專利名稱：退火裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種退火裝置(annealing apparatus),且更具體的說(shuō),涉及一種在其中密封單元通過(guò)氣動(dòng)壓力可膨脹或收縮以密封頂板單元和底板單元的退火裝置。
背景技術(shù)：
通常，具有長(zhǎng)邊和短邊的矩形玻璃基板被用作平板顯示器件，例如有機(jī)發(fā)光二極管顯示器的基板。這種玻璃基板承受包括清潔、激光退火、曝光以及蝕刻的各種制作工藝以制造成為用于平板顯示器件的基板。通過(guò)退火裝置進(jìn)行退火。退火裝置使激光束透過(guò)腔體的上表面發(fā)射至基板以使該基板結(jié)晶化。此時(shí),在激光束發(fā)射時(shí),從基板產(chǎn)生的顆粒附著至透明窗(transparent window)的下表面。本發(fā)明的相關(guān)技術(shù)在題目為“有機(jī)電致發(fā)光裝置以及生產(chǎn)該裝置的方法”的公開號(hào)2003-0024995A的韓國(guó)專利(2003年3月28日公布)中公開。在常規(guī)退火裝置中，用于密封的密封單元附接至頂板單元和底板單元，因此難以分開頂板單元和底板單元。因此，需要一種克服了這種問(wèn)題的退火裝置
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明用于解決本領(lǐng)域中的這種問(wèn)題，且本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種退火裝置，在該退火裝置中，密封單元通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹或收縮來(lái)維持頂板單元和底板單元之間的密封而不會(huì)卡在那里。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，退火裝置包括:底板單元，所述底板單元具有激光束透過(guò)的入射口 ；密封單元，所述密封單元固定至所述底板單元以通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹；以及頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且與所述密封單元緊密接觸。所述底板單元可包括:底板，所述底板布置在腔體的上側(cè)且具有所述入射口 ；以及密封槽部分，所述密封槽部分形成于所述底板的上側(cè)處且與所述入射口相鄰地布置。所述底板單元可進(jìn)一步包括:冷卻單元，所述冷卻單元形成于所述底板上且與所述入射口連通，從而使得冷卻氣體供應(yīng)至入射口并從所述入射口排出。所述冷卻單元可包括:冷卻管，所述冷卻管穿過(guò)所述底板且與所述入射口連通；冷卻罐，所述冷卻罐連接至所述冷卻管且儲(chǔ)存所述冷卻氣體；以及冷卻閥，所述冷卻閥被提供給所述冷卻管以調(diào)節(jié)穿過(guò)所述冷卻管的所述冷卻氣體的量。所述冷卻管在豎直方向上被設(shè)置為Z字形排布(zigzag arrangement)。所述密封槽部分可包括:插入槽，所述插入槽形成于所述底板上；以及安裝槽，所述安裝槽形成于所述插入槽的下表面的中心部分處。
所述密封單元可包括:氣動(dòng)密封件，所述氣動(dòng)密封件插入至所述插入槽且具有界定在所述氣動(dòng)密封件內(nèi)的氣動(dòng)隔間；連接密封件，所述連接密封件從所述氣動(dòng)密封件的下表面向下凸出；定位密封件，所述定位密封件從所述連接密封件橫向凸出且放置在所述安裝槽中；入口管，所述入口管穿過(guò)所述定位密封件和所述連接密封件且與所述氣動(dòng)隔間連通，從而使得氣動(dòng)氣體供應(yīng)至所述氣動(dòng)隔間且通過(guò)所述入口管從所述氣動(dòng)隔間排出；氣動(dòng)罐，所述氣動(dòng)罐連接至所述入口管并儲(chǔ)存所述氣動(dòng)氣體；以及氣動(dòng)閥，所述氣動(dòng)閥被提供給所述入口管以調(diào)節(jié)穿過(guò)所述入口管的所述氣動(dòng)氣體的量。所述密封單元可包括:固定板，所述固定板放置在所述插入槽的下表面上且布置在所述定位密封件的上部處；以及固定構(gòu)件，所述固定構(gòu)件擰緊到所述插入槽中以固定所述固定板。 在根據(jù)本發(fā)明的退火裝置中，被提供至所述底板單元的所述密封單元通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹或收縮，以附接至所述頂板單元或從所述頂板單元上釋放。因此，防止了所述密封單元被卡在所述頂板單元上，從而允許所述底板單元容易地與所述頂板單元分開。在根據(jù)本發(fā)明的退火裝置中，所述密封單元膨脹以均勻地(uniformly)附接至所述頂板單元，由此所述入射口的內(nèi)部能夠免受外界損害。在根據(jù)本發(fā)明的退火裝置中，所述密封單元擰緊到所述密封槽部分中，因此能夠防止所述密封單元偏離理想位置。在根據(jù)本發(fā)明的退火裝置中，所述冷卻單元冷卻入射口的被加熱部分，從而防止入射口過(guò)熱。在根據(jù)本發(fā)明的退火裝置中，所述冷卻管在豎直方向上被設(shè)置為Z字形排布，從而防止水汽通過(guò)所述入射口排出。


