一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置制造方法
【專利摘要】一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，包括夾持平板玻璃的真空吸盤，真空吸盤包括剛性平板、設置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板的材料可以是PVC、有機玻璃等材料，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區域內設置有環形開口溝槽。本實用新型豎直承載的玻璃在傳送過程中不會掉落、不會傾覆，蝕刻面受較大垂直方向的噴淋液壓力時不會破損。
【專利說明】一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及電子【技術領域】，尤其涉及一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置。
【背景技術】
[0002]透明導電膜玻璃是制造平板顯示器(FPD)的主要材料，廣泛應用于液晶顯示器(LCD)、等離子顯示屏(PDP)、觸摸屏(TP)、有機發光顯示器(OLED)等領域。隨著當今世界高新技術產品飛速發展，對FPD面板的輕薄化要求越來越高，因而透明導電膜玻璃的減薄工藝成為了終端顯示產品能否實現薄型化的核心問題之一。
[0003]所謂減薄就是用化學藥液將透明導電膜玻璃基板均勻蝕刻到目標厚度，從減薄方式來講分單面減薄和雙面減薄兩種。單面減薄即對玻璃基板的其中一面采取保護措施，對另一面進行減薄；雙面減薄即對玻璃基板的兩面同時進行減薄。從減薄工藝來講，目前流行的減薄工藝有浸泡減薄工藝和噴淋減薄工藝，浸泡減薄工藝是把玻璃基板浸泡在化學藥液中，然后輔助以鼓泡或拋動等機械手段，其玻璃夾具通常是帶有卡槽的蝕刻籃，通過將玻璃基板兩端卡在相鄰的卡條間實現夾持固定(如專利CN101234853A描述)；噴淋減薄工藝是用水平傳輸輥作為支撐部件，通過從玻璃輸送方向的左右支撐玻璃板兩端來實現夾持固定，然后向其表面均勻噴射化學藥液，(如專利CN1669967A描述)。浸泡減薄工藝和噴淋減薄工藝相比，后者蝕刻速率快，藥液利用率高，得到的玻璃基板厚度均勻，表觀缺陷少，因而代表了減薄工藝的主流方向。
[0004]采用上述噴淋蝕刻工藝進行透明導電膜玻璃單面減薄時，其夾持治具是該方法實施的關鍵。一方面要保護鍍導電膜面使其免受化學藥液侵蝕；另一方面要實現另一面沒有任何遮擋物體的夾持狀態以保證減薄的均勻性。
實用新型內容
[0005]針對上述問題，本實用新型旨在提供一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置。
[0006]一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置包括夾持平板玻璃的真空吸盤，該真空吸盤包括剛性平板、設置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板的材料可以是PVC、有機玻璃等材料，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區域內設置有環形開口溝槽，其深度優選為0.4毫米至0.9毫米，寬度優選為3毫米至7毫米，其輪廓尺寸優選比待夾持平板玻璃大2毫米至5毫米。
[0007]在開口溝槽上緊密地貼附有彈性變形材料(如橡膠、柔性塑料等)制成的密閉圍墻，該彈性變形材料厚度優選比開口溝槽的深度大0.2毫米至0.6毫米，其輪廓形狀與平板玻璃平面輪廓形狀相適，所述彈性變形材料密閉地貼附在開口溝槽上，剛性平板內部設置密閉抽氣孔道，并延伸到真空吸盤邊緣之外同側出口至少5毫米處的的閥門，此外，抽氣孔道一端與真空緩沖腔體件目通，另一端則與密閉圍墻所圍空間的內部相通，閥門是垂直于剛性平板的開孔，通過此閥門的開關來控制抽氣和/或進氣從而實現裝卸平板玻璃片。當平板玻璃鍍有透明導電膜的一面與密閉圍墻輪廓對應貼附、密閉空腔抽成真空時玻璃基板牢固地夾持在真空吸盤上。在具體制作中，剛性平板由兩塊同質平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當抽氣孔道的通孔，另一面銑有充當真空緩沖腔體的多個溝槽，該通孔與溝槽相通。
