帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，包括驅(qū)動(dòng)器本體和一對(duì)撐桿，所述撐桿與所述隔離門固定連接，所述撐桿能相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器本體移動(dòng)，其特征在于，還包括壓板和密封圈，所述壓板上開設(shè)一對(duì)供所述一對(duì)撐桿穿越的通孔，所述壓板固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器本體上，所述密封圈分別套設(shè)于所述撐桿上并位于所述壓板和驅(qū)動(dòng)器本體之間。通過壓板在驅(qū)動(dòng)器本體和撐桿的接縫處安裝密封圈，可以防止驅(qū)動(dòng)器本體內(nèi)作為動(dòng)力源的壓力油經(jīng)泄露，避免泄露的壓力油污染反應(yīng)腔室中的晶圓，確保產(chǎn)品良率。
【專利說明】帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝中，在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。CVD(Chemical Vapor Deposition,化學(xué)氣相沉積)，指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室，在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過程。
[0003]當(dāng)反應(yīng)腔室進(jìn)行CVD工藝時(shí)，需要將反應(yīng)腔室和通道隔離。目前是采用隔離門隔離，所述隔離門通過一個(gè)隔離門驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。如圖1所述，現(xiàn)有的隔離門驅(qū)動(dòng)器包括驅(qū)動(dòng)器本體I和一對(duì)撐桿2，所述撐桿2與所述隔離門固定連接，所述撐桿2能相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器本體I (沿垂直于紙面的方向)移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)器本體I通過驅(qū)動(dòng)撐桿驅(qū)動(dòng)隔離門關(guān)閉或者打開。由于驅(qū)動(dòng)器本體采用液壓驅(qū)動(dòng)，因此經(jīng)常出現(xiàn)壓力油從驅(qū)動(dòng)器本體I和撐桿2之間的縫隙中流出，污染反應(yīng)腔室內(nèi)的晶圓，造成產(chǎn)品良率降低。
[0004]因此，如何提供一種可以防止壓力油泄露的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，通過在驅(qū)動(dòng)器本體和撐桿的連接處設(shè)置密封圈，可以防止驅(qū)動(dòng)器本體中的壓力油從撐桿和驅(qū)動(dòng)器本體件的縫隙中泄露，從而可以避免泄露的壓力油污染反應(yīng)腔室中的晶圓，確保產(chǎn)品良率。
[0006]為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0007]—種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，包括驅(qū)動(dòng)器本體和一對(duì)撐桿，所述撐桿與所述隔離門固定連接，所述撐桿能相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器本體移動(dòng)，還包括壓板和密封圈，所述壓板上開設(shè)一對(duì)供所述一對(duì)撐桿穿越的通孔，所述壓板固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器本體上，所述密封圈分別套設(shè)于所述撐桿上并位于所述壓板和驅(qū)動(dòng)器本體之間。
[0008]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述壓板是矩形板。
[0009]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述通孔分別設(shè)置于所述壓板的兩端。
[0010]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，還包括固定塊，所述壓板通過所述固定塊壓設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器本體上。
[0011]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，還包括螺紋組件，所述固定塊通過分別通過所述螺紋組件固定于所述驅(qū)動(dòng)器本體上。
[0012]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述固定塊的截面呈L型。
[0013]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述固定塊包括水平板和豎直板，所述水平板的一端和所述豎直板的一端固定連接，所述水平板上開設(shè)供所述螺紋組件旋合連接的螺紋孔。
[0014]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述密封圈的一端具有同軸設(shè)置的圓柱狀凸臺(tái)，所述圓柱狀凸臺(tái)的外徑與所述通孔的外徑相匹配，所述密封圈的另一端外徑大于所述通孔的內(nèi)徑。
[0015]優(yōu)選的，在上述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述壓板的兩端分別設(shè)有凹口，所述凹口的深度和所述圓柱狀凸臺(tái)的高度相匹配。
[0016]本實(shí)用新型提供的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，通過設(shè)置壓板和密封圈，所述壓板上開設(shè)一對(duì)供所述一對(duì)撐桿穿越的通孔，所述壓板固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器本體上，所述密封圈分別套設(shè)于所述撐桿上并位于所述壓板和驅(qū)動(dòng)器本體之間，從而可以防止驅(qū)動(dòng)器本體內(nèi)的作為動(dòng)力源的壓力油經(jīng)撐桿外側(cè)的縫隙泄露，避免泄露的壓力油污染反應(yīng)腔室中的晶圓，確保廣品良率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]本實(shí)用新型的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器由以下的實(shí)施例及附圖給出。
[0018]圖1是現(xiàn)有的隔離門驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型一實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型一實(shí)施例中壓板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖4是圖3的俯視圖；
[0022]圖5是本實(shí)用新型一實(shí)施例中固定件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖6是圖5的俯視圖；
[0024]圖7是本實(shí)用新型一實(shí)施例中密封圈的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖8是圖7的俯視圖。
