本發(fā)明涉及一種手套式操作設備領域，尤其涉及一種手套箱系統(tǒng)及惰性氣體回收方法。

背景技術：

隨著科學技術的發(fā)展，在化學、生物、醫(yī)藥學、物理、電子等科學實驗中，越來越多地需要特殊的操作環(huán)境。例如在電化學研究領域中，組裝鋰離子電池時，鋰電極非常活潑，在有氧氣的環(huán)境下易氧化，也易與空氣中的水分子反應變質。所配合使用的電解質也易吸水分解。因此必須保證操作箱內的空氣非常干燥且氧氣含量較低。還有的實驗需要在惰性氣體保護下進行；在生物、醫(yī)藥學的研究實驗中，經(jīng)常需要一個無菌、無塵的潔凈實驗空間；在某些電子器件加工試驗中，也需要干燥、無氧的惰性氣體保護環(huán)境。在這些情況下，就需要一個能創(chuàng)造出這些特殊環(huán)境的密閉的箱體，即手套箱系統(tǒng)。實驗時，實驗人員的手臂通過手套接口，帶上手套伸入箱體內，透過玻璃進行需要的操作。

現(xiàn)有一些手套箱系統(tǒng)是采用先抽真空再充入惰性氣體的方式來營造所需操作環(huán)境。然后在手套箱系統(tǒng)內進行需要的操作，如有機溶液配制，有機溶劑配制過程中，部分有機溶劑溶液揮發(fā)成為氣體，為了防止揮發(fā)的有機溶劑從手套箱系統(tǒng)內泄露造成空氣污染，會利用活性炭或化學試劑做成的吸附裝置將揮發(fā)的有機氣體吸收，而被吸附裝置吸收的有機氣體無法重新利用，會造成有機氣體資源浪費。

技術實現(xiàn)要素：

為克服目前手套箱系統(tǒng)在進行有機氣體吸收時，因無法重新回收利用有機氣體，造成資源浪費的問題。本發(fā)明提供一種手套箱系統(tǒng)及一種惰性氣體回收方法。

本發(fā)明解決上述技術問題提供一種手套箱系統(tǒng)，其包括操作間，所述操作間內含有惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體，還包括：分離機構，惰性氣體處理機構以及控制機構；所述操作間、分離機構，惰性氣體處理裝置通過管路連通，操作間內的混合氣體依次通過分離機構、惰性氣體處理裝置后回流至操作間內；并且所述控制機構與操作間，分離機構，惰性氣體處理裝置均電性連接；所述分離機構包括氣液分離裝置和一級換熱器，所述一級換熱器包括至少兩獨立且相互接觸的管路，所述管路的一端與操作間連通，另一端與氣液分離裝置連通，其中一管路用于傳輸操作間內產(chǎn)生的混合氣體到該氣液分離裝置中，氣液分離裝置用于對一級換熱器傳輸過來的混合氣體進行氣液分離并輸出低溫惰性氣體和低溫有機溶劑，一級換熱器的另一管路用于傳輸氣液分離裝置輸出的低溫惰性氣體，所述低溫惰性氣體通過惰性氣體處理裝置進行除雜后，回流至操作間內；其中兩管路中的混合氣體和低溫惰性氣體在一級換熱器中進行熱交換。

優(yōu)選地，所述惰性氣體處理裝置包括連通設置的水氧處理機構以及吸附機構，所述水氧處理機構對從氣液分離裝置出來的惰性氣體內含有的氧氣和水分進行吸收；所述吸附機構對氣液分離裝置出來的惰性氣體中含有的微量有機氣體進行吸收。