從下面結(jié)合相應(yīng)附圖給出的實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述和其他方面、特征以及優(yōu)點(diǎn)將更加明顯，其中:圖1為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中頂板單元的透明窗覆蓋底板單元的入射口；圖2為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中密封單元是膨脹的；圖3為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中頂板單元的透明窗未覆蓋底板單元的入射口 ；以及圖4為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中密封單元是收縮的。
具體實(shí)施例方式以下，將參照附圖描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例。需要注意的是:附圖不是精確的尺寸且僅僅為了描繪的方便和清晰，線條的厚度或組件的尺寸可能是夸大的。在本文中所使用的單數(shù)形式“一(a)”、“一(an)”、以及“所述(the) ”也可包括復(fù)數(shù)形式，除非有其他清楚限定。此外，本文中所使用的術(shù)語(yǔ)在考慮本發(fā)明的功能的基礎(chǔ)上界定并可根據(jù)使用者或操作者的習(xí)慣或目的而改變。因此，應(yīng)該根據(jù)本發(fā)明中所有詳述的內(nèi)容來(lái)得到術(shù)語(yǔ)的界定。
圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中頂板單元的透明窗覆蓋底板單元的入射口 ；圖2為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中密封單元是膨脹的；圖3為根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中頂板單元的透明窗未覆蓋底板單元的入射口 ；以及圖4為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的退火裝置的示意圖，其中密封單元是收縮的。參照?qǐng)D1至圖4，根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的退火裝置I包括:底板單元10、密封單元20以及頂板單元30。底板單元10形成有激光束能夠透過(guò)的入射口 19，且頂板單元30放置在底板10上。密封單元20固定至底板單元10。密封單元20通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹以密封底板單元10和頂板單元30之間的空間。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，底板單元10包括底板11和密封槽部分12。底板11覆蓋其中放置有基板的腔體的上側(cè)。激光束透過(guò)的入射口 19穿過(guò)底板11形成。入射口 19為矩形孔形狀以便于激光束能夠透過(guò)入射口 19發(fā)射。密封槽部分12形成于底板11的上表面上。密封槽部分12布置在入射口 19附近。例如，密封槽部分12位于入射口 19的向外的方向上，以使該密封槽部分12循環(huán)(circulated)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，底板單元10進(jìn)一步包括冷卻單元13。冷卻單元13形成于底板11上且與入射口 19連通，從而使得冷卻氣體供應(yīng)至入射口 19并從入射口 19排出。根據(jù)本發(fā)明 的實(shí)施例，密封槽部分12包括插入槽121和安裝槽122。插入槽121形成于底板11的上表面上，安裝槽122形成于插入槽121的下表面的中心部分處。因此，從底板11的上表面到插入槽121的距離比從底板11的上表面到安裝槽122的距離長(zhǎng)。根據(jù)本申請(qǐng)的實(shí)施例，密封單元20包括:氣動(dòng)密封件21、連接密封件22、定位密封件23、入口管24、氣動(dòng)罐25以及氣動(dòng)閥26。氣動(dòng)密封件21插入至插入槽121。在氣動(dòng)密封件21中界定有氣動(dòng)隔間29。連接密封件22從氣動(dòng)密封件21的下表面向下凸出，定位密封件23從連接密封件22橫向凸出且放置在安裝槽122上。此時(shí)，定位密封件23的下表面和安裝槽122的底表面可通過(guò)粘合劑保持彼此粘
八
