中基本一致。尤其是，兩個子場域13、14中的平均鋸線張力彼此間的偏差最大為10%。在圖6中示意性示出鋸線7在鋸線場域9中的鋸線張力。所述鋸線張力分別在沿運動方向設置在切割段尾端處的鋸線引導輪4的區域中提高，在鋸線7與錠料2處于接觸的切割段中由于在鋸切錠料2時產生的摩擦而減小，而在沿運動方向設置在切割段始端處的鋸線引導輪4與屬于相鄰鋸線回環的、沿運動方向設置在切割段尾端處的鋸線引導輪4之間的區域中保持基本恒定。在這種形式的設備中總是這樣(在沒有我們的雙鋸線場域的情況下也是如此)。因為鋸線引導輪4分別成組地設置在驅動軸6上進而鋸線引導輪4被同步地驅動并且由所述鋸線引導輪同步地驅動子場域13、14中的一個、尤其是切割段中的鋸線7，所以鋸線張力的分布在子場域13、14的各個鋸線回環中基本—致。為了通過鋸線引導輪4實現無滑差的鋸線同步，設有最小鋸線張力。利用設置在兩個子場域13、14之間且在中間段15區域中與鋸線7處于接合的伸張器17，能夠監控兩個子場域13、14中的鋸線張力、尤其是鋸線張力差。如果兩個子場域13,14中的鋸線張力的差超過預先給定的極限值，則適當地控制子場域13、14中的至少一個的驅動軸6的驅動速度，以便減少子場域13、14中的鋸線張力的差。尤其控制在相應的在后運行/隨動的子場域13、14中的鋸線速度vD。在中間段15中、尤其在位于輔助導向輪23之間的區域中的鋸線張力越大，鋸線7在預先給定的馬達21轉矩時由伸張器17的頂壓輪18造成的在橫向于運動方向的方向上的偏轉就越少。因此，可利用傳感器22確定的偏轉的大小直接取決于鋸線7中的鋸線張力。通過提高在后運行的子場域13、14中的鋸線速度vD可以減小鋸線7中、尤其中間段15中的鋸線張力。相應地，可通過減小在后的子場域13、14中的鋸線速度vD來提高尤其在中間段15中的鋸線7的鋸線張力。因為可利用卷繞-張緊裝置10反轉鋸線7的運動方向，所以不僅第一子場域13而且第二子場域14都能形成在后運行的子場域。換言之，利用伸張器17、尤其利用傳感器22檢驗所述鋸線7在兩個子場域13、14之間的中間段15中的鋸線張力并且根據測得的鋸線張力利用控制裝置16調節在后運行的子場域13、14的鋸線引導輪4的驅動(裝置)的速度。由此可以使兩個子場域13、14中的鋸線張力相互適應/均衡。按照本發明，根據在子場域13、14之間的區域中的鋸線7中的鋸線張力這樣控制兩個子場域13、14中的鋸線速度vD，使得各個在后運行的子場域13、14中的鋸線速度vD分別與相應的在前運行的子場域13、14中的鋸線速度vD的偏差最多達10%。各個在后運行的子場域13、14中的鋸線速度vD尤其是分別適應于相應的在前運行的子場域13、14中的鋸線度Vd。原則上可以規定，如果鋸線張力、尤其在中間段15中的鋸線張力超過預先給定的極限值，就中斷、尤其自動中斷鋸切裝置I的運行。
為了鋸切硅塊，使鋸線7在切割段的區域中與硅塊接合。
權利要求
1.一種用于鋸切硅塊的鋸切裝置(1)， a.包括至少一個用于鋸切硅塊的鋸線(7)，該鋸線 i.在基本狀態下在縱向上延伸， .在預先給定的、具有多個鋸線回環的鋸線場域(9)中通過至少一個導向裝置(8)來引導并且 iii.能利用卷繞-張緊裝置(10)在分段地與鋸線(7)的縱向一致的運動方向上以鋸線速度(Vd)運動， b.其中，所述鋸線場域(9)包括兩個子場域(13、14)， 1.第一子場域(13)通過鋸線(7)的第一部段形成，而.第二子場域(14)通過鋸線(7)的第二部段形成， iii.其中，所述部段被構造成在縱向上分別簡單相關且在基本狀態中無重疊。
2.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述子場域(13、14)分別包括多個鋸線回環。
3.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述第一子場域(13)利用所述至少一個導向裝置(8)以分段地橫向于第二子場域(14)的方式被引導。
4.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，設有一控制裝置(16)，該控制裝置用于控制鋸線(7)的張力和鋸線速度(Vd)中的至少一個。
5.根據權利要求4所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述控制裝置(16)具有至少一個張力控制單元(17)。
6.根據權利要求4所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述控制裝置(16)具有至少兩個張力控制單元(17)。
7.根據權利要求4所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述控制裝置(16)具有至少三個張力控制單元(17)。
8.根據權利要求5所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述張力控制單元(17)中的至少一個在子場域(13、14)之間的區域中與鋸線(7)處于作用連接。