優(yōu)選地，所述水氧處理機構包括水分吸收裝置和氧氣吸收裝置；所述水分吸收裝置內的水分吸收媒介為分子篩；所述氧氣吸收裝置內的氧氣吸收媒介為銅觸媒。

優(yōu)選地，所述吸附機構內的吸附媒介為活性炭。

優(yōu)選地，所述分離機構進一步包括至少一個二級換熱器，至少一個二級換熱器串聯(lián)在一級換熱器和氣液分離裝置之間，所述二級熱交換器包括至少兩條獨立且互相接觸的管路，混合氣體依次通過一級換熱器的一條管路、二級換熱器的一條管路和氣液分離裝置，低溫惰性氣體經(jīng)一級熱交換器和二級換熱器的另一管路與混合氣體進行熱交換后通入惰性氣體處理機構中進行除雜處理，然后回流到操作間中。

優(yōu)選地，所述分離機構進一步包括氣體壓縮裝置，所述氣體壓縮裝置連通在操作間與一級換熱器之間，所述氣體壓縮裝置對進入一級換熱器前的混合氣體進行加壓處理。

優(yōu)選地，所述氣體壓縮裝置緊靠一級換熱器的流通低溫惰性氣體的管路設置，所述低溫惰性氣體對氣體壓縮裝置進行降溫。

優(yōu)選地，所述分離機構進一步包括減壓裝置，所述惰性氣體在回流進入操作間之前先經(jīng)過減壓裝置進行減壓以使惰性氣體壓力和操作間中的壓力基本一致。

優(yōu)選地，所述一級換熱器和/或二級換熱器中流通低溫惰性氣體的管路和流通混合氣體的管路之間螺旋纏繞設置或者并排設置。

本發(fā)明還提供一種惰性氣體回收方法，用于將手套箱系統(tǒng)的操作空間內產(chǎn)生的惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行回收，其特征在于：所述惰性氣體回收方法包括以下步驟：

將操作間中產(chǎn)生的含有惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行氣液分離后分別輸出低溫有機溶劑和低溫惰性氣體；

將輸出的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，將熱交換后的低溫惰性氣體進行除雜處理，然后再輸送回操作間內。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明所提供的一種手套箱系統(tǒng)具有如下的優(yōu)點：

1、通過分離機構，將惰性氣體與有機容易揮發(fā)氣體進行分離，對分離后的有機氣體進行回收，同時將分離后的惰性氣體通過水氧處理機構以及吸附機構進行除雜，從新通入手套箱系統(tǒng)的操作間從新利用。

2、通過分離機構，將操作間中的含有惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行分離，以實現(xiàn)回收利用，所述分離機構包括氣液分離裝置和一級換熱器，所述一級換熱器包括至少兩獨立且相互接觸的管路，所述管路的一端與操作間連通，另一端與氣液分離裝置連通，其中一管路用于傳輸操作間中產(chǎn)生的混合氣體到該氣液分離裝置中，氣液分離裝置用于對一級換熱器傳輸過來的混合氣體進行氣液分離并輸出低溫惰性氣體和低溫有機溶劑，一級換熱器的另一管路用于傳輸氣液分離裝置輸出的低溫惰性氣體進入惰性氣體處理機構中進行除雜處理，然后回流到操作間中，其中兩管路中的混合氣體和低溫惰性氣體在一級換熱器中進行熱交換。本發(fā)明的一種分離機構，可以有效地將有機溶劑揮發(fā)氣體與惰性氣體分離，并利用冷凝分離后的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，實現(xiàn)了能量的充分利用，惰性氣體可以被循環(huán)利用。

本發(fā)明提供的一種惰性氣體回收方法，可以有效地將有機溶劑揮發(fā)氣體與惰性氣體分離，并利用冷凝分離后的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，實現(xiàn)了能量的充分利用，惰性氣體可以直接循環(huán)利用。

【附圖說明】

圖1是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第一實施例的結構框圖示意圖。

圖2是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第一實施例的分離機構與操作間連通的示意圖。

圖3是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第一實施例的分離機構與操作間連通的又一示意圖。

圖4是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第一變形實施例的分離機構與操作間連通的示意圖。

圖5是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第一變形實施例的分離機構與操作間連通的又一示意圖。