[0008]本實用新型中的真空吸盤呈豎立狀態，其底部固定有傳輸輥，傳輸輥前后端部優選為錐形并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣平行且在同一平面；真空吸盤頂部位置固定有多組導向滑輪，導向滑輪的轉動平面為水平面并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。在傳送過程中，傳輸輥落在外圍設備的凹型滾輪上，導向滑輪進入相應設備的導向槽內，通過凹槽滾輪的旋轉帶動裝置進行移動，導向滑輪可保證承載裝置在垂直狀態下移動并減小阻力。
[0009]所示平板玻璃位于真空吸盤上接受噴淋設備對其進行的噴淋減薄操作。本實用新型的承載裝置，在實現透明導電膜玻璃鍍膜面密閉固定的同時，可借助承載裝置底部的傳輸輥和頂部的導向滑輪在特定減薄設備傳輸軌道內穩定傳輸，此方法使得透明導電膜玻璃的減薄面在運動過程中與減薄設備噴射出的化學藥液均勻接觸，通過藥液的沖刷作用及時清除掉玻璃表面化學反應產生的反應產物，避免產物的附著和堆積，從而提高了透明導電膜玻璃減薄面的表觀質量和厚度均勻性。
[0010]所示本實用新型中，還可以在剛性平板的兩側獨立地設置密閉圍墻和閥門，用于同時裝載兩片相對的透明導電膜玻璃，真空緩沖腔體濃兩片玻璃之間的剛性平板中，真空緩沖腔體過抽氣孔道與密閉圍墻內的區域相同，剛性平板的真空吸盤的頂部有導向滑輪，底部有傳輸輥，從而實現一個承載裝置承載兩塊透明導電玻璃，同時進行單面減薄。
[0011]進一步地，還可以在剛性平板兩側獨立地設置組密閉圍墻和閥門，實現同時裝載片透明導電膜玻璃，同時對片玻璃的單面進行減薄而另一導電膜得以完美保護。同樣的，真空吸盤的頂部有導向滑輪，底部有傳輸輥。
[0012]本實用新型的承載裝置能方便地進行透明導電膜玻璃單面減薄工藝過程的裝卸片，保證工作過程中整個裝置不漏氣、不滲液，并且在對透明導電膜玻璃固定的同時實現對鍍膜面的密閉保護，無需增加額外的鍍膜面保護層制作和去除工序，一方面簡化了單面減薄透明導電玻璃的制造工序，減少原材料和設備投資，降低了生產成本。另一方面，本實用新型的承載裝置實現了透明導電。
[0013]有益效果
[0014]本實用新型有以下優點:1.在被減薄玻璃的豎直承載狀態下，實現被減薄玻璃面垂直方向上無任何遮擋物；2.豎直承載的玻璃在傳送過程中不會掉落、不會傾覆，蝕刻面受較大垂直方向的噴淋液壓力時不會破損。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置一較優實施例的結構示意圖；
[0016]圖2為圖1的側視圖；
[0017]圖3為采用本實用新型所述承載裝置的結構示意圖；[0018]圖4為實用新型所述承載裝置一實施例的示意圖；
[0019]圖5為實用新型所述承載裝置另一實施例的示意圖。
[0020]圖中:1、真空吸盤；2、傳輸輥；3、導向滑輪；4、平板玻璃；7、噴淋設備；la、剛性平板；lb、密閉圍墻；le、抽氣孔道；Id、閥門；le、開口溝槽；lf、真空緩沖腔體。
【具體實施方式】
[0021]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步詳細說明。
[0022]圖1是本實用新型一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置一較優實施例的結構，圖2為圖1的側視圖。一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置包括夾持平板玻璃的真空吸盤1，該真空吸盤I包括剛性平板la、設置在剛性平板Ia上的閥門Id以及密閉圍墻lb。剛性平板Ia比平板玻璃4尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤I的支撐骨架，剛性平板Ia的材料可以是PVC、有機玻璃等材料，剛性平板Ia表面距離邊緣至少5毫米的區域內設置有環形開口溝槽le，其深度優選為0.4毫米至0.9毫米，寬度優選為3毫米至7毫米，其輪廓尺寸優選比待夾持平板玻璃大2毫米至5毫米。
[0023]在開口溝槽Ie上緊密地貼附有彈性變形材料(如橡膠、柔性塑料等)制成的密閉圍墻lb，該彈性變形材料厚度優選比開口溝槽Ie的深度大0.2毫米至0.6毫米，其輪廓形狀與平板玻璃4平面輪廓形狀相適，所述彈性變形材料密閉地貼附在開口溝槽Ie上，剛性平板Ia內部設置密閉抽氣孔道lc，并延伸到真空吸盤邊緣之外同側出口至少5毫米處的的閥門ld，此外，抽氣孔道Ic 一端與真空緩沖腔體I件目通，另一端則與密閉圍墻Ib所圍空間的內部相通，如圖2所示。閥門Id是垂直于剛性平板Ia的開孔，通過此閥門Id的開關來控制抽氣和/或進氣從而實現裝卸平板玻璃片。當平板玻璃鍍有透明導電膜的一面與密閉圍墻Ib輪廓對應貼附、密閉空腔抽成真空時玻璃基板牢固地夾持在真空吸盤I上。在具體制作中，剛性平板Ia由兩塊同質平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當抽氣孔道Ic的通孔，另一面銑有充當真空緩沖腔體If的多個溝槽，該通孔與溝槽相通。