9.根據權利要求5所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述張力控制單元(17)分別具有一張力控制部件(18)，利用所述張力控制部件，鋸線(7)能在橫向于運動方向的方向上偏轉以控制張力。
10.根據權利要求4所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述控制裝置(16)構造成，使得鋸線速度(Vd)能在兩個子場域(13、14)中相互獨立地被控制。
11.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，利用所述控制裝置(16)，鋸線(7)能在兩個子場域(13、14)中在鋸切裝置(I)運行時分別保持在預先給定的張力下。
12.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，這些導向滾子這樣設置，使得鋸線(7)在兩個相互銜接的鋸線回環之間的區域中關于一與縱向平行的軸線旋轉小于45°的角度。
13.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，這些導向滾子這樣設置，使得鋸線(7)在兩個相互銜接的鋸線回環之間的區域中關于一與縱向平行的軸線旋轉小于15°的角度。
14.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，這些導向滾子這樣設置，使得鋸線(7)在兩個相互銜接的鋸線回環之間的區域中關于一與縱向平行的軸線旋轉小于30°的角度。
15.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，其中所述鋸線(7)分別這樣敷設在導向滾子(4、5)上，使得鋸線在每個鋸線回環的區域中分別關于一與縱向平行的軸線旋轉小于45°的角度。
16.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，其中所述鋸線(7)分別這樣敷設在導向滾子(4、5)上，使得鋸線在每個鋸線回環的區域中分別關于一與縱向平行的軸線旋轉小于30°的角度。
17.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，其中所述鋸線(7)分別這樣敷設在導向滾子(4、5)上，使得鋸線在 每個鋸線回環的區域中分別關于一與縱向平行的軸線旋轉小于15°的角度。
18.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述導向裝置(8)包括多個導向滾子(4、5)，其中所述鋸線(7)在子場域(13、14)的每一個的鋸線回環中分別以單向捻制的方式敷設在導向滾子(4、5)上。
19.根據權利要求I所述的鋸切裝置(I)，其特征在于，所述鋸線(7)的運動方向能反轉。
20.一種用于鋸切硅塊(2)的方法，該方法包括下面的步驟 a.提供一用于鋸切硅塊的鋸切裝置(I)，該鋸切裝置具有 i.一鋸線(7)，該鋸線在預先給定的鋸線場域(9)中借助至少一個導向裝置(8)來引導，其中該鋸線場域(9)包括兩個子場域(13、14)， . 一卷繞-張緊裝置(10)，鋸線(7)能利用該卷繞-張緊裝置在運動方向上以鋸線速度(Vd)運動通過鋸線場域(9)， iii. 一用于控制鋸線(7)的鋸線速度(Vd)的控制裝置(16)， b.利用卷繞-張緊裝置(10)驅動鋸線(7)， c.將鋸線(7)與硅塊(2)置于相互作用， d.在兩個子場域(13、14)中利用控制裝置(16)這樣控制鋸線速度(Vd)，使得兩個子場域(13、14)中的不同鋸線張力相互適應。
21.根據權利要求20所述的方法，其特征在于，在兩個子場域(13、14)中根據鋸線(7)在子場域(13、14)之間的區域中的鋸線張力這樣控制所述鋸線速度(Vd)，使得在各個在后的子場域(13、14)中的鋸線速度(Vd)分別適應于相應的在前的子場域(13、14)中的鋸線速度(Vd)。
全文摘要
本發明涉及一種用于鋸切硅塊的鋸切裝置(1)，該鋸切裝置包括至少一個用于鋸切硅塊的鋸線(7)，該鋸線在基本狀態下在縱向上延伸，通過至少一個導向裝置(8)在預先給定的、具有多個鋸線回環的鋸線場域(9)中引導并且能利用卷繞-張緊裝置(10)在分段地與鋸線(7)的縱向一致的運動方向上以鋸線速度(vD)運動通過鋸線場域，其中所述鋸線場域(9)包括兩個子場域(13、14)，它們分別包括多個鋸線回環，其中第一子場域(13)通過鋸線(7)的第一部段形成，而第二子場域(14)通過鋸線(7)的第二部段形成，其中所述部段構造成在基本狀態中在縱向上分別簡單相關且無重疊。
文檔編號B28D7/00GK102642255SQ201210037728
公開日2012年8月22日 申請日期2012年2月17日 優先權日2011年2月17日
發明者J·莫德勒, V·布林斯特 申請人:德國太陽能有限公司