圖6是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第二變形實施例的分離機構與操作間連通的示意圖。

圖7是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第三變形實施例的分離機構與操作間連通的示意圖。

圖8是本發(fā)明一種手套箱系統(tǒng)的第四變形實施例的分離機構與操作間連通的示意圖。

圖9是本發(fā)明一種惰性氣體回收方法的流程示意圖。

【具體實施方式】

為了使本發(fā)明的目的，技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施實例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

需要特別說明的是，在本發(fā)明中，當元件被稱為“設置于”或“設于”另一元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中元件。本文所使用的術語“垂直”、“水平”、“上”及“下”以及類似的表述只是為了說明的目的，不是旨在限制本發(fā)明。

請參閱圖1，圖中實線代表管路連通，虛線代表電性連接。本發(fā)明提供一種手套箱系統(tǒng)90，其包括操作間20，分離機構10，惰性氣體處理機構72，收集裝置19以及控制機構100。操作間20用于提供對外部環(huán)境要求較為嚴格的生產(chǎn)或實驗一個適當?shù)膱鏊谶@些生產(chǎn)或實驗過程中往往會有大量的有機溶劑被使用。手套箱系統(tǒng)90在使用時，先將待生產(chǎn)或實驗的物品放入操作間20內，然后對操作間20進行抽真空，再箱抽完真空的操作間20內充入惰性氣體作為保護氣體，待生產(chǎn)或實驗的物品中包括易揮發(fā)的有機溶劑，故而惰性氣體中會夾雜有大量的有機溶劑揮發(fā)氣體。

在操作間20側壁上設置有多個手套接口201，隔離手套與手套接口201一一對應設置。操作者通過隔離手套對操作間20將要進行的生產(chǎn)或實驗進行相應的操作。在操作間20上設置有緩沖間203，緩沖間203作為操作間20之間的相互連接和/或操作間20與外界環(huán)境過度連接的結構。

分離機構10，惰性氣體處理機構72依次與操作間20相連通，對操作間20內所產(chǎn)生的惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行分離，以實現(xiàn)惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的分離，分離后的惰性氣體重新提純除雜后再次進入操作間20，同時分離后的有機溶劑液化，被另外回收，實現(xiàn)了惰性氣體和有機溶劑的有效回收利用。具體地，操作間20內所產(chǎn)生的惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體先進入分離機構10，在分離機構10內惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體被分離，分離完成后的有機溶劑液化被與分離機構10通過管路連通的收集裝置19回收，以重新利用。惰性氣體處理機構72包括水氧處理機構70以及吸附機構80。分離完成后的惰性氣體被通過水氧處理機構70進行惰性氣體中的水分和氧氣成分的除雜，本實施例水氧處理機構70包括水分吸收裝置和氧氣吸收裝置(圖未示)。水分吸收裝置用于吸收分離完成后的惰性氣體內存在的水分，其吸收媒介優(yōu)選為分子篩。氧氣吸收裝置用于吸收分離完成后的惰性氣體內存在的氧氣，其吸收媒介優(yōu)選為銅觸媒。進行水氧處理后的惰性氣體被送入吸附機構80中，吸附機構80可將在分離機構10中可能未完全吸收的有機溶液揮發(fā)氣體充分吸收，充分保障再次進入操作間20的惰性氣體的純凈，本實施例中吸附機構80內的吸收媒介優(yōu)選為活性炭。

控制機構100與操作間20，分離機構10，水氧處理機構70以及吸附機構80均電性連接，控制操作間20，分離機構10，水氧處理機構70以及吸附機構80之間協(xié)同工作。

請參閱圖2，在本發(fā)明中，有機溶劑揮發(fā)氣體的沸點要遠高于惰性氣體的沸點，兩者相差超過20℃。所述有機溶劑包括但不限于四氫呋喃或者二甲苯等，本發(fā)明采用四氫呋喃作為有機溶劑來做示范性說明，在此不作限定。