[0024]本實施例中的真空吸盤呈豎立狀態，其底部固定有傳輸輥2，傳輸輥2前后端部優選為錐形并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣平行且在同一平面；真空吸盤I頂部位置固定有多組導向滑輪3，導向滑輪3的轉動平面為水平面并且其軸線與真空吸盤I上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。在傳送過程中，傳輸輥2落在外圍設備的凹型滾輪上，導向滑輪3進入相應設備的導向槽內，通過凹槽滾輪的旋轉帶動裝置進行移動，導向滑輪3可保證承載裝置在垂直狀態下移動并減小阻力。
[0025]圖3所示的是使用本實用新型承載裝置進行噴淋減薄的示意圖。其中，平板玻璃4位于真空吸盤I上接受噴淋設備7對其進行的噴淋減薄操作。本實用新型的承載裝置，在實現透明導電膜玻璃鍍膜面密閉固定的同時，可借助承載裝置底部的傳輸輥2和頂部的導向滑輪3在特定減薄設備傳輸軌道內穩定傳輸，此方法使得透明導電膜玻璃的減薄面在運動過程中與減薄設備噴射出的化學藥液均勻接觸，通過藥液的沖刷作用及時清除掉玻璃表面化學反應產生的反應產物，避免產物的附著和堆積，從而提高了透明導電膜玻璃減薄面的表觀質量和厚度均勻性。如圖4所示本實施例中，還可以在剛性平板Ia的兩側獨立地設置密閉圍墻Ib和閥門ld，用于同時裝載兩片相對的透明導電膜玻璃4，真空緩沖腔體I濃兩片玻璃4之間的剛性平板Ia中，真空緩沖腔體If過抽氣孔道Ic與密閉圍墻Ib內的區域相同，剛性平板Ia的真空吸盤I的頂部有導向滑輪3，底部有傳輸輥3，從而實現一個承載裝置承載兩塊透明導電玻璃，同時進行單面減薄。
[0026]進一步地，如圖5所示，還可以在剛性平板Ia兩側獨立地設置4組密閉圍墻Ib和閥門1山實現同時裝載4片透明導電膜玻璃4，同時對4片玻璃的單面進行減薄而另一導電膜得以完美保護。同樣的，真空吸盤I的頂部有導向滑輪3，底部有傳輸輥3。
[0027]本實用新型的承載裝置能方便地進行透明導電膜玻璃單面減薄工藝過程的裝卸片，保證工作過程中整個裝置不漏氣、不滲液，并且在對透明導電膜玻璃固定的同時實現對鍍膜面的密閉保護，無需增加額外的鍍膜面保護層制作和去除工序，一方面簡化了單面減薄透明導電玻璃的制造工序，減少原材料和設備投資，降低了生產成本。另一方面，本實用新型的承載裝置實現了透明導電。
[0028]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何細微修改、等同替換和改進，均應包含在本實用新型技術方案的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:包括夾持平板玻璃的真空吸盤，真空吸盤包括剛性平板、設置在剛性平板上的閥門以及密閉圍墻，剛性平板比平板玻璃尺寸至少大20毫米，以作為該真空吸盤的支撐骨架，剛性平板表面距離邊緣至少5毫米的區域內設置有環形開口溝槽，其深度為0.4毫米至0.9毫米，寬度為3毫米至7毫米。
2.根據權利要求1所述的一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:開口溝槽上緊密地貼附有彈性變形材料制成的密閉圍墻。
3.根據權利要求1所述的一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:剛性平板由兩塊同質平板貼合而成，其中一塊平板的一面鉆有充當抽氣孔道的通孔，另一面銑有充當真空緩沖腔體的多個溝槽，該通孔與溝槽相通。
4.根據權利要求1所述的一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:真空吸盤頂部位置固定有多組導向滑輪，導向滑輪的轉動平面為水平面并且其軸線與真空吸盤上的剛性平板底部邊緣垂直于且在同一平面。
5.根據權利要求1所述的一種新型透明導電膜玻璃減薄承載裝置，其特征在于:剛性平板的兩側獨立地設置密閉圍墻和閥門。
【文檔編號】C03C15/00GK203545883SQ201320451517
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年7月18日 優先權日:2013年7月18日
【發明者】何強民 申請人:深圳市康盛光電科技有限公司