專利名稱：一種晶棒切割固定框的制作方法
技術領域：
—種晶棒切割固定框技術領域[0001]本實用新型涉及半導體生產技術設備的部件，具體地說是涉及一種晶棒切割固定 框。
背景技術：
[0002]切割半導體晶塊是在多線切割機上進行的，固定晶棒的是固定框，固定框將晶棒 定位，現有技術中，固定框是方形的凹槽，這樣往往存在著晶棒固定不牢的缺點，影響切割 的效率和質量。發明內容[0003]本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種生產效率更高、切割的質量更好 的晶棒切割固定框。[0004]本實用新型的技術方案是這樣實現的晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框 本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽。[0005]進一步的講，所述的凹槽是多個的。[0006]進一步的講，所述的凹槽中間設置有紋路。[0007]本實用新型的有益效果是這樣的晶棒切割固定框具有生產效率更高、切割的質 量更好的優點。


[0008]圖1是本實用新型晶棒切割固定框的結構示意圖。[0009]其中1、固定框本體 2、凹槽 3、紋路。
具體實施方式
[0010]
以下結合附圖對本實用新型作進一步的描述。[0011]如圖1所示，晶棒切割固定框，包括固定框本體1，固定框本體I具有凹槽2，其特 征是所述的凹槽2是圓弧形的凹槽。[0012]因為晶棒是圓形的，圓弧形的凹槽結合的面積更多，就更牢固，晶棒不易錯位，保 證切割的質量。[0013]進一步的講，所述的凹槽2是多個的，這樣一個固定框就可以同時固定多個晶棒 保證了生產效率。[0014]進一步的講，所述的凹槽中間設置有紋路3。這樣就會使晶棒粘接的更牢固。
權利要求1.晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽。
2.根據權利要求1所述的晶棒切割固定框，其特征是所述的凹槽是多個的。
3.根據權利要求1或2所述的晶棒切割固定框，其特征是所述的凹槽中間設置有紋路。
專利摘要本實用新型涉及半導體生產技術設備的部件，是晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽，所述的凹槽是多個的，所述的凹槽中間設置有紋路，這樣的晶棒切割固定框具有生產效率更高、切割的質量更好的優點。
文檔編號B28D7/04GK202826117SQ20122040659
公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月16日 優先權日2012年8月16日
發明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司