分離機構10包括氣液分離裝置11以及一級換熱器13。一級換熱器13一端與操作間20連通，另一端與氣液分離裝置11連通，一級換熱器13中設置有多條相互獨立的管路(圖未視)，多條管路之間相互接觸以便各管路之間進行熱交換。操作間20中含有惰性氣體和四氫呋喃氣體的混合氣體依次通過一級換熱器13一條管路進入氣液分離裝置11，混合氣體在氣液分離裝置11中分離成低溫惰性氣體和低溫四氫呋喃液體，低溫惰性氣體通過一級換熱器13的另一管路通入惰性氣體處理機構72中進行除雜處理，然后回流到操作間20中，在一級換熱器13中，輸送低溫惰性氣體和輸送混合氣體在兩條相互獨立的管路中流通并進行熱交換，從而實現(xiàn)能量的充分利用和惰性氣體的循環(huán)利用，而分離完成的四氫呋喃液體流入到收集裝置19中以實現(xiàn)回收利用。

優(yōu)選地，當一級換熱器13具有多條管路分別用于輸送混合氣體以及氣液分離后的低溫惰性氣體時，輸送混合氣體的管路與輸送低溫惰性氣體管路優(yōu)選地并排設置或者螺旋纏繞設置以使混合氣體和低溫惰性氣體充分進行熱交換。所述一級換熱器13包括但不限于板式換熱器或螺旋管式換熱器。

請繼續(xù)參考圖2，氣液分離裝置11中設置有至少一套冷凝分離器111，冷凝分離器111上設置有進口1111、氣相出口1113和液相出口1115，氣相出口1113和進口1111與一級換熱器13連通，液相出口1115與收集裝置19連通。混合氣體從進口1111通入到冷凝分離器111中被冷凝處理，氣態(tài)的四氫呋喃遇冷液化，混合氣體分離成低溫惰性氣體和低溫四氫呋喃液體，冷凝分離后的低溫惰性氣體經(jīng)氣相出口1113流動到一級換熱器13中與后續(xù)不斷流入換熱裝置13中的混合氣體進行熱交換，然后流入水氧處理機構70中進行水氧吸收，然后再通過吸附機構80之后回流至操作間20以實現(xiàn)惰性氣體的循環(huán)利用，而低溫四氫呋喃液體經(jīng)液相出口1115流動到收集裝置19中以實現(xiàn)回收利用。冷凝分離器111的工作溫度為－60℃￣0℃，此溫度范圍內的冷凝分離效果最佳。作為優(yōu)選的，冷凝分離器111的溫度為－60℃￣－20℃。作為優(yōu)選的，氣液分離裝置11進一步包括溫度傳感器113和溫度控制模塊115，溫度傳感器113與溫度控制模塊115電性連接，溫度控制模塊115與冷凝分離器111電性連接，溫度傳感器113可實時檢測冷凝分離器111中的溫度并反饋給溫度控制模塊115，溫度控制模塊115可根據(jù)溫度傳感器113反饋的信號控制冷凝分離器111的功率，從而實現(xiàn)冷凝分離器111中溫度的實時調整，實現(xiàn)惰性氣體與四氫呋喃氣體的充分分離。

請參考圖3，作為優(yōu)選的，所述分離機構10進一步設置有氣體壓縮裝置12，所述氣體壓縮裝置12設置在操作間20和一級換熱器13之間用于對進入一級換熱器13之前的混合氣體進行加壓處理。混合氣體從操作間20中通入到氣體壓縮裝置12后再通入到一級換熱器13中。氣體壓縮裝置12可對混合氣體進行壓縮以提高四氫呋喃的沸點從而使四氫呋喃氣體更容易液化。混合氣體被壓縮的同時會產(chǎn)生熱量，氣體壓縮裝置12和混合氣體的溫度都會升高，壓縮后的混合氣體與冷凝分離后的低溫惰性氣體在一級換熱器13的至少兩條相對獨立的管路中流通并進行熱交換，使惰性氣體的溫度升高至其在操作間20中的使用溫度或接近其在操作間20中的使用溫度，然后惰性氣體在惰性氣體處理機構72進行除雜后，回到操作間20內時，溫度與操作間20內的惰性氣體溫度基本保持一致，保持實驗的外部溫度環(huán)境，便于實驗的順利進行。