口 ο入口管24穿過(guò)定位密封件23和連接密封件22并與氣動(dòng)隔間29連通。入口管24穿過(guò)底板11且連接至儲(chǔ)存氣動(dòng)氣體的氣動(dòng)罐25。氣動(dòng)閥26被提供給入口管24以調(diào)節(jié)穿過(guò)入口管24的氣動(dòng)氣體的量。因此，當(dāng)氣動(dòng)罐25提供氣動(dòng)氣體至入口管24且入口管24通過(guò)氣動(dòng)閥26打開時(shí)，氣動(dòng)氣體穿過(guò)入口管24和氣動(dòng)密封件21供應(yīng)至氣動(dòng)隔間29，從而氣動(dòng)隔間29膨脹(參見圖2)。由于氣動(dòng)密封件21膨脹，氣動(dòng)密封件21附接至底板11的插入槽121的內(nèi)壁和頂板單元30的下表面以密封入射口 19。
同時(shí)，當(dāng)氣動(dòng)罐25抽吸氣動(dòng)氣體時(shí)，氣動(dòng)氣體通過(guò)入口管24從氣動(dòng)隔間29排出，從而氣動(dòng)密封件21收縮(參見圖4)。由于氣動(dòng)密封件收縮，氣動(dòng)密封件21和頂板單元30之間的附接被釋放。由于氣動(dòng)密封件21隔間利用激光束的退火操作的程序而重復(fù)地膨脹和收縮，所以防止了氣動(dòng)密封件21卡在頂板單元30的下表面上。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，密封單元20進(jìn)一步包括固定板27和固定構(gòu)件28。固定板27放置在插入槽121的下表面上。固定板27部分覆蓋定位密封件23的上表面。固定構(gòu)件28擰緊到插入槽121中以將固定板27固定至插入槽121。因此，由于通過(guò)固定板27卡住定位密封件23的上端，所述定位密封件23保持安裝在安裝槽122中。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，冷卻單元13包括冷卻管131、冷卻罐132以及冷卻閥133。冷卻管131穿過(guò)底板11并與入射口 19連通。冷卻罐132連接至冷卻管131且儲(chǔ)存冷卻氣體。例如，所述冷卻氣體包括氮?dú)狻＠鋮s閥133被提供給冷卻管131，打開或閉合冷卻管131以調(diào)節(jié)在冷卻管131中流動(dòng)的冷卻氣體的量。冷卻管131在豎直方向上被設(shè)置為Z字形排布。當(dāng)冷卻管131以此方式被設(shè)置為Z字形排布時(shí)，能夠防止由于溫度差而在冷卻管131中產(chǎn)生的水汽排放到入射口 19中。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，頂板單元30包括激光束透過(guò)的透明窗39，且沿著形成于底板11的上表面上的軌道38運(yùn)動(dòng)。 現(xiàn)在，將描述根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的退火裝置的操作。當(dāng)將經(jīng)受退火的基板容納在腔體中時(shí)，底板11放置在腔體的上部上。底板11形成有入射口 19，激光束透過(guò)該入射口 19發(fā)射。密封槽部分12形成于底板11的上表面上以環(huán)繞入射口 19。密封槽部分12包括插入槽121以及形成于插入槽121的中心點(diǎn)處的安裝槽122。其內(nèi)界定有氣動(dòng)隔間29的氣動(dòng)密封件21插入至插入槽121中，并且從氣動(dòng)密封件21延伸的定位密封件23插入至安裝槽122中。入口管24穿過(guò)定位密封件23和連接定位密封件23和氣動(dòng)密封件21的連接密封件22，以與氣動(dòng)隔間29連通，且隨著氣動(dòng)氣體從氣動(dòng)罐25中泵出或被吸入氣動(dòng)罐25，氣動(dòng)密封件21膨脹或收縮。這時(shí)，安裝在入口管24上的氣動(dòng)閥26調(diào)節(jié)排入入口管24或從入口管24抽吸的氣動(dòng)氣體的量。冷卻管131穿過(guò)底板11以與入射口 19連通，且隨著冷卻氣體泵入連接至冷卻管131的冷卻罐132中或從連接至冷卻管131的冷卻罐132抽吸，冷卻氣體注入入射口 19或從入射口 19排出。頂板單元30放置在底板11上且沿軌道38移動(dòng)。頂板單元30帶有透明窗39，激光束能夠透過(guò)透明窗39發(fā)射。然后，當(dāng)頂板單元30移動(dòng)至底板單元11從而使得透明窗39為了退火工藝而布置在入射口 19的垂直線(vertical line)上時(shí)(參見圖1)，從氣動(dòng)罐25供應(yīng)的氣動(dòng)氣體被供應(yīng)至氣動(dòng)密封件21的氣動(dòng)隔間29中，由此使氣動(dòng)密封件21膨脹(參見圖2)。以此方式，當(dāng)氣動(dòng)密封件21膨脹且附接至頂板單元30的下表面時(shí)，入射口 19關(guān)閉，從而能夠防止雜質(zhì)在退火期間被引入入射口 19。這里，在退火期間當(dāng)入射口 19通過(guò)激光束加熱時(shí)，冷卻氣體經(jīng)冷卻管132供應(yīng)至入射口 19以冷卻入射口 19的被加熱部分。當(dāng)入射口 19被完全冷卻時(shí)，分布在入射口 19中的冷卻氣體通過(guò)冷卻管131排出。同時(shí)，當(dāng)通過(guò)穿過(guò)入射口 19發(fā)射的激光束從基板上產(chǎn)生的雜質(zhì)附著至透明窗39時(shí)，降低了透明窗的透明度。