[0026]圖中，1-驅(qū)動(dòng)器本體、2-撐桿、3-壓板、31-通孔、4-密封圈、41-圓柱狀凸臺(tái)，5-固定塊、51-螺紋孔、6-螺紋組件。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下將對(duì)本實(shí)用新型的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0028]下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有益效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
[0029]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0030]為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。[0031]請(qǐng)參閱圖2至圖8，這種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，包括驅(qū)動(dòng)器本體I和一對(duì)撐桿2，所述撐桿2與所述隔離門(未圖示)固定連接，所述撐桿2能相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器本體I移動(dòng)，該帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器還包括壓板3和密封圈4，所述壓板3上開設(shè)一對(duì)供所述一對(duì)撐桿穿越的通孔31，所述壓板固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器本體I上，所述密封圈4分別套設(shè)于所述撐桿2上并位于所述壓板3和驅(qū)動(dòng)器本體I之間。通過壓板3在驅(qū)動(dòng)器本體I和撐桿2的接縫處安裝密封圈4，可以防止驅(qū)動(dòng)器本體I內(nèi)作為動(dòng)力源的壓力油經(jīng)泄露，避免泄露的壓力油污染反應(yīng)腔室(未圖示)中的晶圓(未圖示)，確保產(chǎn)品良率。
[0032]請(qǐng)參閱圖3和圖4，并請(qǐng)結(jié)合參閱圖2，較佳的，在本實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述壓板3是矩形板。所述通孔31分別設(shè)置于所述壓板3的兩端。
[0033]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，較佳的，在本實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，還包括固定塊5，所述壓板3通過所述固定塊5壓設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器本體I上。
[0034]較佳的，在本實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，還包括螺紋組件6，所述固定塊5通過分別通過所述螺紋組件6固定于所述驅(qū)動(dòng)器本體I上。
[0035]請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖5和圖6，并請(qǐng)結(jié)合圖2，較佳的，在本實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述固定塊5的截面呈L型。
[0036]較佳的，所述固定塊5包括水平板和豎直板，所述水平板的一端和所述豎直板的一端固定連接，所述水平板上開設(shè)供所述螺紋組件6旋合連接的螺紋孔51。
[0037]請(qǐng)重點(diǎn)參閱圖7和圖8，并請(qǐng)結(jié)合圖2至圖6，較佳的，在本實(shí)施例的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器中，所述密封圈4的一端具有同軸設(shè)置的圓柱狀凸臺(tái)41，所述圓柱狀凸臺(tái)41的外徑與所述通孔的外徑相匹配，所述密封圈4的另一端外徑大于所述通孔31的內(nèi)徑。所述壓板3的兩端分別設(shè)有凹口，所述凹口的深度和所述圓柱狀凸臺(tái)41的高度相匹配。如此，在安裝密封圈4和壓板3時(shí)，可以將密封圈4的圓柱狀凸臺(tái)41從通孔31中伸出，從而起到更好的密封作用。
[0038]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2至圖8，由于撐桿2是從驅(qū)動(dòng)器本體I伸出的，使用的時(shí)候，先將密封圈4安裝于撐桿上，并使得密封圈4上的圓柱狀凸臺(tái)41遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)器本體I設(shè)置，然后將壓板3壓在驅(qū)動(dòng)器本體I上，使得密封圈4上的圓柱狀凸臺(tái)41從壓板3的通孔31內(nèi)伸出，然后用螺紋組件6將固定塊5安裝于驅(qū)動(dòng)器本體I上，此時(shí)固定塊5的另一端壓住所述壓板3，從而實(shí)現(xiàn)撐桿2和驅(qū)動(dòng)器本體I的密封連接，如此，可以有效防止驅(qū)動(dòng)器本體I內(nèi)的作為動(dòng)力源的壓力油經(jīng)撐桿外側(cè)的縫隙泄露，避免泄露的壓力油污染反應(yīng)腔室中的晶圓，確保廣品良率。
[0039]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，包括驅(qū)動(dòng)器本體和一對(duì)撐桿，所述撐桿與所述隔離門固定連接，所述撐桿能相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)器本體移動(dòng)，其特征在于，還包括壓板和密封圈，所述壓板上開設(shè)一對(duì)供所述一對(duì)撐桿穿越的通孔，所述壓板固定設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)器本體上，所述密封圈分別套設(shè)于所述撐桿上并位于所述壓板和驅(qū)動(dòng)器本體之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述壓板是矩形板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述通孔分別設(shè)置于所述壓板的兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，還包括固定塊，所述壓板通過所述固定塊壓設(shè)于所述驅(qū)動(dòng)器本體上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，還包括螺紋組件，所述固定塊通過分別通過所述螺紋組件固定于所述驅(qū)動(dòng)器本體上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述固定塊的截面呈L型。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述固定塊包括水平板和豎直板，所述水平板的一端和所述豎直板的一端固定連接，所述水平板上開設(shè)供所述螺紋組件旋合連接的螺紋孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述密封圈的一端具有同軸設(shè)置的圓柱狀凸臺(tái)，所述圓柱狀凸臺(tái)的外徑與所述通孔的外徑相匹配，所述密封圈的另一端外徑大于所述通孔的內(nèi)徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的帶密封功能的隔離門驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述壓板的兩端分別設(shè)有凹口，所述凹口的深度和所述圓柱狀凸臺(tái)的高度相匹配。
【文檔編號(hào)】E05F15/02GK203430265SQ201320509964
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月20日
【發(fā)明者】田華, 曹偉剛 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司