作為進一步優(yōu)選的，所述氣體壓縮裝置12和一級換熱器13設置在一個密閉腔室內，所述氣體壓縮裝置12緊靠一級換熱器13的流通低溫惰性氣體的管路設置，低溫的惰性氣體可對氣體壓縮裝置12進行降溫。作為進一步優(yōu)選的，所述分離機構10進一步設置有壓力傳感器16和壓力控制模塊17，壓力傳感器16與壓力控制模塊17電性連接，壓力傳感器16可檢測氣體壓縮裝置12中的壓力并反饋給壓力控制模塊17，壓力控制模塊17根據(jù)壓力傳感器16反饋的壓力值調整氣體壓縮裝置12的功率，從而控制混合氣體的壓力。該優(yōu)選實施例適用于本發(fā)明其他實施例。

請參考圖4，作為本發(fā)明的第一變形實施例，第一變形實施例的元器件以及元器件之間的連接關系與第一實施例一致，均包括操作間20a，水氧處理機構70a以及吸附機構80a，收集裝置39以及控制機構100a。兩者的區(qū)別僅在于第一變形實施例的分離機構30進一步包括有至少一個二級換熱器35，所述至少一個二級換熱器35串聯(lián)設置在一級換熱器33和氣液分離裝置31之間，一級換熱器33和二級換熱器35中均設置有多條相對獨立的管路，多條管路之間相互接觸。混合氣體依次經(jīng)過一級換熱器33、二級換熱器35的一管路進入到氣液分離裝置11中，經(jīng)過冷凝分離后的低溫惰性氣體從冷凝分離器311的氣相出口3113通過一級換熱器33和二級換熱器35不同于輸送混合氣體的管路且與輸送混合氣體的管路相接觸的管路流入水氧處理機構70a中進行水氧吸收，然后再通過吸附機構80a之后回流至操作間20a內。低溫惰性氣體在一級換熱器33中完成第一次熱交換后再通入到二級換熱器35中進行第二次熱交換，所述低溫惰性氣體和后續(xù)不斷通入的混合氣體分別在二級換熱器35的至少兩條相對獨立的管路中流通并進行熱交換，從而進一步實現(xiàn)能量的充分利用。優(yōu)選的，惰性氣體流入水氧處理機構70a中時進行除雜后，其溫度還接近在操作間20a內的使用溫度或更接近其在操作間20a內的使用溫度。一級換熱器33和/或二級換熱器35中流通低溫惰性氣體的管路和流通混合氣體的管路之間螺旋纏繞設置或者間隔設置，優(yōu)選為兩者螺旋纏繞設置，其優(yōu)點在于熱交換效率高。

請參考圖5，作為本發(fā)明的第一變形實施例的優(yōu)選方案，所述分離機構30進一步包括至少一個閥門36。一個閥門36與冷凝分離器311的氣相出口3113連通，同時也與一級換熱器33和二級換熱器35連通，閥門36可以控制從冷凝分離器311排出的低溫惰性氣體通入到一級換熱器33和二級換熱器35中或直接通入到二級換熱器35進行熱交換，即低溫惰性氣體可以根據(jù)溫度需求選擇在一級換熱器33和/或二級換熱器35中進行熱交換，低溫惰性氣體具有兩條流通管路，兩條流通管路在一級換熱器33和二級換熱器35之間交匯。作為優(yōu)選的，低溫惰性氣體的兩條流通管路的交匯處設置有另外一個閥門36，這個閥門36的作用是防止低溫惰性氣體倒灌進一級換熱器33中。該優(yōu)選實施例適用于本發(fā)明其他實施例，用戶可以根據(jù)選擇讓低溫惰性氣體進行一次或多次熱交換。

