技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及一種利用光催化氧化作用精密可控切割石墨烯帶的方法與裝置，其特征在于：步驟一：將帶有襯底的石墨烯固定在壓電陶瓷驅動的二維微動臺上；步驟二：利用磁致伸縮機構并借助電源控制器實現(xiàn)半導體探針的Z向定位；步驟三：使用霧化器將輔助液體霧化，霧化后的輔助液體吸附在半導體探針表面；步驟四：紫外光源發(fā)出紫外光通過聚光鏡聚焦后經光源傳輸裝置照射在半導體探針上，同時結合二維微動臺在X、Y方向的超精密移動，實現(xiàn)不同二維圖案石墨烯帶的切割。本發(fā)明解決了使用傳統(tǒng)強化試劑所造成的設備腐蝕、環(huán)境污染、人體傷害、容易失效的問題，以及等離子體和過渡金屬所造成的設備昂貴、操作條件復雜、控制困難等問題。

技術研發(fā)人員：苑澤偉;何艷;鄭鵬;韓暉
受保護的技術使用者：沈陽工業(yè)大學
技術研發(fā)日：2017.04.28
技術公布日：2017.07.28