因此，當(dāng)停止退火時(shí)，排出在氣動(dòng)隔間29中的氣動(dòng)氣體，以便于氣動(dòng)密封件21收縮，釋放在氣動(dòng)密封件21和頂板單元30之間的附接(參見圖4)。以此方式，當(dāng)氣動(dòng)密封件21和頂板單元30之間的附接被釋放時(shí)，頂板單元30沿軌道38移動(dòng)以清潔透明窗39和入射口 19 (參見圖3)。盡管已經(jīng)公開了一些實(shí)施例，但需要理解的是，這些給出的實(shí)施例僅用于解釋說(shuō)明，且在不違背本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可做出各種改進(jìn)、變動(dòng)和替代。本發(fā)明的范圍應(yīng)通過(guò)所附的 權(quán)利要求和其等效物來(lái)限定。
權(quán)利要求
1.一種退火裝置，包括: 底板單元，所述底板單元具有激光束透過(guò)的入射口 ； 密封單元，所述密封單元固定至所述底板單元以通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹；以及 頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且與所述密封單元緊密接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的退火裝置，其中，所述底板單元包括: 底板，所述底板布置在腔體的上側(cè)且具有所述入射口 ；以及 密封槽部分，所述密封槽部分形成于所述底板的上側(cè)處且與所述入射口相鄰地布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的退火裝置，其中，所述底板單元進(jìn)一步包括: 冷卻單元，所述冷卻單元形成于所述底板上且與所述入射口連通，從而使得冷卻氣體供應(yīng)至入射口并從所述入射口排出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的退火裝置，其中，所述冷卻單元包括: 冷卻管，所述冷卻管穿過(guò)所述底板且與所述入射口連通； 冷卻罐，所述冷卻罐連接至所述冷卻管且儲(chǔ)存所述冷卻氣體；以及 冷卻閥，所述冷卻閥被提供給所述冷卻管以調(diào)節(jié)穿過(guò)所述冷卻管的所述冷卻氣體的量。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的退火裝置，其中，所述冷卻管在豎直方向上被設(shè)置為Z字形排布。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的退火裝置，其中，所述密封槽部分包括: 插入槽，所述插入槽形成于所述底板上；以及 安裝槽，所述安裝槽形成于所述插入槽的下表面的中心部分處。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的退火裝置，其中，所述密封單元包括: 氣動(dòng)密封件，所述氣動(dòng)密封件插入至所述插入槽且具有界定在所述氣動(dòng)密封件內(nèi)的氣動(dòng)隔間； 連接密封件，所述連接密封件從所述氣動(dòng)密封件的下表面向下凸出； 定位密封件，所述定位密封件從所述連接密封件橫向凸出且放置在所述安裝槽中；入口管，所述入口管穿過(guò)所述定位密封件和所述連接密封件且與所述氣動(dòng)隔間連通，從而使得氣動(dòng)氣體供應(yīng)至所述氣動(dòng)隔間且通過(guò)所述入口管從所述氣動(dòng)隔間排出； 氣動(dòng)罐，所述氣動(dòng)罐連接至所述入口管并儲(chǔ)存所述氣動(dòng)氣體；以及 氣動(dòng)閥，所述氣動(dòng)閥被提供給所述入口管以調(diào)節(jié)穿過(guò)所述入口管的所述氣動(dòng)氣體的量。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的退火裝置，其中，所述密封單元包括: 固定板，所述固定板放置在所述插入槽的下表面上且布置在所述定位密封件的上部處；以及 固定構(gòu)件，所述固定構(gòu)件擰緊到所述插入槽中以固定所述固定板。
全文摘要
本發(fā)明提供一種退火裝置。退火裝置包括底板單元，所述底板單元具有激光束透過(guò)的入射口；密封單元，所述密封單元固定至所述底板單元以通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹；以及頂板單元，所述頂板單元放置在所述底板單元上且與所述密封單元緊密接觸。所述密封單元可通過(guò)氣動(dòng)壓力膨脹或收縮以防止所述密封單元卡在所述頂板單元上，從而允許所述底板單元平穩(wěn)地與所述頂板單元分開。
文檔編號(hào)C03B25/00GK103172256SQ20121055188
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者梁相熙, 李基雄, 金圣進(jìn), 安珍榮 申請(qǐng)人:Ap系統(tǒng)股份有限公司