請參考圖6，作為本發(fā)明的第二變形實施例，第二變形實施例的元器件以及元器件之間的連接關系與第一變形實施例一致，均包括操作間20b，分離機構40，水氧處理機構70b以及吸附機構80b以及控制機構100b。兩者的區(qū)別僅在于第二變形實施例的分離機構40進一步包括至少一個三級換熱器47，所述三級換熱器47設置在二級換熱器45和氣液分離裝置41的連通管路上且同時位于氣液分離裝置41與收集裝置49的連通管路上。混合氣體依次通過二級換熱器45和三級換熱器47后再通入到氣液分離裝置41中；所述三級換熱器47與冷凝分離器411的液相出口4115連通，冷凝分離后的低溫四氫呋喃液體經(jīng)液相出口4115流入到三級換熱器47中。所述三級換熱器47中設置有多條相對封閉的管路，多條管路之間相互接觸，低溫四氫呋喃液體和混合氣體分別在三級換熱器47的至少兩條不同的且相對封閉的管路中流通并進行熱交換。作為本發(fā)明的第二變形實施例的一種變形，二級換熱器45可以省略，所述三級換熱器47一端與一級換熱器和氣液分離裝置連通，另一端與收集裝置連通，混合氣體依次經(jīng)過一級換熱器和三級換熱器流入到氣液分離裝置中，分離后的低溫四氫呋喃液體和混合氣體在三級換熱器47的兩條相互獨立的管路中流通并進行熱交換后流入到收集裝置49中。

請參考圖7，作為本發(fā)明的第三變形實施例，第三變形實施例的元器件以及元器件之間的連接關系與第二變形實施例一致，均包括操作間20c，分離機構50，水氧處理機構70c以及吸附機構80c以及控制機構100c。兩者的區(qū)別僅在于第三變形實施例的分離機構50進一步包括升溫裝置58，所述升溫裝置58設置有多條相互獨立的管路，多條管路之間相互接觸。所述升溫裝置58一端與二級換熱器55中流通惰性氣體的管路和三級換熱器57中流通四氫呋喃液體的管路連通，另一端與水氧處理機構70c和收集裝置59連通。冷凝分離后的低溫四氫呋喃液體在三級換熱器57中與混合氣體進行熱交換后，如果其溫度還沒有回升到其在操作間20c中的使用溫度，則可以流通到升溫裝置58中進行進一步升溫，以使四氫呋喃液體的溫度升高至其在操作間20c中的使用溫度，再進行除雜使用；當?shù)蜏囟栊詺怏w依次在一級換熱器53和二級換熱器55中與混合氣體進行熱交換后，其溫度還沒有回升到其在操作間20c中的使用溫度，則需流通至升溫裝置58中進行進一步升溫，以使惰性氣體的溫度升高至其在操作間20c中的使用溫度，再進行除雜循環(huán)使用。作為本發(fā)明的第三變形實施例的一種變形，二級換熱器55可以省略，三級換熱器57一端直接與一級換熱器53中流通惰性氣體的管路連通和三級換熱器57中流通四氫呋喃液體的管路連通，低溫惰性氣體在一級換熱器53中與混合氣體進行熱交換后，其溫度還沒有回升到其在操作間20c中的使用溫度，惰性氣體直接通入到升溫裝置58中進行進一步升溫，以使惰性氣體的溫度升高至其在操作間20c中的使用溫度。

請參考圖8，作為本發(fā)明的第四變形實施例，第四變形實施例的元器件以及元器件之間的連接關系與第三變形實施例一致，均包括操作間20d，分離機構60，水氧處理機構70d以及吸附機構80d，收集裝置69以及控制機構100d。兩者的區(qū)別僅在于第四變形實施例的的分離機構60進一步包括減壓裝置66，所述減壓裝置66可設置在冷凝分離器611的氣相出口6111和操作間20d連通的管路上的任意位置，即只要在惰性氣體從冷凝分離器611流出之后和流回操作間20d之前的過程中任意時刻均可對惰性氣體進行減壓處理。作為優(yōu)選的，減壓裝置66串聯(lián)設置在升溫裝置68和操作間20d之間，減壓裝置66一端與升溫裝置68連通，另一端與操作間20d連通。由于氣體壓縮裝置63對混合氣體進行了加壓，故經(jīng)氣液分離后回收的惰性氣體也是處于高壓狀態(tài)，如若不對惰性氣體進行降壓處理，當回收的惰性氣體會對操作間20d造成干擾，影響水氧處理機構70d以及吸附機構80d的對惰性氣體的除雜，從而影響了操作間20d中的實驗和生產(chǎn)。因此，惰性氣體在流回至操作間20d之前需經(jīng)過減壓裝置66減壓處理，以使其壓力與操作間20d的壓力基本一致。在本發(fā)明的實施例中，壓力相差不超過1KPa即視為壓力基本一致。

請參考圖9，本發(fā)明還提供一種惰性氣體回收方法，用于將手套箱系統(tǒng)的操作空間內產(chǎn)生的惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行回收，其包括以下步驟：

S1：將操作間中產(chǎn)生的含有惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行氣液分離后分別輸出低溫有機溶劑和低溫惰性氣體。

S2：將輸出的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，將熱交換后的低溫惰性氣體進行除雜處理，然后再輸送回操作間內。

作為優(yōu)選的，所述惰性氣體回收方法進一步包括步驟S3：

S3：除雜處理包括依次進行的水分和氧氣成分的吸收處理以及有機溶劑的吸收處理。

作為優(yōu)選的，所述惰性氣體回收方法進一步包括步驟S4：

S4：將混合氣體氣液分離前，對混合氣體進行氣體壓縮，所述氣體壓縮產(chǎn)生的熱量傳遞給氣液分離后輸出的低溫惰性氣體。

作為優(yōu)選的，所述惰性氣體回收方法進一步包括步驟S5：

S5：在低溫惰性氣體被輸送回操作間前，對低溫惰性氣體進行減壓處理。

作為優(yōu)選的，所述惰性氣體回收方法進一步包括步驟S6：

S6：將混合氣體進行氣液分離后獲得低溫有機溶劑和低溫惰性氣體，低溫有機溶劑和低溫惰性氣體與混合氣體至少分別進行一次熱交換。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明所提供的手套箱系統(tǒng)具有如下的優(yōu)點：

1、通過分離機構，將惰性氣體與有機容易揮發(fā)氣體進行分離，對分離后的有機氣體進行回收，同時將分離后的惰性氣體通過水氧處理機構以及吸附機構進行除雜，從新通入手套箱系統(tǒng)的操作間從新利用。

2、通過分離機構，將操作間中的含有惰性氣體和有機溶劑揮發(fā)氣體的混合氣體進行分離，以實現(xiàn)回收利用，所述分離機構包括氣液分離裝置和一級換熱器，所述一級換熱器包括至少兩獨立且相互接觸的管路，所述管路的一端與操作間連通，另一端與氣液分離裝置連通，其中一管路用于傳輸操作間中產(chǎn)生的混合氣體到該氣液分離裝置中，氣液分離裝置用于對一級換熱器傳輸過來的混合氣體進行氣液分離并輸出低溫惰性氣體和低溫有機溶劑，一級換熱器的另一管路用于傳輸氣液分離裝置輸出的低溫惰性氣體進入惰性氣體處理機構中進行除雜處理，然后回流到操作間中，其中兩管路中的混合氣體和低溫惰性氣體在一級換熱器中進行熱交換。本發(fā)明的一種分離機構，可以有效地將有機溶劑揮發(fā)氣體與惰性氣體分離，并利用冷凝分離后的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，實現(xiàn)了能量的充分利用，惰性氣體可以被循環(huán)利用。

本發(fā)明提供的一種惰性氣體回收方法，可以有效地將有機溶劑揮發(fā)氣體與惰性氣體分離，并利用冷凝分離后的低溫惰性氣體與混合氣體進行熱交換，實現(xiàn)了能量的充分利用，惰性氣體可以直接循環(huán)利用。

以上僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的原則之內所作的任何修改，等同替換和改進等均應包含本發(fā)明的保護范圍之內。